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제품 상세 정보:
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소재: | SIC | 구성 : sic: | >85% |
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색상: | 블랙 | 밀도: | ≥3.65g/cm3 |
맥스. 서비스 온도: | 1380C | 휨강도: | 250MPa |
단단함: | ≥84HRA | 물 흡수: | ≤0.2% |
찰과상: | <0.02% | 휨의 세기: | ≥290MPa |
강조하다: | 99.99% 알루미나 세라믹 엔드 이펙터,반도체 세라믹 엔드 이펙터,Al2O3 세라믹 엔드 이펙터 |
고성능 세라믹 엔드 이펙터, 반도체 제조 혁신
뛰어난 내열성과 플라즈마 저항성은 반도체 공정 장비에 이상적입니다.
극도로 높은 순도(최대 99.99%)와 우수한 플라즈마 저항성 및 내열성을 특징으로 하며, 입자 발생이 제한적인 산화알루미늄 소재는 구조 부품 및 도구를 포함한 반도체 공정 장비 부품에 사용됩니다.
세라믹은 종종 세라믹에서 발견되는 바람직한 전기적, 기계적 및 물리적 특성의 조합으로 인해 반도체 산업에서 사용이 증가하고 있습니다. 집적 회로 제조업체가 칩을 더 빠르고, 작고, 저렴하게 만들려고 노력함에 따라, 반도체 제조 장비 회사는 원하는 성능을 달성하기 위해 고급 세라믹 부품에 더 의존하게 됩니다.
반도체 산업용 세라믹 제조는 전통적인 성형 및 치밀화 방법을 사용하여 표준 구조 세라믹 제조의 전형입니다. 가장 큰 차이점은 세라믹의 높은 순도 요구 사항과 때때로 전기적 특성에 대한 매우 엄격한 제어입니다.
제조 공정:
품질 관리:
담당자: Ms. Yuki
전화 번호: 8615517781293