Herausforderung des Kunden
Ein koreanischer Hersteller von Halbleitermaterialien hatte mit seinen Hochtemperaturöfen (1600°C+) kritische Probleme:
- Dimensionelle Instabilität: Herkömmliche Aluminiumstahlrollen verformen sich bei erhöhten Temperaturen und verursachen eine Fehlausrichtung des Substrats und einen Ertragsverlust.
- Korrosionsfehler: Aggressive Nebenprodukte (z. B. HCl, Cl2) bei der Halbleiterherstellung erodierten Aluminiumoxidstäben, die alle 3 Monate ersetzt werden müssen.
- Kosten für Ausfallzeiten: Häufige Wartungsarbeiten haben die Produktion gestoppt, was zuVerluste in Höhe von 120.000 USD/Monat.
Kernschmerzpunkte:
- Unfähigkeit, strenge Anforderungen an die thermische Stabilität von Präzisionshalbleitersubstraten zu erfüllen.
- Kurze Lebensdauer von Bauteilen in korrosiver Atmosphäre.
- Hohe Betriebskosten durch ungeplante Ausfallzeiten.
Kegu Lösung
Kegu geliefertmit einer Breite von mehr als 20 mm,auf die technischen und logistischen Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten:
Technische Innovationen
-
Konstruktion nach Maßgabe
- Abmessungen: 50 mm Durchmesser × 1200 mm Länge, optimiert für die Geometrie des Kunden.
- Oberflächenbearbeitung: Poleriert auf Ra ≤ 0,8 μm, um die Haftung von Schlamm während der Substratbeschichtung zu verhindern.
-
Leistungsverbesserungen
- Temperaturbeständigkeit: Stabil bis1650°C(250°C höher als bei Aluminiumoxid).
- Lastkapazität: 2500N (15% über den theoretischen Spezifikationen), validiert durch Doppellastprüfung.
- Korrosionsbeständigkeit: angezeigt< 0,01 mm/Jahr Erosionin HCl-Umgebungen (gegenüber 0,5 mm/Jahr für Aluminiumoxid).
-
Vollständiges Rückverfolgbarkeitssystem
- Rohstoffe: 99,5% reines SiC-Pulver stammt aus den hochwertigen Quarzminen von Shaanxi (zertifiziert von SGS).
- Produktionsdaten: Echtzeit-Aufzeichnungen der 2100°C-Vakuumsinternierung (12-Stunden-Zyklus) und der Ofenparameter.
- Qualitätssicherung:
- Intern: 3-Punkte-Biegprüfung (Stärke ≥ 600 MPa), XRD-Phasenanalyse.
- Außen: Zertifizierte Prüfung der chemischen Resistenz durch das Korea Testing Laboratory (KTL).
Unterstützung vor Ort
- Koreanischsprachiges Team: Fachberater für nahtlose Kommunikation.
- Schnelle Prototypen: Kostenlose Probenprüfung innerhalb von 7 Tagen zur Validierung der Kompatibilität.
- Kurze Vorlaufzeit: Lieferung in 3 Wochen ab Auftragsbestätigung.
Ergebnis
-
Erhöhung der Betriebseffizienz
- Ausfallzeiten um 80% reduziert: Von 16 Stunden/Monat auf 3 Stunden/Monat, Einsparungen96.000 USD/Monat.
- Lebensdauer verlängert 8 mal: von 3 Monaten auf 24+ Monate, Ersatzkosten um75%.
-
Qualitäts- und Ertragsverbesserungen
- Die Substratfehlerrate ist um 65% gesunken: Durch die gleichbleibende Leistung der Walzstaben wurden Probleme mit thermischen Verformungen beseitigt.
- Einhaltung der SEMI-Normen: Ermöglicht dem Kunden, große koreanische Chiphersteller (z. B. Samsung Electronics) zu beliefern.
-
Strategische Partnerschaft
- Auftragsvolumen um 300% gestiegen: Innerhalb von 12 Monaten, getrieben durch Zuverlässigkeit und Datentransparenz.
- Gemeinsame FuE-Projekte: Zusammenarbeit bei SiC-Komponenten der nächsten Generation für die Herstellung von 5G-Halbleitern.
Vergleich von Schlüsseldaten
| Parameter | Kegu-SiC-Rollstäbe | Traditionelle Aluminastangen |
|---|---|---|
| Maximale Betriebstemperatur | 1650°C | 1400°C |
| Korrosionsrate (HCl) | < 0,01 mm/Jahr | 0.5 mm/Jahr |
| Dienstzeit | 24+ Monate | 3 Monate |
| Kosten pro Einheit (USD) | Ein Dollar.800 | $ 600 (mit häufigen Ersatz) |