Produktdetails:
|
Material: | Siehe | Zusammensetzung: SiC: | > 85% |
---|---|---|---|
Farbe: | Schwarz | Dichte: | ≥ 3,65 g/cm3 |
Max. Service Temp: | 1380℃ | Flexuralstärke: | 250MPa |
Härte: | ≥84HRA | Absorption von Wasser: | ≤ 0,2% |
Abrasionen: | < 0,02% | Biegefestigkeit: | ≥290MPa |
Hervorheben: | Hochreiner Aluminiumoxid-Keramikring,Aluminiumoxid-Keramik-Fokusring,Aluminiumoxid-Keramik-Kantenring |
Keramikring, Kragenkantenring, Fokusring, Kammer-Einsatz Moer-Ring, Liner, Dep-Ring
Beschreibung: Ring-Serie
Material: Hochreines Aluminiumoxid (A998)
Eigenschaften:
Hohe Plasmabeständigkeit
Hohe dielektrische Festigkeit
Hohe Korrosionsbeständigkeit
Anwendungen: 200 mm, 300 mm Halbleiterausrüstung
Materialien:
Ansprechpartner: Ms. Yuki
Telefon: 8615517781293