商品の詳細:
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材料: | シック | 組成:SiC: | >85% |
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色: | ブラック | 密度: | ≥3.65g/cm3 |
マックス サービス・テンパール: | 1380℃ | 折りたたみ力: | 250MPa |
硬さ: | ≥84HRA | 水吸収: | ≤0.2% |
アブラシオン: | 0.02% 未満 | 折りたたみの強さ: | ≥290MPa |
ハイライト: | 高純度アルミナセラミックリング,アルミナ セラミック 焦点リング,アルミナ セラミック エッジリング |
セラミックリング、カラーエッジリング、フォーカスリング、チャンバーインサートモアリング、ライナー、デップリング
説明:リングシリーズ
材質:高純度アルミナ(A998)
特徴:
高プラズマ耐性
高誘電強度
高耐食性
用途:200mm、300mm半導体製造装置
材料:
コンタクトパーソン: Ms. Yuki
電話番号: 8615517781293