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제품 상세 정보:
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| 소재: | SIC | 구성 : sic: | >85% |
|---|---|---|---|
| 색상: | 블랙 | 밀도: | ≥3.0g/cm3 |
| 맥스. 서비스 온도: | 1380C | 휨강도: | 250MPa |
| 강조하다: | 실리콘 카비드 세라믹 오븐,85% 시크 패들,85% 시크튜브 |
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매개변수:
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성능 |
단위 |
HS-A |
HS-P |
HS-XA |
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입자 크기 |
μm |
4-10 |
4-10 |
4-10 |
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밀도 |
g/cm |
≥3.1 |
3.0-3.1 |
>3.1 |
|
경도 (Knoop) |
Kg/mm² |
2800 |
2800 |
2800 |
|
굽힘 강도 4 pt @ RT |
MPa*m1/2 |
385 |
240 |
420 |
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*10³1b/in² |
55 |
55 |
55 |
|
|
압축 강도 @ RT |
Mpa |
3900 |
|
3900 |
|
*10³1b/in² |
560 |
560 |
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|
탄성 계수 @ RT |
Gpa |
410 |
400 |
410 |
|
*10³1b/in² |
59 |
58 |
59 |
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Weibull 계수 (2 매개변수) |
|
8 |
19 |
12 |
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포아송 비 |
|
0.14 |
0.14 |
0.14 |
|
파괴 인성 @ RT Double Torsion & SENB |
MPa*m1/2 |
8 |
8 |
8 |
|
*1³1b/in²in½ |
||||
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열팽창 계수 RT ~ 700℃ |
X10-6mm/mmK |
4.02 |
4.2 |
4.02 |
|
X10-6 in/in°F |
2.2 |
2.3 |
2.2 |
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|
최대 사용 온도. 공기 평균 비열 @ RT |
°C |
1900 |
1900 |
1900 |
|
J/gmK |
0.67 |
0.59 |
0.67 |
|
|
열전도율 @ RT |
W/mK |
125.6 |
110 |
125.6 |
|
Btu/ft h°F |
72.6 |
64 |
72.6 |
|
|
@200°C |
W/mK |
102.6 |
|
102.6 |
|
Btu/ft h°F |
59.3 |
59.3 |
||
|
@400°C |
W/mK |
77.5 |
|
77.5 |
|
Btu/ft h°F |
44.8 |
44.8 |
||
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RT ~ 1000°C에서의 투과성 |
31MPa 미만에서 가스 누출 없음 |
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전기 저항 @ RT |
Ohm-cm |
102-106 |
N/A |
102-106 |
|
방사율 |
|
0.9 |
0.9 |
0.9 |
SiC 패들은 반도체, LED, 태양 에너지 산업의 확산 공정에서 웨이퍼 보트 홀더로 사용됩니다.
SiC 공정 튜브는 반도체, LED, 태양 에너지 산업의 확산로 장비에 사용됩니다.
SiC 보트는 붕소 또는 인 확산 공정에서 웨이퍼 홀더로 사용되며 개별 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.
SiC 드래곤 웨이퍼 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 홀더로 널리 사용됩니다.
고온 화학적 안정성
우수한 고온 강도
내열 충격성
산 및 알칼리 내식성
우수한 열전도율
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담당자: Ms. Yuki
전화 번호: 8615517781293
