XI?? AN, ChinaMit steigenden Anforderungen an Materialien, die unter hohen Temperaturen, korrosiven und mechanisch anspruchsvollen Bedingungen arbeiten können,Keramische Bauteile aus Siliziumkarbid, insbesondere Druckloses Sinter-Siliziumkarbid (SSiC), werden in mehreren Industriezweigen immer häufiger verwendet..
Nach Industriebeobachtungen werden SSiC-Materialien in der Halbleiterverarbeitung, in chemischen Systemen und in thermischen Geräten eingesetzt, bei denen die Leistungsstabilität von entscheidender Bedeutung ist.
In der Halbleiterherstellung werden Siliziumkarbidkomponenten wie Waferträger, Prozessrohre und Heizelemente in Umgebungen mit einer Temperatur von mehr als 1200 °C verwendet.
Die Materialeigenschaften, einschließlich eines geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten (~4,0 *10−6 /K) und einer hohen Wärmeleitfähigkeit (~116 W/m·K), unterstützen die Dimensionsstabilität während des thermischen Zyklus.
Ebenso werden SSiC-Komponenten in Öfen- und thermischen Anwendungen als Ofenmöbel, Setterplatten und Strukturstützen verwendet.mit einer maximalen Betriebstemperatur von bis zu 1650 °C in Luft und thermischer Stoßfestigkeit von mehr als ΔT 350 °C, ist das Material für wiederholtes Heizen und Kühlen geeignet.
In chemischen Verarbeitungssystemen werden Siliziumkarbidkomponenten üblicherweise für Dichtungsringe, Pumpenteile und korrosionsbeständige Auskleidungen verwendet.
Die Prüfdaten unter kontrollierten Bedingungen (125~300 Stunden Eintauchen mit Rührung) zeigen:
Diese Werte gelten in der Regel als innerhalb des für eine langfristige industrielle Nutzung geeigneten Bereichs, je nach Systemkonstruktion und Betriebsbedingungen.
Neben thermischen und chemischen Umgebungen werden Siliziumkarbidkeramiken auch in verschleißkritischen Anwendungen wie Buschen, Dichtungsflächen und Strukturbauteilen verwendet.
Zu den typischen Eigenschaften zählen eine Härte von ca. 93 HRA und ein Elastizitätsmodul von ca. 410 GPa, was die Verformungs- und Verschleißfestigkeit unter mechanischer Belastung unterstützt.
SSiC-Komponenten werden durch drucklose Sinterverfahren mit einer Temperatur von mehr als 2100 °C hergestellt, gefolgt von einer Präzisionsbearbeitung.
Die gemeldeten Produktionskapazitäten umfassen:
Solche Parameter sind für Anwendungen relevant, die enge Toleranzen und eine gleichbleibende Montageleistung erfordern.
Da industrielle Systeme weiterhin höhere Zuverlässigkeit unter extremen Betriebsbedingungen verlangen, wird erwartet, dass Materialien wie SSiC eine zunehmende Rolle bei der Ausstattungserstellung spielen.
Anwendungen mit hohen Temperaturen, korrosiven Medien und mechanischem Verschleiß dürften die wichtigsten Treiber für die Einführung von Keramikbauteilen aus Siliziumcarbid bleiben.
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