시안, 중국 —고온, 부식성 및 기계적으로 까다로운 조건에서 작동하는 재료에 대한 요구 사항이 증가함에 따라 탄화규소 세라믹 부품, 특히 압력 없이 소결된 탄화규소(SSiC)가 여러 산업 분야에서 더 폭넓게 채택되고 있습니다.
산업 관찰에 따르면 SSiC 재료는 성능 안정성이 중요한 반도체 공정, 화학 시스템 및 열 장비에 적용되고 있습니다.
반도체 제조에서 웨이퍼 캐리어, 공정 튜브 및 발열체와 같은 탄화규소 부품은 1200°C를 초과하는 환경에서 사용됩니다.
낮은 열팽창 계수(~4.0 *10⁻⁶ /K) 및 높은 열 전도도(~116 W/m·K)와 같은 재료 특성은 열 순환 중 치수 안정성을 지원합니다.
마찬가지로, 퍼니스 및 열처리 응용 분야에서 SSiC 부품은 가마 가구, 세터 플레이트 및 구조 지지대로 사용됩니다. 공기 중에서 최대 1650°C의 최대 사용 온도와 350°C 이상의 열충격 저항을 갖춘 이 재료는 반복적인 가열 및 냉각 조건에 적합합니다.
화학 처리 시스템에서 탄화규소 부품은 씰 링, 펌프 부품 및 내식성 라이닝에 일반적으로 사용됩니다.
제어된 조건(교반과 함께 125-300시간 침지)에서의 테스트 데이터는 다음을 나타냅니다:
이러한 값은 일반적으로 시스템 설계 및 작동 조건에 따라 장기간 산업용으로 적합한 범위 내로 간주됩니다.
열 및 화학 환경 외에도 탄화규소 세라믹은 부싱, 씰 페이스 및 구조 부품과 같은 마모가 중요한 응용 분야에서도 사용됩니다.
일반적인 특성에는 약 93 HRA의 경도와 약 410 GPa의 탄성 계수가 포함되어 기계적 하중 하에서의 변형 및 마모에 대한 저항성을 지원합니다.
SSiC 부품은 2100°C를 초과하는 압력 없는 소결 공정을 통해 생산된 후 정밀 가공됩니다.
보고된 제조 능력에는 다음이 포함됩니다:
이러한 매개변수는 엄격한 공차와 일관된 조립 성능을 요구하는 응용 분야와 관련이 있습니다.
산업 시스템이 극한 작동 조건에서 더 높은 신뢰성을 요구함에 따라 SSiC와 같은 재료는 장비 설계에서 점점 더 중요한 역할을 할 것으로 예상됩니다.
고온, 부식성 매체 및 기계적 마모를 포함하는 응용 분야는 탄화규소 세라믹 부품 채택의 주요 동인으로 남을 가능성이 높습니다.
담당자: Ms. Yuki
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