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高純度アルミナA998 (99.8%) セラミックリング、200mmおよび300mm半導体ツール用、優れた耐プラズマ性
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半導体機器のための高度アルミナセラミックリング 高性能の製品を作っていますアルミナセラミックリング半導体プラズマ処理機器における重要な用途のために特別に設計された.高純度アルミナA998 (99.8%)要求の高いエッチとCVD室では プラズマ抵抗と信頼性が 優れています 製品概要 コラー エッジ・リング / ディープ・リング 焦点リング 室内挿入物と内膜 他のカスタマイズされたプロセスキット部品 ...
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