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ホーム / 製品 / アルミナの陶磁器の部品 / 高純度アルミナA998 (99.8%) セラミックリング、200mmおよび300mm半導体ツール用、優れた耐プラズマ性
品質 高純度アルミナA998 (99.8%) セラミックリング、200mmおよび300mm半導体ツール用、優れた耐プラズマ性 工場
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高純度アルミナA998 (99.8%) セラミックリング、200mmおよび300mm半導体ツール用、優れた耐プラズマ性

基本プロパティ
原産地: 中国
ブランド名: KEGU
モデル番号: カスタマイズ可能
取引物件
価格: 200-500 yuan/kg
支払い条件: 信用状、D/A、D/P、T/T、ウェスタンユニオン、マネーグラム
補給能力: 2,000 PC/月
タグ

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アルミナセラミック部品
製品概要
半導体機器のための高度アルミナセラミックリング 高性能の製品を作っていますアルミナセラミックリング半導体プラズマ処理機器における重要な用途のために特別に設計された.高純度アルミナA998 (99.8%)要求の高いエッチとCVD室では プラズマ抵抗と信頼性が 優れています 製品概要 コラー エッジ・リング / ディープ・リング 焦点リング 室内挿入物と内膜 他のカスタマイズされたプロセスキット部品 これらの部品は,厳格な要求を満たすために精密な設計されています200mmと300mm半導体製造ツールプロセスの安定性と生産性を保証します. 主要な材料の特性と利点 特徴 あなた の プロセス に 対す...

製品詳細

ハイライト:

高純度アルミナセラミックリング

,

アルミナ セラミック 焦点リング

,

アルミナ セラミック エッジリング
Material: sic
Composition:SiC: ＞85%
Color: 黒
Density: ≥3.65g/cm3
Max. Service Temp: 1380℃
Flexural Strength: 250MPa
Hardness: ≥84HRA
Water Absorption: ≤0.2％
Abrasion: 0.02% 未満
Bending Strength: ≥290MPa
製品の説明
半導体機器のための高度アルミナセラミックリング
高性能の製品を作っていますアルミナセラミックリング半導体プラズマ処理機器における重要な用途のために特別に設計された.高純度アルミナA998 (99.8%)要求の高いエッチとCVD室では プラズマ抵抗と信頼性が 優れています
製品概要
  • コラー エッジ・リング / ディープ・リング
  • 焦点リング
  • 室内挿入物と内膜
  • 他のカスタマイズされたプロセスキット部品
これらの部品は,厳格な要求を満たすために精密な設計されています200mmと300mm半導体製造ツールプロセスの安定性と生産性を保証します.
主要な材料の特性と利点
特徴 あなた の プロセス に 対する 益
特殊 な プラズマ 耐性 使用期間を延長する:エッチと堆積室で攻撃的なプラズマ環境に耐えるため,粒子の生成と交換頻度を減らす.
高い電解強度 優れた電気隔熱:流出や電弧を防ぎ,プロセスの安定性を確保し,敏感なコンポーネントを保護する.
耐腐食性 が 高く 化学的に不活性:ハロゲン基 (CF4,Cl2) や他のプロセスガスによる腐食に耐性があり,幾何学的整合性とプロセス一貫性を維持する.
高度な純度 (A998) 汚染 を 最小 に する99.8%のアルミニウム含有量は,高純度ウエファー製造と高収量には不可欠な金属汚染がないことを保証します.
優れた 機械 的 強さ 耐久 し て 信頼 できる:熱力や機械的なストレス下で構造の整合性を維持し,長期間の性能を保証し,予定外の停止時間を減らす.
半導体製造における主要用途
私たちのセラミックリングは プラズマ室内の重要な消耗品と部品です
  • エッチシステム:薬剤として使用焦点リングそして室内内装飾品プラズマ密度を正確に制御し 室壁を保護する用具です
  • CVD/PVDシステム:役目を果たすコラーエッジリングそして挿入物処理環境を定義し,望ましくない堆積を防ぐこと
  • プラズマ浄化室:耐久性があるラインナーO2やNF3プラズマからの侵食に抵抗し,維持サイクルを延長する.
なぜ アルミナ セラミック リング を 選び ます か
  • 精密度のために製造:厳格な耐久性や 優れた表面仕上げの 部品を製造することに 専門です 完璧なフィットと最適なプラズマ性能を 保証します
  • 性能のために設計された材料科学と工学に注力することで 寿命が長くなり 粒子の数は減り プロセス繰り返しが向上します
  • 主要なプラットフォームと互換性:私たちの製品は,幅広い用途のために設計されています200mmと300mmの半導体機器主要なOEMから
半導体セラミック部品の信頼できるパートナーを探していますか?技術的な仕様や価格については,今日ご連絡ください. また,ご自身のアプリケーションのカスタムソリューションについてお話しします.

Miss. Scarlett.S

Deputy Head of Foreign Trade Department

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