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シリコンカルビッドセラミック

中国シリコンカルビッドセラミック

200mm/300mm HDPCVDドームにおける半導体用途のための高耐腐蝕性シリコンカービッドセラミック部品

使用法:業界の使用

化学組成:Al2O3,SiO2

シックコンテンツ:85%
耐高温シリコン窒化セラミックヒーター保護管、耐腐食性および耐熱衝撃性

使用法:業界の使用

化学組成:Al2O3,SiO2

シックコンテンツ:85%

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について

シリコンカルビッドセラミック: 半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa; 1650°C ローラー炉炉用の耐熱性

反応結合シリコンカービッド: 反応シンターシリコンカービッド空気冷却チューブ高温産業冷却用 1380°C 最大使用温度と 250MPa 屈曲強度; 高温安定型SiCバーナー,熱ショックと腐食耐性

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