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200mm/300mm HDPCVDドームにおける半導体用途のための高耐腐蝕性シリコンカービッドセラミック部品

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NGKは、陝西科谷との長年のパートナーシップを高く評価しています。彼らのSSiCセラミックスは品質と革新性に優れており、私たちの相互の成功を牽引しています。今後も協力関係を継続しましょう！

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ハイケでは,信頼,革新,共同卓越性に基づいた長年の協力関係,山西ケグ新材料技術株式会社と 誇りを持っています.SSiCセラミクスの専門知識と信頼性の高いソリューションは,一貫して私たちのプロジェクトを支援しています.

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200mm/300mm HDPCVDドームにおける半導体用途のための高耐腐蝕性シリコンカービッドセラミック部品

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes
High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

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商品の詳細:
連絡先

200mm/300mm HDPCVDドームにおける半導体用途のための高耐腐蝕性シリコンカービッドセラミック部品

説明
ハイライト:

高耐食性炭化ケイ素セラミック部品

,

半導体用途 HDPCVD ドーム

,

200mm/300mm 構成の工業用セラミック部品

高耐腐蝕性産業用陶器部品: HDPCVDドーム&部品
要求の高い半導体アプリケーションのための先進的なセラミックソリューション
高性能産業用陶器部品は HDPCVD (高密度プラズマ化学蒸気堆積) プロセスを含む半導体製造における極端な環境のために設計されています特定の熱値を満たすために複数の材料のオプションで利用可能耐腐蝕性要求事項
HDPCVDドーム製品
使用可能なタイプと仕様:
  • 標準的なHDPドーム: 200mm / 300mm 構成
  • スピードドーム: 高出力プロセスに最適化
  • DPSドーム: プラズマ抵抗の強化設計
  • オーダーメイドの荒さ: Ra 0.5 から Ra 5 までの内輪表面の仕上げ3
  • 主要 な 益: フィルム流出を防止し,粒子汚染を最小限に抑え,さまざまなプロセス要件に対応
材料選定ガイド
プロパティ アルミナ (Al2O3) アルミナイトリド (AlN) ジルコニア (ZrO2) シリコンカービード (SiC) サファイア (単結晶Al2O3)
密度 (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
硬さ (GPa) 14 から 17 まで 10〜12 13 27〜28 22.5
弾性モジュール (GPa) 350〜400 300から350 200から250 420〜470 440〜690
折りたたみ強度 (MPa*m1/2) 3〜4 2.8-3 だった3 10-11 3.5-3 だった6 2.6
熱伝導性 (W/m*K) 28から32 180〜200 2〜3 160〜200 40
熱ショック耐性 200~280°C すごい 300°C すごい 800°C
ダイレクトリック常数 (1MHz) 9.8 8.5-9 30〜33 伝導力 9.3
ボリューム抵抗性 (Ω*cm) >1014 >1014 調節可能 変化する >1014
主要 な 材料 の 利点
アルミナ (Al2O3)
  • 優れた化学的安定性と耐腐蝕性
  • 高硬さと耐磨性
  • 耐腐食容器,耐磨材料,隔熱基板などに最適
アルミナイトリド (AlN)
  • 熱散用の優れた熱伝導性
  • 優れた電気隔熱特性
  • 電子ヒートシンク,高性能デバイスのパッケージングに最適です
ジルコニア (ZrO2)
  • 特殊な骨折強度
  • 変形硬化メカニズム
  • 切削ツール,酸素センサー,燃料電池用に適しています
シリコンカービード (SiC)
  • 極端な硬さと熱伝導性
  • 弾道装甲,高温ベアリング,半導体部品に最適
サファイア (単結晶Al2O3)
  • 高い硬さと組み合わせた光学透明性
  • 熱ショック耐性が高い
  • 特殊な光学および極端な環境のアプリケーションに最適
性能特性
  • 優れた腐食耐性: 半導体加工における攻撃的な化学環境に耐える
  • 最小粒子生成: 工学 表面 は 清潔 室 の 環境 で の 汚染 を 軽減 する
  • 設定可能な表面特性: 特殊なプロセス要求を満たすために調整された粗さと仕上げ
  • 熱安定性: 急速な熱循環下で寸法整合性を維持する
  • 電気隔熱プラズマ用には優れた介電性性能
申請
  • 半導体加工: HDPCVD室,エッチコンポーネント,プラズマ環境
  • 電子包装: 散熱器,隔熱基板
  • 工業用部品:耐磨部品,耐腐食容器
  • 高級研究: 特殊実験室機器,光学部品

タグ:

シリコンカービッドセラミックス,

圧力をかけないシンター型SIC,

Sicの製陶術

連絡先の詳細
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

コンタクトパーソン: Ms. Yuki

電話番号: 8615517781293

私達に直接お問い合わせを送信 (0 / 3000)

について

シリコンカルビッドセラミック

半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa

1650°C ローラー炉炉用の耐熱性

反応結合シリコンカービッド

反応シンターシリコンカービッド空気冷却チューブ 高温産業冷却用 1380°C 最大使用温度と 250MPa 屈曲強度

高温安定型SiCバーナー,熱ショックと腐食耐性

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