أخبار الشركة عن مكونات كاربيد السيليكون في صناعة أشباه الموصلات

تتطلب صناعة أشباه الموصلات مواد يمكن صيانتهاالنقاء الشديد، واستقرار الأبعاد، والموثوقية الحراريةفي ظل ظروف العملية الصعبة.

سيراميك كربيد السيليكون (SiC).، خصوصًاكربيد السيليكون الملبد عديم الضغط (SSiC)، تستخدم على نطاق واسع بسبب مزيجها من الأداء في درجات الحرارة العالية والمقاومة الكيميائية والقوة الميكانيكية.

تشمل عمليات تصنيع أشباه الموصلات ما يلي:

• درجات حرارة عالية (> 1000-1200 درجة مئوية)
• الغازات التفاعلية والمواد الكيميائية
• متطلبات صارمة لمكافحة التلوث

تلبي مواد SSiC هذه المتطلبات من خلال:

• درجة نقاء عالية (SiC ≥ 98.5%)
• المسامية قريبة من الصفر
• لا توجد مرحلة السيليكون الحرة
• استقرار حراري وميكانيكي ممتاز

تتضمن خصائص SSiC النموذجية ذات الصلة بتطبيقات أشباه الموصلات ما يلي:

• الكثافة: ≥ 3.05 جم/سم3
• الموصلية الحرارية: ~116 واط/م·ك
• التمدد الحراري: ~4.0 *10⁻⁶ /ك
• قوة الانثناء: ≥ 380 ميجا باسكال
• درجة الحرارة القصوى: تصل إلى 1650 درجة مئوية (الهواء)

تساعد هذه الخصائص في الحفاظ على السلامة الهيكلية واتساق العملية.

• تستخدم لمعالجة الرقاقات في العمليات ذات درجات الحرارة العالية
• تتطلب استقرار الأبعاد وتشوه حراري منخفض

• تعمل في البيئات المسببة للتآكل وارتفاع درجة الحرارة
• تتطلب المقاومة الكيميائية والنقاء

• يستخدم في أفران الأمراض القلبية الوعائية وأفران الانتشار
• تتطلب توزيعًا موحدًا للحرارة

• الحفاظ على محاذاة وتحديد المواقع من الرقائق
• تتطلب صلابة عالية والاستقرار الحراري

يضمن التمدد الحراري المنخفض (~4.0 *10⁻⁶ /K) الحد الأدنى من التشوه أثناء دورات التسخين.

يعمل نقل الحرارة الفعال (~116 واط/م·ك) على تحسين تجانس درجة الحرارة.

يتحمل SSiC التعرض للغازات التفاعلية والبيئات الكيميائية.

• التسامح بالقطع: ± 0.02 مم
• خشونة السطح: Ra ≥ 0.8 ميكرومتر

أمر بالغ الأهمية لمحاذاة الرقاقة وتكرار العملية.

يقدم SiC توازنًاالقوة الميكانيكية + الاستقرار الكيميائي + الأداء الحراري.

عند استخدام مكونات SiC، ضع في اعتبارك ما يلي:

• متطلبات الانتهاء من السطح
• التحكم في توليد الجسيمات
• توافق العملية
• إجراءات التنظيف والتعامل

تعد المعالجة والتشطيب المناسبين للمواد أمرًا ضروريًا لتطبيقات فئة أشباه الموصلات.

تستخدم مكونات SiC في:

• أفران الانتشار
• عمليات الأمراض القلبية الوعائية
• أنظمة النقش
• معدات المعالجة الحرارية

يلعب كربيد السيليكون (SSiC) دورًا حاسمًا في تصنيع أشباه الموصلات نظرًا لما يلي:

• القدرة على درجة حرارة عالية
• المقاومة الكيميائية
• الاستقرار الأبعاد
• دقة الآلات

هذه الخصائص تجعلها مادة مفضلة لمعدات أشباه الموصلات المتقدمة.

يمكن تصنيع أجزاء كربيد السيليكون المخصصة لتلبية:

• متطلبات نقاء عالية
• التحمل الأبعاد الضيقة
• هندسات معقدة

يتيح توفير ظروف العملية ومتطلبات المكونات التصميم الأمثل واختيار المواد.