مكونات كاربيد السيليكون في صناعة أشباه الموصلات

تتطلب صناعة أشباه الموصلات مواد يمكنها الحفاظ على نقاء شديد واستقرار الأبعاد وموثوقية حرارية في ظل ظروف العملية المتطلبة.

السيراميك الكربيد السيليكوني (SiC) ، وخاصة الكربيد السيليكوني غير المخمر بدون ضغط (SSiC) ، تستخدم على نطاق واسع بسبب مزيجها من أداء درجة الحرارة العالية ، والمقاومة الكيميائية ،والقوة الميكانيكية.

لمحة عامة عن مواد السيراميكية الكربيد السيليكونية

تتضمن عمليات تصنيع أشباه الموصلات:

• درجات حرارة عالية (> 1000~1200°C)
• الغازات والمواد الكيميائية المتفاعلة
• متطلبات صارمة لمكافحة التلوث

مواد SSiC تلبي هذه المتطلبات من خلال:

• نقاء مرتفع (SiC ≥ 98.5%)
• مسامية قريبة من صفر
• لا يوجد مرحلة سيلكون حرة
• استقرار حراري وميكانيكي ممتاز

تتضمن خصائص SSiC النموذجية ذات الصلة بتطبيقات أشباه الموصلات:

• الكثافة: ≥ 3.05 غرام/سم3
• التوصيل الحراري: ~ 116 W/m·K
• التوسع الحراري: ~ 4.0 * 10-6 /K
• قوة الانحناء: ≥ 380 MPa
• الحرارة القصوى: تصل إلى 1650 درجة مئوية (الهواء)

تساعد هذه الخصائص على الحفاظ على سلامة الهيكل ومتانة العملية.

تستخدم للتعامل مع الوافرات في العمليات عالية درجة الحرارة
تتطلب استقرار الأبعاد وتشوه حراري منخفض

العمل في بيئات تآكل ودرجات حرارة عالية
تتطلب مقاومة كيميائية ونقاء عال

أنبوب حماية الحرارة SiC

تستخدم في أفران الـ CVD و أفران الانتشار
يتطلب توزيع الحرارة المتساوي والاستقرار الحراري

الحفاظ على محاذاة وموضع الوافير
تتطلب صلابة عالية ودقة الأبعاد

التوسع الحراري المنخفض (~ 4.0 * 10-6 / K) يضمن الحد الأدنى من التشوه خلال دورات التدفئة.

نقل الحرارة الفعال (~ 116 W / m · K) يحسن من توحيد درجة الحرارة.

SSiC يقاوم التعرض للغازات المتفاعلة والبيئات الكيميائية.

تساهل معالجة: ± 0.02 ملم
خشونة السطح: Ra ≤ 0.8 μm

أمر بالغ الأهمية لتحديد محاذاة الصفائح وتكرار العملية.

يقدم سي سي ميزانية من القوة الميكانيكية والاستقرار الكيميائي، والأداء الحراري.

عند استخدام مكونات SiC ، ضع في اعتبارك:

• متطلبات التشطيب السطحي
• التحكم في توليد الجسيمات
• التوافق مع العملية
• إجراءات التنظيف والتعامل

المعالجة المناسبة للمواد والتشطيب ضروريان لتطبيقات درجة أشباه الموصلات.

يتم استخدام مكونات SSiC في:

• أفران التشتيت
• عمليات CVD
• أنظمة الحفر
• معدات المعالجة الحرارية

محلول رولر فرن SiC

الكربيد السيليكوني (SSiC) يلعب دورًا حاسمًا في تصنيع أشباه الموصلات بسبب:

• القدرة على الحرارة العالية
• المقاومة الكيميائية
• استقرار الأبعاد
• قابلية التصنيع الدقيقة

هذه الخصائص تجعلها مادة مفضلة لمعدات أشباه الموصلات المتقدمة.

يمكن تصنيع أجزاء مخصصة من كربيد السيليكون لتلبية:

• متطلبات عالية للنقاء
• مساحات تساهل ضيقة
• الهندسة المعقدة

توفير ظروف العملية ومتطلبات المكونات يمكّن التصميم المثالي واختيار المواد.