tin tức công ty về Các bộ phận Silicon Carbide trong ngành công nghiệp bán dẫn

Ngành công nghiệp bán dẫn đòi hỏi các vật liệu có thể duy trìđộ tinh khiết cực kỳ, ổn định kích thước và độ tin cậy nhiệttrong điều kiện quá trình đòi hỏi.

Vật gốm Silicon Carbide (SiC), đặc biệt làsilicon carbide sintered không áp suất (SSiC), được sử dụng rộng rãi do sự kết hợp của hiệu suất nhiệt độ cao, khả năng chống hóa học và độ bền cơ học.

Các quy trình sản xuất bán dẫn bao gồm:

• Nhiệt độ cao (> 1000-1200°C)
• Khí phản ứng và hóa chất
• Yêu cầu kiểm soát ô nhiễm nghiêm ngặt

Vật liệu SSiC đáp ứng các yêu cầu này thông qua:

• Độ tinh khiết cao (SiC ≥ 98,5%)
• Gần không lỗ chân lông
• Không có pha silic tự do
• Sự ổn định nhiệt và cơ học tuyệt vời

Các tính chất SSiC điển hình liên quan đến các ứng dụng bán dẫn bao gồm:

• Mật độ: ≥ 3,05 g/cm3
• Độ dẫn nhiệt: ~ 116 W/m·K
• Sự giãn nở nhiệt: ~ 4,0 * 10-6 /K
• Sức mạnh uốn cong: ≥ 380 MPa
• Nhiệt độ tối đa: tối đa 1650°C (không khí)

Các tính chất này giúp duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và tính nhất quán của quy trình.

• Được sử dụng để xử lý wafer trong các quy trình nhiệt độ cao
• Yêu cầu ổn định kích thước và biến dạng nhiệt thấp

• Hoạt động trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao
• Cần chống hóa học và tinh khiết

• Được sử dụng trong lò CVD và lò khuếch tán
• Yêu cầu phân phối nhiệt đồng đều

• Duy trì sự sắp xếp và vị trí của các wafer
• Cần độ cứng cao và ổn định nhiệt

Sự mở rộng nhiệt thấp (~ 4.0 * 10-6 / K) đảm bảo biến dạng tối thiểu trong chu kỳ sưởi ấm.

Chuyển nhiệt hiệu quả (~ 116 W / m · K) cải thiện sự đồng nhất nhiệt độ.

SSiC chịu được phơi nhiễm với khí phản ứng và môi trường hóa học.

• Độ khoan dung gia công: ±0,02 mm
• Độ thô bề mặt: Ra ≤ 0,8 μm

Quan trọng đối với sự sắp xếp wafer và khả năng lặp lại quá trình.

SiC cung cấp một sự cân bằng củaSức mạnh cơ học + ổn định hóa học + hiệu suất nhiệt.

Khi sử dụng các thành phần SiC, hãy xem xét:

• Yêu cầu về kết thúc bề mặt
• Kiểm soát sản xuất hạt
• Khả năng tương thích quá trình
• Quy trình làm sạch và xử lý

Xử lý và hoàn thiện vật liệu đúng cách là điều cần thiết cho các ứng dụng cấp bán dẫn.

Các thành phần SiC được sử dụng trong:

• Các lò bơm
• Các quy trình CVD
• Hệ thống khắc
• Thiết bị xử lý nhiệt

Silicon carbide (SSiC) đóng một vai trò quan trọng trong sản xuất bán dẫn do:

• Khả năng nhiệt độ cao
• Kháng hóa học
• Sự ổn định kích thước
• Khả năng gia công chính xác

Các đặc điểm này làm cho nó trở thành vật liệu ưa thích cho các thiết bị bán dẫn tiên tiến.

Các bộ phận silicon carbide tùy chỉnh có thể được sản xuất để đáp ứng:

• Yêu cầu độ tinh khiết cao
• Khoan dung kích thước chặt chẽ
• Địa hình phức tạp

Cung cấp điều kiện quy trình và yêu cầu thành phần cho phép thiết kế và lựa chọn vật liệu tối ưu.