कंपनी की खबर अर्धचालक उद्योग में सिलिकॉन कार्बाइड घटक

सेमीकंडक्टर उद्योग को ऐसी सामग्रियों की आवश्यकता होती है जो बनाए रख सकेंअत्यधिक शुद्धता, आयामी स्थिरता और थर्मल विश्वसनीयताकठिन प्रक्रिया स्थितियों के तहत।

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक, विशेष रूप सेप्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC), अपने उच्च तापमान प्रदर्शन, रासायनिक प्रतिरोध और यांत्रिक शक्ति के संयोजन के कारण व्यापक रूप से उपयोग किए जाते हैं।

सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में शामिल हैं:

• उच्च तापमान (>1000–1200°C)
• प्रतिक्रियाशील गैसें और रसायन
• सख्त संदूषण नियंत्रण आवश्यकताएं

SSiC सामग्री इन मांगों को पूरा करती है:

• उच्च शुद्धता (SiC ≥ 98.5%)
• लगभग शून्य सरंध्रता
• कोई मुक्त सिलिकॉन चरण नहीं
• उत्कृष्ट थर्मल और यांत्रिक स्थिरता

सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए प्रासंगिक विशिष्ट SSiC गुण शामिल हैं:

• घनत्व: ≥ 3.05 ग्राम/सेमी³
• थर्मल चालकता: ~116 डब्ल्यू/एम·के
• थर्मल विस्तार: ~4.0 *10⁻⁶ /के
• फ्लेक्सुरल शक्ति: ≥ 380 एमपीए
• अधिकतम तापमान: 1650°C तक (हवा)

ये गुण संरचनात्मक अखंडता और प्रक्रिया स्थिरता बनाए रखने में मदद करते हैं।

• उच्च तापमान प्रक्रियाओं में वेफर हैंडलिंग के लिए उपयोग किया जाता है
• आयामी स्थिरता और कम थर्मल विरूपण की आवश्यकता होती है

• संक्षारक और उच्च तापमान वाले वातावरण में संचालित होते हैं
• रासायनिक प्रतिरोध और शुद्धता की आवश्यकता होती है

• सीवीडी और प्रसार भट्टियों में उपयोग किया जाता है
• समान ताप वितरण की आवश्यकता होती है

• वेफर के संरेखण और स्थिति को बनाए रखते हैं
• उच्च कठोरता और थर्मल स्थिरता की आवश्यकता होती है

कम थर्मल विस्तार (~4.0 *10⁻⁶ /के) हीटिंग चक्रों के दौरान न्यूनतम विरूपण सुनिश्चित करता है।

कुशल गर्मी हस्तांतरण (~116 डब्ल्यू/एम·के) तापमान एकरूपता में सुधार करता है।

SSiC प्रतिक्रियाशील गैसों और रासायनिक वातावरण के संपर्क का सामना करता है।

• मशीनिंग सहनशीलता: ±0.02 मिमी
• सतह खुरदरापन: Ra ≤ 0.8 μm

वेफर संरेखण और प्रक्रिया दोहराव के लिए महत्वपूर्ण।

SiC एक संतुलन प्रदान करता हैयांत्रिक शक्ति + रासायनिक स्थिरता + थर्मल प्रदर्शन।

SiC घटकों का उपयोग करते समय, विचार करें:

• सतह फिनिश आवश्यकताएं
• कण उत्पादन नियंत्रण
• प्रक्रिया संगतता
• सफाई और हैंडलिंग प्रक्रियाएं

सेमीकंडक्टर-ग्रेड अनुप्रयोगों के लिए उचित सामग्री प्रसंस्करण और फिनिशिंग आवश्यक है।

SiC घटकों का उपयोग किया जाता है:

• प्रसार भट्टियां
• सीवीडी प्रक्रियाएं
• एचिंग सिस्टम
• थर्मल प्रसंस्करण उपकरण

सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC) अपनी वजह से सेमीकंडक्टर निर्माण में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है:

• उच्च तापमान क्षमता
• रासायनिक प्रतिरोध
• आयामी स्थिरता
• परिशुद्धता मशीनिंग

ये विशेषताएं इसे उन्नत सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए एक पसंदीदा सामग्री बनाती हैं।

कस्टम सिलिकॉन कार्बाइड भागों का निर्माण किया जा सकता है:

• उच्च शुद्धता आवश्यकताएं
• तंग आयामी सहनशीलता
• जटिल ज्यामिति

प्रक्रिया की स्थिति और घटक आवश्यकताओं को प्रदान करने से अनुकूलित डिजाइन और सामग्री चयन सक्षम होता है।