اخبار شرکت قطعات کاربید سیلیکون در صنعت نیمه‌هادی

صنعت نيمه رسان به موادي نياز داره که بتوننخلوص شدید، ثبات ابعاد و قابلیت اطمینان حرارتیدر شرایط سخت فرآیند.

سرامیک کربید سیلیکون (SiC)به خصوصکربید سیلیکون بدون فشار (SSiC)، به دلیل ترکیب عملکرد در دمای بالا، مقاومت شیمیایی و قدرت مکانیکی آنها به طور گسترده ای استفاده می شود.

فرایندهای تولید نیمه هادی شامل:

• دمای بالا (>1000~1200°C)
• گازهای واکنشی و مواد شیمیایی
• الزامات سختگیرانه کنترل آلودگی

مواد SSiC این خواسته ها را از طریق:

• خالصیت بالا (SiC ≥ 98.5%)
• حفره ای نزدیک به صفر
• فاز سیلیکون آزاد وجود ندارد
• پایداری گرمایی و مکانیکی عالی

ویژگی های SSiC معمولی مربوط به کاربردهای نیمه هادی عبارتند از:

• تراکم: ≥ 3.05 g/cm3
• رسانایی حرارتی: ~116 W/m·K
• گسترش حرارتی: ~4.0 * 10-6 /K
• مقاومت خم: ≥ 380 MPa
• حداکثر دمای: تا 1650°C (هوا)

این خواص به حفظ یکپارچگی ساختاری و سازگاری فرآیند کمک می کنند.

• استفاده می شود برای دستکاری وافره در فرایندهای دمای بالا
• نیاز به ثبات ابعاد و تغییر گرما کم

• کار در محیط های خوردنی و با دمای بالا
• نیاز به مقاومت شیمیایی و خلوص

• استفاده می شود در کوره های CVD و پخش
• نیاز به توزیع گرمای یکنواخت

• حفظ تراز و موقعیت وافرها
• نیاز به سفتی بالا و ثبات حرارتی

گسترش حرارتی پایین (~ 4.0 * 10-6 / K) تضمین حداقل تغییر شکل در طول چرخه های گرمایش می کند.

انتقال گرما کارآمد (~ 116 W / m · K) یکسانی دمای را بهبود می بخشد.

SSiC در برابر قرار گرفتن در معرض گازهای واکنش پذیر و محیط های شیمیایی مقاومت می کند.

• تحمل ماشینکاری: ±0.02 mm
• خشکی سطح: Ra ≤ 0.8 μm

برای تراز وافره و تکرار فرآیند ضروری است.

SiC یک تعادلمقاومت مکانیکی + ثبات شیمیایی + عملکرد حرارتی.

هنگام استفاده از اجزای SiC، در نظر بگیرید:

• الزامات پایان سطح
• کنترل تولید ذرات
• سازگاری فرآیند
• روش های تمیز کردن و دستکاری

پردازش و تکمیل مواد مناسب برای کاربردهای نیمه هادی ضروری است.

اجزای SiC در:

• کوره های پخش
• فرایندهای CVD
• سیستم های حکاکی
• تجهیزات پردازش حرارتی

کربید سیلیکون (SSiC) به دلیل:

• قابلیت دمای بالا
• مقاومت شیمیایی
• ثبات ابعاد
• قابلیت ماشینکاری دقیق

این ویژگی ها آن را به یک ماده ترجیح داده شده برای تجهیزات نیمه هادی پیشرفته تبدیل می کنند.

قطعات سفارشی کربید سیلیکون می توانند با توجه به موارد زیر تولید شوند:

• الزامات خالصیت بالا
• تحملات ابعاد تنگ
• هندسه های پیچیده

ارائه شرایط فرآیند و الزامات قطعات، طراحی بهینه و انتخاب مواد را امکان پذیر می کند.