Συστατικά του καρβιδίου του πυριτίου στη βιομηχανία ημιαγωγών

Η βιομηχανία ημιαγωγών απαιτεί υλικά που μπορούν να διατηρήσουν ακραία καθαρότητα, σταθερότητα διαστάσεων και θερμική αξιοπιστία υπό απαιτητικές συνθήκες διαδικασίας.

Οι κεραμικές ύλες από καρβίδιο του πυριτίου (SiC), ιδιαίτερα το ασύμμετρο καρβίδιο του πυριτίου (SSiC), χρησιμοποιούνται ευρέως λόγω του συνδυασμού των υψηλών επιδόσεων θερμοκρασίας, της χημικής αντοχήςκαι μηχανική αντοχή.

Σύνοψη κεραμικών υλικών από καρβίδιο του πυριτίου

Οι διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών περιλαμβάνουν:

• Υψηλές θερμοκρασίες (> 1000~1200°C)
• Αέρια και χημικά
• Σκληρές απαιτήσεις ελέγχου της μόλυνσης

Τα υλικά SSiC ανταποκρίνονται στις απαιτήσεις αυτές μέσω:

• Υψηλή καθαρότητα (SiC ≥ 98,5%)
• Σχεδόν μηδενική πορώστια
• Χωρίς ελεύθερη φάση πυριτίου
• Εξαιρετική θερμική και μηχανική σταθερότητα

Οι τυπικές ιδιότητες SSiC που σχετίζονται με εφαρμογές ημιαγωγών περιλαμβάνουν:

• Πυκνότητα: ≥ 3,05 g/cm3
• Θερμική αγωγιμότητα: ~ 116 W/m·K
• Θερμική επέκταση: ~4,0 * 10−6 /K
• Δυνατότητα κάμψης: ≥ 380 MPa
• Μέγιστη θερμοκρασία: έως 1650°C (αέρος)

Αυτές οι ιδιότητες συμβάλλουν στη διατήρηση της δομικής ακεραιότητας και της συνέπειας της διαδικασίας.

Χρησιμοποιείται για την επεξεργασία πλακών σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας
Απαιτούν σταθερότητα διαστάσεων και χαμηλή θερμική παραμόρφωση

Εργασία σε διαβρωτικά και υψηλής θερμοκρασίας περιβάλλοντα
Απαιτούν χημική αντοχή και υψηλή καθαρότητα

Τύπος προστασίας θερμοσύνδεσης SiC

Χρησιμοποιείται σε κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματιστικούς κλιματισμούς
Απαιτούν ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας και θερμική σταθερότητα

Διατήρηση της ευθυγράμμισης και της τοποθέτησης των πλακών
Απαιτούν υψηλή δυσκαμψία και διαμετρική ακρίβεια

Η χαμηλή θερμική επέκταση (~ 4,0 * 10-6 / K) εξασφαλίζει ελάχιστη παραμόρφωση κατά τη διάρκεια των κύκλων θέρμανσης.

Η αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας (~ 116 W/m·K) βελτιώνει την ομοιομορφία της θερμοκρασίας.

Το SSiC αντέχει στην έκθεση σε αντιδραστικά αέρια και χημικά περιβάλλοντα.

Ανεπάρκεια επεξεργασίας: ±0,02 mm
Σκληρότητα επιφάνειας: Ra ≤ 0,8 μm

Κρίσιμο για την ευθυγράμμιση των πλακών και την επαναληπτικότητα της διαδικασίας.

Το SiC προσφέρει μια ισορροπία μηχανικής αντοχής, χημικής σταθερότητας και θερμικής απόδοσης.

Κατά τη χρήση συστατικών SiC, να λαμβάνονται υπόψη:

• Απαιτήσεις για την τελική επιφάνεια
• Έλεγχος παραγωγής σωματιδίων
• Συνδυασμός διαδικασιών
• Διαδικασίες καθαρισμού και χειρισμού

Η κατάλληλη επεξεργασία υλικών και η τελική επεξεργασία είναι απαραίτητες για εφαρμογές σε επίπεδο ημιαγωγών.

Τα συστατικά SSiC χρησιμοποιούνται σε:

• Φούρνοι διάχυσης
• Διαδικασίες CVD
• Συστήματα χαρακτικής
• Εξοπλισμός θερμικής επεξεργασίας

Λύσιμο κυλίνδρων φούρνου SiC

Το καρβίδιο του πυριτίου (SSiC) διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο στην παραγωγή ημιαγωγών λόγω των ακόλουθων χαρακτηριστικών του:

• Δυνατότητα υψηλών θερμοκρασιών
• Χημική αντοχή
• Σταθερότητα διαστάσεων
• Επεξεργαστική ικανότητα ακριβείας

Τα χαρακτηριστικά αυτά το καθιστούν προτιμώμενο υλικό για προηγμένους εξοπλισμούς ημιαγωγών.

Τα εξαρτήματα από καρβίδιο του πυριτίου μπορούν να κατασκευαστούν για:

• Υψηλές απαιτήσεις καθαρότητας
• Στενές ανοχές διαστάσεων
• Σύνθετες γεωμετρίες

Η παροχή των συνθηκών της διαδικασίας και των απαιτήσεων των εξαρτημάτων επιτρέπει βελτιστοποιημένο σχεδιασμό και επιλογή υλικών.