الذراعين الروبوتية السيراميكية الدقيقة والأصابع مع الاستقرار الحراري ودقة الأبعاد للتعامل مع رقائق أشباه الموصلات

لديناأذرع روبوتية ومخالب وأصابع سيراميك عالية الأداءمصممة خصيصًا لتطبيقات التعامل مع رقائق أشباه الموصلات الحساسة. تعمل هذه المكونات الهامة كـ "يد" الروبوت - مما يتطلب استقرارًا حراريًا استثنائيًا ودقة الأبعاد وتشغيلًا خاليًا من التلوثللحفاظ على سلامة العملية في بيئات تصنيع أشباه الموصلات.

• تلوث منخفض للغاية: مواد معتمدة متوافقة مع الغرف النظيفةتمنع توليد الجسيمات والتلوث الكيميائي
• استقرار حراري استثنائي: الحفاظ على سلامة الأبعاد عبر تقلبات درجة الحرارة القصوى
• خصائص ميكانيكية فائقة: نسبة عالية من الصلابة إلى الوزن لتحديد المواقع الدقيقة وتخميد الاهتزازات
• الخمول الكيميائي: مقاومة للمواد الكيميائية المعالجة القوية بما في ذلك الأحماض والقواعد وبيئات البلازما

نحن نستخدم عمليات تشكيل متقدمة متنوعة لتلبية متطلبات التطبيق الخاصة بك:

• الضغط الساخن: لتحقيق أقصى كثافة وخصائص ميكانيكية فائقة
• الضغط المتساوي الساكن على البارد (CIP): ضمان كثافة موحدة في الأشكال المعقدة
• صب الهلام: مثالي للأشكال الكبيرة والمعقدة مع تشطيب سطحي ممتاز
• الضغط الجاف: فعالة من حيث التكلفة للإنتاج بكميات كبيرة من الأشكال الهندسية الأبسط

• الأبعاد القصوى: حتى 650 مم في القطر أو 4 أمتار في الطول
• مستويات المسامية: مصممة لـ مسامية منخفضة جدًا إلى صفراعتمادًا على التطبيق
• التلبيد بالشكل الصافي: تعمل تقنية التلبيد المباشر على تقليل المعالجة اللاحقة
• جودة السطح: تتوفر تشطيبات بجودة بصرية للتطبيقات الهامة

تمتد قدراتنا في تصنيع السيراميك الدقيق إلى ما وراء المؤثرات النهائية الروبوتية لتشمل:

• مكونات معالجة الرقائق: ألواح توزيع الغاز ورؤوس الدش وألواح الغطاء
• أجزاء غرفة المعالجة: نوافذ الترددات الراديوية وتجميعات القبة وبطانات الغرفة
• العناصر الهيكلية: ركائز دقيقة ومكونات عازلة وحلقات فاصلة
• التركيبات المتخصصة: فوهات وأقواس وحلول تركيب مخصصة

• أداء خالٍ من الجسيماتأثناء دورات التشغيل الممتدة
• الحد الأدنى من إطلاق الغازفي ظل ظروف الفراغ ودرجة الحرارة المرتفعة
• غير ملوثتركيبة المواد متوافقة مع العمليات الحساسة

• تسوية وتوازي استثنائيانلتحديد المواقع الدقيقة للرقائق
• مقاومة تآكل فائقةلإطالة عمر الخدمة في البيئات الكاشطة
• هندسة قابلة للتخصيصمع تفاوتات ضيقة للتكامل المباشر للنظام

تخدم مكونات السيراميك لدينا وظائف مهمة عبر تصنيع أشباه الموصلات:

• روبوتات نقل الرقائقوأنظمة مناولة المواد الآلية
• غرف عمليات النقش والترسيب
• معدات الطباعة الحجريةوأنظمة القياس
• تطبيقات الفراغ والفراغ الفائق
• مكونات نظام CVD و PVD

من خلال الخبرة المتخصصة في السيراميك التقني المتقدم لمعدات أشباه الموصلات، فإننا نوفر:

• اختيار المواد الخاصة بالتطبيق إرشاد
• دعم هندسي مخصصلتحديات التصميم الفريدة
• النماذج الأولية السريعةقدرات لدورات التطوير
• تصنيع الحجممع ضمان الجودة المتسق
• وثائق فنيةوبيانانات التحقق من الأداء

اتصل بفريق الهندسة لدينالمناقشة متطلبات التعامل مع الرقائق الخاصة بك واكتشف كيف يمكن لأذرعنا ومخالبنا وأصابعنا المصنوعة من السيراميك الدقيق أن تعزز موثوقية وعائد عملية تصنيع أشباه الموصلات الخاصة بك.