Precision Ceramic Robotic Arms and Fingers met thermische stabiliteit en dimensieprecisie voor het hanteren van halfgeleiderwafers

Onzehoogwaardige keramische robotarmen, klauwen en vingersDeze essentiële componenten functioneren als de "hand" van de robot - en vereisen uitzonderlijkethermische stabiliteit, dimensieprecisie en verontreinigingsvrije werkingom de procesintegriteit in de productieomgeving van halfgeleiders te behouden.

• Ultralage verontreiniging: Gecertificeerdcompatibel met de cleanroommaterialen die de vorming van deeltjes en chemische besmetting voorkomen
• Uitzonderlijke thermische stabiliteit: Behoud van de dimensionale integriteit bij extreme temperatuurschommelingen
• Superieure mechanische eigenschappen: Hoge stijfheid/gewichtsverhouding voor nauwkeurige positionering en trillingsdemping
• Chemische traagheid: bestand tegen agressieve proceschemische stoffen, met inbegrip van zuren, basen en plasmaomgevingen

Wij gebruiken diverse geavanceerde vormprocessen om aan uw specifieke toepassingsvereisten te voldoen:

• Warm persen: Voor maximale dichtheid en superieure mechanische eigenschappen
• Koud isostatisch persen (CIP): Zorg voor een uniforme dichtheid in complexe geometrieën
• Gel gieten: Ideaal voor grote, complexe vormen met een uitstekende oppervlakte
• Droge persing: Kosteneffectief voor de productie van eenvoudige geometrieën in grote hoeveelheden

• Maximale afmetingen: tot 650 mm in diameter of tot 4 m in lengte
• Porositeitsniveaus: Ontworpen voorzeer lage tot nul porositeitafhankelijk van de toepassing
• Netvormig sinteren: Direct sintertechnologie vermindert de postverwerking
• Oppervlakte kwaliteit: Optische afwerkingen voor kritieke toepassingen

Onze precisie keramische productiecapaciteit gaat verder dan robot-eindeffectoren om te omvatten:

• Waferverwerkingscomponenten: Distributieplaten voor gas, douchehoofden en dekselplaten
• Onderdelen van proceskamers: RF-vensters, koepelassemblages en kamervoeringen
• Structurele elementen: Precisie-substraten, isolatiecomponenten en afstandsringe
• Speciale armaturen: Sproeiers, beugels en op maat gemaakte montageoplossingen

• Partikelvrije prestatiestijdens verlengde bedrijfscycli
• Minimale uitgassingonder vacuüm- en hoge temperatuuromstandigheden
• Niet-verontreinigendmateriaalcompositie die verenigbaar is met gevoelige processen

• Uitzonderlijke vlakheid en parallelismevoor nauwkeurige positionering van wafers
• Superieure slijtvastheidvoor een langere levensduur in schuuromgevingen
• Aanpasbare geometriemet strakke toleranties voor directe systeemintegratie

Onze keramische componenten vervullen essentiële functies in de halfgeleiderfabricage:

• Wafertransferrobotsen geautomatiseerde systemen voor materiaalbehandeling
• Kamers voor het etsen en het afzetten
• Lithografieapparatuuren metrologische systemen
• Vacuüm- en ultrahoge vacuümtoepassingen
• CVD- en PVD-systeemcomponenten

Met onze gespecialiseerde expertise op het gebied van geavanceerde technische keramiek voor halfgeleiderapparatuur leveren wij:

• Selectie van toepassingsspecifieke materialenbegeleiding
• Ingenieursondersteuning op maatvoor unieke ontwerpproblemen
• Rapid prototypingcapaciteiten voor ontwikkelingscycli
• Volumeproductiemet een consistente kwaliteitsborging
• Technische documentatieen prestatievalideringsgegevens

Neem contact op met ons technische team.om uw specifieke waferbehandelingsvereisten te bespreken en te ontdekken hoe onze precisie keramische armen, klauwen en vingers uw halfgeleiderproductieproces betrouwbaarheid en rendement kunnen verbeteren.