بازوها و انگشتان رباتیک سرامیکی دقیق با ثبات حرارتی و دقت ابعاد برای دستکاری وافره نیمه هادی

مابازوهای رباتیک، چنگال‌ها و انگشتان سرامیکی با عملکرد بالابه طور خاص برای کاربردهای حساس جابجایی ویفرهای نیمه‌رسانا طراحی شده‌اند. این اجزای حیاتی به عنوان "دست" ربات عمل می‌کنند - نیازمند پایداری حرارتی استثنایی، دقت ابعادی و عملکرد عاری از آلودگی برای حفظ یکپارچگی فرآیند در محیط‌های تولید نیمه‌رسانا هستند.

• آلودگی فوق‌العاده کم: مواد تایید شده سازگار با اتاق تمیز که از تولید ذرات و آلودگی شیمیایی جلوگیری می‌کند
• پایداری حرارتی استثنایی: حفظ یکپارچگی ابعادی در نوسانات دمایی شدید
• خواص مکانیکی برتر: نسبت استحکام به وزن بالا برای موقعیت‌یابی دقیق و میرایی ارتعاشات
• خنثی بودن شیمیایی: مقاوم در برابر مواد شیمیایی فرآیند تهاجمی از جمله اسیدها، بازها و محیط‌های پلاسما

ما از فرآیندهای شکل‌دهی پیشرفته متنوعی برای مطابقت با الزامات کاربردی خاص شما استفاده می‌کنیم:

• پرس داغ: برای حداکثر چگالی و خواص مکانیکی برتر
• پرس ایزواستاتیک سرد (CIP): اطمینان از چگالی یکنواخت در هندسه‌های پیچیده
• ریخته‌گری ژل: ایده‌آل برای اشکال بزرگ و پیچیده با پرداخت سطح عالی
• پرس خشک: مقرون به صرفه برای تولید انبوه هندسه‌های ساده‌تر

• حداکثر ابعاد: تا 650 میلی‌متر قطر یا 4 متر طول
• سطوح تخلخل: مهندسی شده برای تخلخل بسیار کم تا صفر بسته به کاربرد
• تفجیر شکل خالص: فناوری تفجیر مستقیم، پس از پردازش را به حداقل می‌رساند
• کیفیت سطح: پرداخت‌های درجه اپتیکال برای کاربردهای حیاتی در دسترس است

قابلیت‌های تولید سرامیک دقیق ما فراتر از اثردهنده‌های رباتیک است و شامل موارد زیر می‌شود:

• اجزای پردازش ویفر: صفحات توزیع گاز، سرهای دوش و صفحات پوشش
• قطعات محفظه فرآیند: پنجره‌های RF، مجموعه‌های گنبدی و آسترهای محفظه
• عناصر ساختاری: زیرلایه‌های دقیق، اجزای عایق و حلقه‌های فاصله‌گذار
• تجهیزات تخصصی: نازل‌ها، براکت‌ها و راه‌حل‌های نصب سفارشی

• عملکرد عاری از ذرات در طول چرخه‌های عملیاتی طولانی
• حداقل گازدهی تحت شرایط خلاء و دمای بالا
• غیر آلاینده ترکیب مواد سازگار با فرآیندهای حساس

• تخت بودن و موازی بودن استثنایی برای موقعیت‌یابی دقیق ویفر
• مقاومت در برابر سایش برتر برای عمر طولانی در محیط‌های ساینده
• هندسه قابل تنظیم با تحمل‌های دقیق برای ادغام مستقیم سیستم

اجزای سرامیکی ما عملکردهای حیاتی را در سراسر تولید نیمه‌رسانا انجام می‌دهند:

• ربات‌های انتقال ویفر و سیستم‌های جابجایی مواد خودکار
• محفظه‌های فرآیند اچ و رسوب‌گذاری
• تجهیزات لیتوگرافی و سیستم‌های اندازه‌گیری
• کاربردهای خلاء و فوق‌العاده خلاء
• اجزای سیستم CVD و PVD

با تخصص تخصصی در سرامیک‌های فنی پیشرفته برای تجهیزات نیمه‌رسانا، ما ارائه می‌دهیم:

• انتخاب مواد خاص کاربرد راهنمایی
• پشتیبانی مهندسی سفارشی برای چالش‌های طراحی منحصربه‌فرد
• نمونه‌سازی سریع قابلیت‌ها برای چرخه‌های توسعه
• تولید انبوه با تضمین کیفیت ثابت
• مستندات فنی و داده‌های اعتبارسنجی عملکرد

با تیم مهندسی ما تماس بگیرید تا در مورد الزامات خاص جابجایی ویفر خود بحث کنید و دریابید که چگونه بازوها، چنگال‌ها و انگشتان سرامیکی دقیق ما می‌توانند قابلیت اطمینان و بازده فرآیند تولید نیمه‌رسانای شما را افزایش دهند.