सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग के लिए थर्मल स्थिरता और आयामी सटीकता के साथ सटीक सिरेमिक रोबोटिक आर्म्स और उंगलियां

हमारेउच्च प्रदर्शन वाले सिरेमिक रोबोटिक हाथ, पंजे और उंगलियांविशेष रूप से संवेदनशील अर्धचालक वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। ये महत्वपूर्ण घटक रोबोट के "हाथ" के रूप में कार्य करते हैं - असाधारण आवश्यकता के साथ।थर्मल स्थिरता, आयामी परिशुद्धता और संदूषण मुक्त संचालनअर्धचालक विनिर्माण वातावरण में प्रक्रिया अखंडता बनाए रखने के लिए।

• अति-कम प्रदूषण: प्रमाणितस्वच्छ-कक्ष संगतकणों के निर्माण और रासायनिक संदूषण को रोकने वाली सामग्री
• असाधारण थर्मल स्थिरता: चरम तापमान उतार-चढ़ाव के बावजूद आयामी अखंडता बनाए रखें
• उत्कृष्ट यांत्रिक गुण: सटीक स्थिति और कंपन को कम करने के लिए उच्च कठोरता-से-वजन अनुपात
• रासायनिक निष्क्रियता: एसिड, बेस और प्लाज्मा वातावरण सहित आक्रामक प्रक्रिया रसायनों के लिए प्रतिरोधी

हम आपकी विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं के अनुरूप विभिन्न उन्नत बनाने की प्रक्रियाओं का उपयोग करते हैंः

• गर्म दबाया जाना: अधिकतम घनत्व और बेहतर यांत्रिक गुणों के लिए
• ठंडे आइसोस्टैटिक प्रेसिंग (सीआईपी): जटिल ज्यामिति में समान घनत्व सुनिश्चित करना
• जेल कास्टिंग: उत्कृष्ट सतह खत्म के साथ बड़े, जटिल आकारों के लिए आदर्श
• सूखी प्रेसिंग: सरल ज्यामिति के उच्च मात्रा के उत्पादन के लिए लागत प्रभावी

• अधिकतम आयाम: व्यास 650 मिमी या लंबाई 4 मीटर तक
• छिद्रता के स्तर: के लिए बनाया गयाबहुत कम से शून्य छिद्रआवेदन के आधार पर
• नेट-फॉर्म सिंटरिंग: प्रत्यक्ष सिंटरिंग तकनीक पोस्ट-प्रोसेसिंग को कम करती है
• सतह की गुणवत्ता: महत्वपूर्ण अनुप्रयोगों के लिए उपलब्ध ऑप्टिकल ग्रेड फिनिश

हमारी सटीक सिरेमिक विनिर्माण क्षमताएं रोबोटिक अंत-प्रभावकों से परे विस्तार करती हैं जिनमें शामिल हैंः

• वेफर प्रसंस्करण घटक: गैस वितरण प्लेट, शावर हेड और कवर प्लेट
• प्रक्रिया कक्ष भागों: आरएफ खिड़कियां, गुंबद इकट्ठा, और कक्ष अस्तर
• संरचनात्मक तत्व: प्रेसिजन सब्सट्रेट, इन्सुलेशन घटक और स्पेसर रिंग
• विशेष उपकरण: नोजल, ब्रैकेट और कस्टम माउंटिंग समाधान

• कण मुक्त प्रदर्शनविस्तारित परिचालन चक्रों के दौरान
• न्यूनतम उत्सर्जनवैक्यूम और उच्च तापमान की स्थिति में
• गैर दूषितसंवेदनशील प्रक्रियाओं के साथ संगत सामग्री संरचना

• असाधारण समतलता और समानांतरतासटीक वेफर पोजिशनिंग के लिए
• उत्कृष्ट पहनने का प्रतिरोधघर्षण वातावरण में सेवा जीवन के विस्तार के लिए
• अनुकूलन योग्य ज्यामितिसीधी प्रणाली एकीकरण के लिए तंग सहिष्णुता के साथ

हमारे सिरेमिक घटक अर्धचालक विनिर्माण में महत्वपूर्ण कार्य करते हैंः

• वेफर ट्रांसफर रोबोटऔर स्वचालित सामग्री हैंडलिंग सिस्टम
• उत्कीर्णन और जमाव प्रक्रिया कक्ष
• लिथोग्राफी उपकरणऔर मापन प्रणाली
• वैक्यूम और अति-उच्च वैक्यूम अनुप्रयोग
• सीवीडी और पीवीडी प्रणाली के घटक

अर्धचालक उपकरणों के लिए उन्नत तकनीकी सिरेमिक में विशेषज्ञता के साथ, हम प्रदान करते हैंः

• अनुप्रयोग-विशिष्ट सामग्री चयनमार्गदर्शन
• कस्टम इंजीनियरिंग सहायताअद्वितीय डिजाइन चुनौतियों के लिए
• त्वरित प्रोटोटाइपविकास चक्रों के लिए क्षमता
• वॉल्यूम निर्माणनिरंतर गुणवत्ता आश्वासन के साथ
• तकनीकी दस्तावेजऔर प्रदर्शन सत्यापन डेटा

हमारी इंजीनियरिंग टीम से संपर्क करेंअपनी विशिष्ट वेफर हैंडलिंग आवश्यकताओं पर चर्चा करने के लिए और पता लगाने के लिए कैसे हमारे परिशुद्धता सिरेमिक हाथ, पंजे, और उंगलियों अपने अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया विश्वसनीयता और उपज में सुधार कर सकते हैं।