Bras et doigts robotiques en céramique de précision avec stabilité thermique et précision dimensionnelle pour la manipulation de plaquettes de semi-conducteurs

Notrebras, griffes et doigts robotiques en céramique haute performanceCes composants essentiels fonctionnent comme la "main" du robot, ce qui nécessite desstabilité thermique, précision dimensionnelle et fonctionnement sans contaminationpour maintenir l'intégrité du processus dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs.

• Contamination extrêmement faible: certifiécompatibles avec les salles blanchesmatériaux qui empêchent la production de particules et la contamination chimique
• Stabilité thermique exceptionnelle: Maintenir l'intégrité dimensionnelle dans des conditions de température extrêmes
• Propriétés mécaniques supérieures: Rapport rigidité/poids élevé pour un positionnement précis et un amortissement des vibrations
• Inerté chimique: résistant aux produits chimiques agressifs du procédé, y compris les acides, les bases et les environnements plasmatiques

Nous utilisons divers procédés de formage avancés pour répondre à vos besoins spécifiques:

• Presser à chaud: Pour une densité maximale et des propriétés mécaniques supérieures
• Pressing isostatique à froid (CIP): Garantir une densité uniforme dans des géométries complexes
• Casting au gel: Idéal pour les grandes formes complexes avec une superbe finition de surface
• Pression à sec: Rentable pour une production en volume de géométries plus simples

• Dimensions maximales: jusqu'à 650 mm de diamètre ou 4 mètres de longueur
• Niveaux de porositéConçu pour:très faible à zéro porositéen fonction de l'application
• Sintration en forme de filet: la technologie de frittage direct réduit au minimum le post-traitement
• Qualité de la surface: Finitions de qualité optique disponibles pour les applications critiques

Nos capacités de fabrication de céramiques de précision vont au-delà des robotiseurs pour inclure:

• Composants pour le traitement des plaquettes: Plaques de distribution de gaz, pommes de douche et plaques de couverture
• Parties de la chambre de traitement: fenêtres RF, assemblages de dôme et revêtements de chambre
• Éléments structurels: Substrats de précision, composants isolants et anneaux d'espacement
• Armatures spécialisées: Buseaux, supports et solutions de montage sur mesure

• Performance sans particulesau cours de cycles opérationnels prolongés
• Dégazage minimalsous vide et à haute température
• Non contaminantcomposition du matériau compatible avec les procédés sensibles

• Plaineté et parallélisme exceptionnelspour le positionnement précis des plaquettes
• Résistance à l'usurepour une durée de vie prolongée dans des environnements abrasifs
• Géométrie personnalisableavec des tolérances serrées pour l'intégration directe du système

Nos composants céramiques remplissent des fonctions essentielles dans la fabrication de semi-conducteurs:

• Robots de transfert de plaquetteset systèmes automatisés de manutention des matériaux
• Chambres de dépôt et de gravure
• Équipement de lithographieet des systèmes de métrologie
• Applications sous vide et sous vide ultra-haute
• Composants des systèmes CVD et PVD

Grâce à notre expertise spécialisée dans les céramiques techniques avancées pour les équipements à semi-conducteurs, nous fournissons:

• Sélection des matériaux spécifiques à l'applicationl'orientation
• Appui technique sur mesurepour des défis de conception uniques
• Prototypage rapidecapacités pour les cycles de développement
• Fabrication en sérieavec une assurance qualité constante
• Documentation techniqueet données de validation des performances

Contactez notre équipe d'ingénieurs.pour discuter de vos besoins spécifiques en matière de manipulation des plaquettes et découvrir comment nos bras, griffes et doigts en céramique de précision peuvent améliorer la fiabilité et le rendement de votre processus de fabrication de semi-conducteurs.