Прецизные керамические роботизированные руки и пальцы с тепловой устойчивостью и измеренной точностью для обработки полупроводниковых пластин

Нашвысокопроизводительные керамические роботизированные руки, когти и пальцыЭти важнейшие компоненты функционируют как "рука" робота, требуя исключительных усилий.тепловая стабильность, точность измерений и работа без загрязнениядля поддержания целостности процесса в среде производства полупроводников.

• Слишком низкое загрязнение: СертификатСовместимая с чистыми помещениямиматериалы, предотвращающие образование частиц и химическое загрязнение
• Исключительная тепловая устойчивость: Сохранить целостность измерений при экстремальных колебаниях температуры
• Высокие механические свойства: Высокое соотношение жесткости к весу для точного расположения и сдерживания вибраций
• Химическая инертность: устойчивы к агрессивным химическим веществам, включая кислоты, основы и плазменные среды

Мы используем различные передовые процессы формирования, чтобы соответствовать вашим конкретным требованиям к применению:

• Горячее прессование: для максимальной плотности и превосходных механических свойств
• Холодное изостатическое прессование (CIP): Обеспечение единообразной плотности в сложных геометрии
• Гелевая литья: Идеально подходит для больших, сложных форм с отличной отделкой поверхности
• Сухое прессование: экономически эффективный для большого объема производства более простых геометрий

• Максимальные размеры: до 650 мм в диаметре или 4 м в длину
• Уровни пористостиРазработан для:очень низкая до нулевой пористостьв зависимости от применения
• Сцинтерирование в виде сетки: Технология прямого спекания позволяет минимизировать обработку
• Качество поверхности: Оптические отделки для критических применений

Наши высокоточные керамические производственные возможности выходят за рамки роботизированных конечных эффекторов, включая:

• Компоненты для обработки пластин: Пластины распределения газа, душевые головки и крышки
• Части процессовой камеры: РЧ-окна, купольные комплектации и обшивки камер
• Структурные элементы: Прецизные подложки, изоляционные компоненты и кольца для расстояния
• Специализированные светильники: Ножовки, скобки и индивидуальные решения для монтажа

• Производительность без частицво время длительных эксплуатационных циклов
• Минимальное выброс газовв условиях вакуума и высокой температуры
• Не загрязняющиеСостав материала совместим с чувствительными процессами

• Исключительная плоскость и параллельностьдля точного расположения пластины
• Высокая износостойкостьдля продления срока службы в абразивной среде
• Настраиваемая геометрияс узкими допустимыми допустимыми значениями для прямой интеграции системы

Наши керамические компоненты выполняют важнейшие функции в производстве полупроводников:

• Роботы для переноса пластиноки автоматизированные системы обработки материалов
• Камеры процессов гравирования и осаждения
• Литографическое оборудованиеи метрологические системы
• Вакуумные и ультравысоковакуумные приложения
• Компоненты систем СВД и ПВД

Благодаря специализированному опыту в области передовой технической керамики для полупроводникового оборудования, мы предоставляем:

• Выбор материалов для конкретного примененияруководство
• Инженерная поддержка на заказдля уникальных дизайнерских задач
• Быстрое создание прототиповвозможности для циклов разработки
• Производство по объемус постоянным обеспечением качества
• Техническая документацияи данные проверки эффективности

Свяжитесь с нашей инженерной командой.чтобы обсудить ваши конкретные требования к обработке пластинок и узнать, как наши высокоточные керамические руки, когти и пальцы могут повысить надежность и производительность вашего полупроводникового производства.