Tam Seramik Robotik Kollar ve Parmaklar, Termal Dayanıklılık ve Yarım iletken Wafer İşleme için Boyut Düzlüğü

Bizimyüksek performanslı seramik robot kolları, pençeleri ve parmaklarıÖzellikle hassas yarı iletken levha işleme uygulamaları için tasarlanmıştır.Termal istikrar, boyut hassasiyeti ve kirliliksiz çalışmaYarım iletken üretim ortamlarında süreç bütünlüğünü korumak için.

• Ultra Düşük Kirlenme: SertifikalıTemiz oda uyumluParçacık oluşumunu ve kimyasal kirliliği önleyen malzemeler
• Olağanüstü Termal Dayanıklılık: Aşırı sıcaklık dalgalanmalarında boyut bütünlüğünü korumak
• Üstün Mekanik Özellikler: Hızlı konumlandırma ve titreşim dümdüzümü için yüksek sertlik ağırlık oranı
• Kimyasal Etkisizlik: Asit, baz ve plazma ortamları dahil olmak üzere agresif süreç kimyasallarına dirençlidir

Belirli uygulama gereksinimlerinize uyan çeşitli gelişmiş şekillendirme işlemleri kullanıyoruz:

• Sıcak Presleme: Maksimum yoğunluk ve üstün mekanik özellikler için
• Soğuk Izostatik Baskı (CIP): Karmaşık geometrilerde eşit yoğunluk sağlamak
• Gel dökme: Mükemmel yüzey finişi ile büyük, karmaşık şekiller için idealdir
• Kuru baskı: Daha basit geometrilerin büyük hacimli üretimi için maliyet açısından verimli

• Maksimum Boyutlar: 650 mm çapına veya 4 metre uzunluğuna kadar
• Gözeneklilik seviyeleri: için tasarlandıÇok düşük sıfır gözeneklilikUygulamaya bağlı olarak
• Ağ şeklinde Sinterleme: Doğrudan sinterleme teknolojisi, son işlemleri en aza indirir
• Yüzey kalitesi: Kritik uygulamalar için mevcut optik sınıfı bitirme

Bizim hassas seramik üretim yeteneklerimiz robot son efektörlerin ötesine uzanıyor ve şunları içeriyor:

• Wafer işleme bileşenleri: Gaz dağıtım plakaları, duş başlıkları ve kapak plakaları
• Süreç odası parçaları: RF pencereleri, kubbe montajları ve oda kaplamaları
• Yapısal Elemanlar: Hassas substratlar, yalıtım bileşenleri ve aralık halkaları
• Uzmanlıklı Ayarlar: Nozzles, brackets ve özel montaj çözümleri

• Parçacıksız performansUzun süreli çalışma döngüleri sırasında
• Minimum gaz çıkışıvakum ve yüksek sıcaklık koşullarında
• Kirletici olmayanDuyarlı süreçlerle uyumlu malzeme bileşimi

• Olağanüstü düzlük ve paralellikWafer'ın kesin konumlandırılması için
• Üstün aşınma direnciabrasif ortamlarda uzatılmış hizmet ömrü için
• Özelleştirilebilir geometriDoğrudan sistem entegrasyonu için sıkı toleranslara sahip

Seramik bileşenlerimiz yarı iletken üretiminde kritik işlevlere hizmet ediyor:

• Wafer transfer robotlarıve otomatik malzeme işleme sistemleri
• Çizim ve depolama işlem odaları
• Litografi ekipmanlarıve metroloji sistemleri
• Vakum ve ultra yüksek vakum uygulamaları
• CVD ve PVD sistem bileşenleri

Yarım iletken ekipmanları için gelişmiş teknik seramik alanında uzmanlaşmış uzmanlığımızla, şunları sağlıyoruz:

• Uygulamaya özel malzeme seçimirehberlik
• Özel mühendislik desteğibenzersiz tasarım zorlukları için
• Hızlı prototip oluşturmaGelişim döngüleri için yetenekler
• Toplu üretimSürekli kalite güvencesi ile
• Teknik dokümanasyonve performans doğrulama verileri

Mühendislik ekibimizle iletişime geçin.Özel wafer işleme gereksinimlerinizi tartışmak ve hassas seramik kollarımızın, pençelerimizin ve parmaklarımızın yarı iletken üretim sürecinizin güvenilirliğini ve verimini nasıl artırabileceğini keşfetmek için.