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반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

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고객 검토
NGK는 산시 케구와의 오랜 파트너십을 소중히 여기고 있습니다. 그들의 SSiC 세라믹은 품질과 혁신에 탁월하며, 우리의 상호 성공을 이끌고 있습니다.

—— NGK 열 기술 회사

후이커는 신뢰, 혁신, 그리고 공동의 우수성을 바탕으로 하는 산시 커구 신소재 기술 유한 회사와의 오랜 파트너십에 자부심을 느낍니다. SSiC 세라믹에 대한 그들의 전문 지식과 안정적인 솔루션은 지속적으로 저희 프로젝트를 지원해 왔습니다.

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케다에서 우리는 산시 케구 신소재 기술 회사와 오랜 파트너십을 매우 높이 평가합니다.그들의 고품질의 SSiC 세라믹 솔루션은 우리의 프로젝트에 필수 요소였습니다. 우리는 지속적인 협업과 공동의 성공을 기대합니다..

—— 케다 산업 그룹 (Keda Industrial Group Co.,Ltd)

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반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

High-Temperature Resistant SiC Forks with 1650°C Max Service Temp and 3800MPa Flexural Strength for Semiconductor Manufacturing
High-Temperature Resistant SiC Forks with 1650°C Max Service Temp and 3800MPa Flexural Strength for Semiconductor Manufacturing
High-Temperature Resistant SiC Forks with 1650°C Max Service Temp and 3800MPa Flexural Strength for Semiconductor Manufacturing High-Temperature Resistant SiC Forks with 1650°C Max Service Temp and 3800MPa Flexural Strength for Semiconductor Manufacturing High-Temperature Resistant SiC Forks with 1650°C Max Service Temp and 3800MPa Flexural Strength for Semiconductor Manufacturing High-Temperature Resistant SiC Forks with 1650°C Max Service Temp and 3800MPa Flexural Strength for Semiconductor Manufacturing

큰 이미지 :  반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

제품 상세 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: KeGu
모델 번호: 사용자 정의 가능
결제 및 배송 조건:
가격: 200-500 yuan/kg
포장 세부 사항: 세계적 선적을 위한 강한 나무상자
지불 조건: L/C,D/A,D/P,T/T,웨스턴 유니온,MoneyGram
공급 능력: 2,000 PC / 달
접촉

반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

설명
재료: sic 구성:SiC: > 98%
색상: 검은색 밀도: > 3.05g/cm3
최대. 서비스 온도: 1650 ° C 굴곡강도: 3800M파
강조하다:

무압 소결 SIC 포크

,

경량 소결 SIC 포크

,

고온 저항 SIC 포크

고온 내성 SiC 포크
반도체 제조용 정밀 핵심 부품
고온 내성 실리콘 카바이드(SiC) 포크는 압력 없이 소결된 SiC 로봇 팔이라고도 하며, 정밀 자동화를 위한 재료 과학의 획기적인 발전을 나타냅니다. 첨단 압력 없는 소결 기술을 사용하여 설계된 이 포크는 가장 까다로운 반도체 제조 환경에서 타의 추종을 불허하는 성능을 제공합니다.
주요 특성 및 장점
  • 극심한 온도 저항: 공기 중에서 최대 1650°C의 작동 온도를 견딜 수 있으며, 고온 공정에서 구조적 무결성을 유지합니다.
  • 뛰어난 기계적 강도: 실온에서 1300°C까지 높은 굴곡 강도(320-400 MPa)를 특징으로 하여, 무거운 하중에서도 안정적인 성능을 보장합니다.
  • 탁월한 열 관리: 뛰어난 열 전도율(20°C에서 196 W/m*K)과 낮은 열팽창(4.0 x 10⁻⁶/K)을 결합하여 우수한 열충격 저항성(>350°C)을 제공합니다.
  • 최대 내구성: 초고 경도(2350 kg/mm² 비커스)와 거의 0에 가까운 개방 기공률은 마모가 심한 환경에서 뛰어난 내마모성과 장기적인 신뢰성을 보장합니다.
  • 정밀도에 최적화: 높은 탄성 계수(410 GPa)와 견고하고 가벼운 디자인은 최소한의 처짐과 실리콘 웨이퍼와 같은 민감한 기판의 고정밀 취급을 가능하게 합니다.
기술 사양
물리적 특성 단위 값 (SSiC)
구성: SiC Vol% ≥98
밀도 @ 20 °C g/cm³ ≥3.05
개방 기공률 Vol% ≈0
비커스 경도 HV1 kg/mm² 2350
록웰 경도 45N R45N 93
20°C에서의 굴곡 강도 MPa 320-400
1300°C에서의 굴곡 강도 MPa 300-400
20°C에서의 열 전도율 W*m⁻¹*K⁻¹ 196
1200°C에서의 열 전도율 W*m⁻¹*K⁻¹ 60
최대 사용 온도 (공기) °C 1650
열충격 저항 °C >350
열팽창 계수 10⁻⁶/K 4.0
RT에서의 탄성 계수 GPa 410
주요 응용 분야
  • 반도체 제조: CVD, LPCVD, 확산로 및 기타 고온 장비에서 웨이퍼 취급, 이송 및 공정에 이상적입니다.
  • 첨단 열처리: 고온 산업용로 및 열처리 시스템에 필수적인 부품입니다.
  • 항공우주 및 방위: 열적 안정성과 경량 내구성이 필요한 중요한 부품입니다.
  • 원자력 시스템: 까다로운 방사선 및 고온 환경을 위한 부품입니다.
  • 정밀 자동화: 클린룸 및 가혹한 환경 응용 분야를 위한 로봇 팔 및 엔드 이펙터입니다.
성능 이점
  • 클린룸 환경에서 입자 발생 및 오염 감소
  • 정확한 위치 지정을 위한 최소한의 열 변형
  • 석영 및 흑연 대체품에 비해 수명 연장
  • 유지 보수 중단 시간 감소 및 생산 처리량 증가
  • 공정 가스 및 세척제로부터의 화학적 부식에 대한 우수한 저항성
이러한 SiC 포크는 온도 극심, 내화학성 및 기계적 안정성이 중요한 성능 요소인 정밀 제조 응용 분야에서 공정 신뢰성과 수율을 향상시키기 위해 특별히 설계되었습니다.

태그:

탄화규소계 세라믹스,

압력 없는 합금 SIC,

원문대로 도자기류

연락처 세부 사항
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

담당자: Ms. Yuki

전화 번호: 8615517781293

회사에 직접 문의 보내기 (0 / 3000)

약

실리콘카바이드 세라믹

반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

맞춤형 무압 소결 SiC 롤러 1650°C 내열 롤러 하스 가마용

반응 결합 실리콘 탄화물

1 380°C 최대 서비스 온도와 250MPa 굴절 강도와 함께 고온 산업 냉각용 반응 합성 실리콘 탄화탄 공기 냉각 튜브

산업용 오븐용 열 충격 및 염화 저항성 높은 온도 안정성 SiC 연장기

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