반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크
기본 특성
원산지:
중국
브랜드 이름:
KEGU
모델 번호:
맞춤형
부동산 거래
최소 주문 수량:
협상 가능
가격:
협상 가능
지불 조건:
L/C,D/A,D/P,T/T,웨스턴 유니온,MoneyGram
제품 요약
고온 내성 SiC 포크 반도체 제조용 정밀 핵심 부품 고온 내성 실리콘 카바이드(SiC) 포크는 압력 없이 소결된 SiC 로봇 팔이라고도 하며, 정밀 자동화를 위한 재료 과학의 획기적인 발전을 나타냅니다. 첨단 압력 없는 소결 기술을 사용하여 설계된 이 포크는 가장 까다로운 반도체 제조 환경에서 타의 추종을 불허하는 성능을 제공합니다. 주요 특성 및 장점 극심한 온도 저항: 공기 중에서 최대 1650°C의 작동 온도를 견딜 수 있으며, 고온 공정에서 구조적 무결성을 유지합니다. 뛰어난 기계적 강도: 실온에서 1300°C까지 높은 굴...
제품 상세정보
강조하다:
무압 소결 SIC 포크
,경량 소결 SIC 포크
,고온 저항 SIC 포크
Material:
sic
Composition:SiC:
> 98%
Color:
검은색
Density:
> 3.05g/cm3
Max. Service Temp:
1650 ° C
Flexural Strength:
3800M파
Usage:
산업 사용
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
높은 내마모성
Thermal Expansion Coefficient:
4.0-4.5 × 10^-6 /K
Material Composition:
4%Si >96%Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
마모 및 마모 저항
Purity:
98%
Material:
실리콘카바이드 세라믹
Acid Alkaline Proof:
훌륭한
Solubility:
불용성
Open Porosity:
<0.1%
Flexural Strength:
350~550MPa
제품 설명
고온 내성 SiC 포크
반도체 제조용 정밀 핵심 부품
고온 내성 실리콘 카바이드(SiC) 포크는 압력 없이 소결된 SiC 로봇 팔이라고도 하며, 정밀 자동화를 위한 재료 과학의 획기적인 발전을 나타냅니다. 첨단 압력 없는 소결 기술을 사용하여 설계된 이 포크는 가장 까다로운 반도체 제조 환경에서 타의 추종을 불허하는 성능을 제공합니다.
주요 특성 및 장점
- 극심한 온도 저항: 공기 중에서 최대 1650°C의 작동 온도를 견딜 수 있으며, 고온 공정에서 구조적 무결성을 유지합니다.
- 뛰어난 기계적 강도: 실온에서 1300°C까지 높은 굴곡 강도(320-400 MPa)를 특징으로 하여, 무거운 하중에서도 안정적인 성능을 보장합니다.
- 탁월한 열 관리: 뛰어난 열 전도율(20°C에서 196 W/m*K)과 낮은 열팽창(4.0 x 10⁻⁶/K)을 결합하여 우수한 열충격 저항성(>350°C)을 제공합니다.
- 최대 내구성: 초고 경도(2350 kg/mm² 비커스)와 거의 0에 가까운 개방 기공률은 마모가 심한 환경에서 뛰어난 내마모성과 장기적인 신뢰성을 보장합니다.
- 정밀도에 최적화: 높은 탄성 계수(410 GPa)와 견고하고 가벼운 디자인은 최소한의 처짐과 실리콘 웨이퍼와 같은 민감한 기판의 고정밀 취급을 가능하게 합니다.
기술 사양
| 물리적 특성 | 단위 | 값 (SSiC) |
|---|---|---|
| 구성: SiC | Vol% | ≥98 |
| 밀도 @ 20 °C | g/cm³ | ≥3.05 |
| 개방 기공률 | Vol% | ≈0 |
| 비커스 경도 HV1 | kg/mm² | 2350 |
| 록웰 경도 45N | R45N | 93 |
| 20°C에서의 굴곡 강도 | MPa | 320-400 |
| 1300°C에서의 굴곡 강도 | MPa | 300-400 |
| 20°C에서의 열 전도율 | W*m⁻¹*K⁻¹ | 196 |
| 1200°C에서의 열 전도율 | W*m⁻¹*K⁻¹ | 60 |
| 최대 사용 온도 (공기) | °C | 1650 |
| 열충격 저항 | °C | >350 |
| 열팽창 계수 | 10⁻⁶/K | 4.0 |
| RT에서의 탄성 계수 | GPa | 410 |
주요 응용 분야
- 반도체 제조: CVD, LPCVD, 확산로 및 기타 고온 장비에서 웨이퍼 취급, 이송 및 공정에 이상적입니다.
- 첨단 열처리: 고온 산업용로 및 열처리 시스템에 필수적인 부품입니다.
- 항공우주 및 방위: 열적 안정성과 경량 내구성이 필요한 중요한 부품입니다.
- 원자력 시스템: 까다로운 방사선 및 고온 환경을 위한 부품입니다.
- 정밀 자동화: 클린룸 및 가혹한 환경 응용 분야를 위한 로봇 팔 및 엔드 이펙터입니다.
성능 이점
- 클린룸 환경에서 입자 발생 및 오염 감소
- 정확한 위치 지정을 위한 최소한의 열 변형
- 석영 및 흑연 대체품에 비해 수명 연장
- 유지 보수 중단 시간 감소 및 생산 처리량 증가
- 공정 가스 및 세척제로부터의 화학적 부식에 대한 우수한 저항성
이러한 SiC 포크는 온도 극심, 내화학성 및 기계적 안정성이 중요한 성능 요소인 정밀 제조 응용 분야에서 공정 신뢰성과 수율을 향상시키기 위해 특별히 설계되었습니다.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- 이메일: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel: 8616602956098
- 왓츠앱: 8613390790728
-
웨이 채팅:
Scarlettseren533
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