Hochtemperaturbeständige SiC-Gabeln mit maximaler Betriebstemperatur von 1650 °C und biegsamer Festigkeit von 3800 MPa für die Halbleiterherstellung
Grundlegende Eigenschaften
Herkunftsort:
China
Markenname:
KEGU
Modellnummer:
Anpassbar
Immobilienhandel
Mindestbestellmenge:
Verhandelbar
Preis:
Verhandlungsfähig
Zahlungsbedingungen:
L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Produktübersicht
SiC-Gabeln, die hochtemperaturbeständig sind Präzisionskernkomponenten für die Halbleiterherstellung Hochtemperaturbeständige Siliziumkarbid (SiC) - Gabeln, auch als Drucklose Sinter SiC Roboterarme bekannt, stellen einen Durchbruch in der Materialwissenschaft für die Präzisionsautomation dar...
Produktdetails
Hervorheben:
Drucklos gesinterte SIC-Gabel
,Leichte
,gesinterte SIC-Gabel
Material:
Sic
Composition:SiC:
> 98%
Color:
Schwarz
Density:
> 3.05G/cm3
Max. Service Temp:
1650 ° C.
Flexural Strength:
3800Mpa
Usage:
Branchennutzung
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85 %
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
Hohe Verschleißfestigkeit
Thermal Expansion Coefficient:
4,0-4,5 × 10^-6 /K
Material Composition:
4 % Si > 96 % Si
Working Temperature:
1650
Advantage:
Verschleiß- und Abriebfestigkeit
Purity:
98 %
Material:
Siliziumkarbid-Keramik
Acid Alkaline Proof:
Exzellent
Solubility:
Unlöslich
Open Porosity:
<0,1 %
Flexural Strength:
350 bis 550 MPa
Produkt-Beschreibung
SiC-Gabeln, die hochtemperaturbeständig sind
Präzisionskernkomponenten für die Halbleiterherstellung
Hochtemperaturbeständige Siliziumkarbid (SiC) - Gabeln, auch als Drucklose Sinter SiC Roboterarme bekannt, stellen einen Durchbruch in der Materialwissenschaft für die Präzisionsautomation dar.Gefertigt mit Hilfe fortschrittlicher Drucklos-Sintertechnologie, bieten diese Gabeln eine beispiellose Leistung in den anspruchsvollsten Umgebungen der Halbleiterherstellung.
Hauptmerkmale und Vorteile
- Widerstandsfähigkeit gegen extreme Temperaturen:Es hält Betriebstemperaturen von bis zu 1650 °C in der Luft stand und bewahrt die Strukturintegrität bei hohen Temperaturen.
- Mechanische Festigkeit:Mit einer hohen Biegefestigkeit (320-400 MPa) bei Raumtemperatur bis zu 1300°C gewährleistet er eine zuverlässige Leistung bei schweren Belastungen.
- Außergewöhnliche thermische Behandlung:Er bietet eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit (196 W/m*K bei 20°C) in Kombination mit einer geringen thermischen Ausdehnung (4,0 x 10−6/K) und eine hervorragende Wärmeschlagfestigkeit (> 350°C).
- Maximale Haltbarkeit:Die ultrahohe Härte (2350 kg/mm2 Vickers) und die nahezu Null-Offene Porosität sorgen für eine außergewöhnliche Verschleißfestigkeit und langfristige Zuverlässigkeit in abrasiven Umgebungen.
- Optimiert für Präzision:Der hohe Elastizitätsmodul (410 GPa) und das starre Leichtbauwerk ermöglichen eine minimale Verbiegung und eine hochechte Handhabung empfindlicher Substrate wie Siliziumwafern.
Technische Spezifikation
| Körperliche Eigenschaften | Einheit | Wert (SSiC) |
|---|---|---|
| Zusammensetzung: SiC | Volumen% | ≥ 98 |
| Dichte @ 20 °C | G/cm3 | ≥ 3.05 |
| Offene Porosität | Volumen% | ≈ 0 |
| Vickers Härte HV1 | Weigerung der Verwendung | 2350 |
| Rockwell-Härte 45N | R45N | 93 |
| Beugfestigkeit @ 20°C | MPa | 320 bis 400 |
| Beugfestigkeit @ 1300°C | MPa | 300 bis 400 |
| Wärmeleitfähigkeit @ 20°C | W*m-1*K-1 | 196 |
| Wärmeleitfähigkeit @ 1200°C | W*m-1*K-1 | 60 |
| Max. Betriebstemperatur (Luft) | °C | 1650 |
| Wärmeschlagfestigkeit | °C | > 350 |
| Koeffizient der thermischen Ausdehnung | 10−6/K | 4.0 |
| Modul der Elastizität @ RT | GPa | 410 |
Kritische Anwendungsbereiche
- Halbleiterherstellung:Ideal für die Handhabung, Übertragung und Verarbeitung von Wafern in CVD, LPCVD, Diffusionsöfen und anderen Hochtemperaturgeräten
- Erweiterte thermische Verarbeitung:Wesentliche Bauteile für Hochtemperaturindustrieöfen und Wärmebehandlungsanlagen
- Luft- und Raumfahrt:Kritische Teile, die thermische Stabilität und leichte Haltbarkeit erfordern
- Kernenergiesysteme:Komponenten für hohe Strahlungs- und Hochtemperaturumgebungen
- Präzisionsautomation:Roboterarme und Endwirkungsgeräte für Reinräume und harte Umgebungen
Leistungsvorteile
- Verringerte Partikelbildung und Verunreinigung in Reinraumumgebungen
- Minimale thermische Verformung für eine präzise Positionierungsgenauigkeit
- Verlängerte Lebensdauer im Vergleich zu Quarz- und Graphitalternativen
- Reduzierte Instandhaltungsstoppzeiten und erhöhte Produktionsleistung
- Ausgezeichnete Beständigkeit gegen chemische Korrosion durch Prozessgase und Reinigungsmittel
Diese SiC-Gabeln sind speziell entwickelt, um die Prozesszuverlässigkeit und den Ertrag in Präzisionsproduktionsanwendungen zu verbessern, in denen Temperaturextreme, chemische Resistenz,und mechanische Stabilität sind entscheidende Leistungsfaktoren.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- E-Mail: scarlett.s@kegugroup.com
- Telefon: 8616602956098
- - Was ist?: 8613390790728
-
Wechat:
Scarlettseren533
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