半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa
基本プロパティ
原産地:
中国
ブランド名:
KEGU
モデル番号:
カスタマイズ可能
取引物件
最低注文数量:
交渉可能
価格:
交渉可能
支払い条件:
L/C、D/A、D/P、T/T、ウェスタンユニオン、マネーグラム
製品概要
高温耐性のSiCフォーク 半導体製造のための精密コアコンポーネント 高温耐性シリコンカービッド (SiC) フォークは,圧力のないシントレ SiC ロボットアームとしても知られており,精密自動化のための材料科学の突破口を表しています.先進的な圧力なしのシンタリング技術を用いて設計されたこのフォークは 最も要求の高い半導体製造環境でも 卓越した性能を 提供しています 主要 な 特性 と 利点 極端な温度への耐性空気で1650°Cまでの作業温度に耐えるため,高温プロセスでも構造の整合性を保ちます. 優れた機械強度:室温から1300°Cまでの高屈曲強度 (320〜400MPa) で,重荷下での信頼性...
製品詳細
ハイライト:
無圧焼結SICフォーク
,軽量焼結SICフォーク
,高温耐性SICフォーク
Material:
sic
Composition:SiC:
> 98％
Color:
黒
Density:
> 3.05g/cm3
Max. Service Temp:
1650°C
Flexural Strength:
3800Mpa
Usage:
業界の使用
Chemical Composition:
Al2O3,SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600℃
Characteristics:
高い耐摩耗性
Thermal Expansion Coefficient:
4.0～4.5×10^-6/K
Material Composition:
4%Si >96%Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
耐摩耗性と耐摩耗性
Purity:
98%
Material:
炭化ケイ素セラミック
Acid Alkaline Proof:
素晴らしい
Solubility:
不溶性
Open Porosity:
<0.1%
Flexural Strength:
350〜550 MPa
製品の説明
高温耐性のSiCフォーク
半導体製造のための精密コアコンポーネント
高温耐性シリコンカービッド (SiC) フォークは,圧力のないシントレ SiC ロボットアームとしても知られており,精密自動化のための材料科学の突破口を表しています.先進的な圧力なしのシンタリング技術を用いて設計されたこのフォークは 最も要求の高い半導体製造環境でも 卓越した性能を 提供しています
主要 な 特性 と 利点
- 極端な温度への耐性空気で1650°Cまでの作業温度に耐えるため,高温プロセスでも構造の整合性を保ちます.
- 優れた機械強度:室温から1300°Cまでの高屈曲強度 (320〜400MPa) で,重荷下での信頼性の高い性能を保証する.
- 特殊な熱管理:20°Cで優れた熱伝導性 (196 W/m*K) を有し,低熱膨張 (4.0 x 10−6/K) と組み合わせて,優れた熱衝撃耐性 (> 350°C) を提供する.
- 耐久性の最大化:超高硬さ (2350 kg/mm2 Vickers) とほぼゼロの開口孔隙性により,磨き環境では例外的な耐磨性と長期的信頼性が確保されます.
- 精度に最適化:高い弾性模数 (410 GPa) と頑丈な軽量設計により,シリコンウエファーなどの繊細な基板の最小限の曲線と高精度な処理が可能になります.
テクニカル仕様
| 物理 的 な 特質 | ユニット | 値 (SSiC) |
|---|---|---|
| 構成: SiC | 総量 % | ≥98 |
| 密度 @ 20 °C | g/cm3 | ≥305 |
| オープンポロ性 | 総量 % | ≈0 |
| ビッカース硬さ HV1 | kg/mm2 | 2350 |
| ロックウェル硬さ 45N | R45N | 93 |
| 折りたたみ強度 20°C | MPa | 320〜400 |
| 折りたたみ強度 @ 1300°C | MPa | 300〜400 |
| 熱伝導性 20°C | W*m-1*K-1 | 196 |
| 熱伝導性 @ 1200°C | W*m-1*K-1 | 60 |
| 最大使用温度 (空気) | °C | 1650 |
| 熱ショック耐性 | °C | >350 |
| 熱膨張係数 | 10−6/K | 4.0 |
| 弾性モジュール @ RT | GPa | 410 |
重要な応用分野
- 半導体製造:CVD,LPCVD,拡散炉,および他の高温機器におけるウェーファー処理,転送,処理に最適
- 熱処理の高度高温産業炉と熱処理システムの基本部品
- 航空宇宙と防衛:熱安定性や軽量耐久性を必要とする重要な部品
- 核エネルギーシステム:放射線と高温環境の要求を伴う部品
- 精密自動化クリーンルームおよび厳しい環境の用途のためのロボット腕とエンドエフェクター
性能上の利点
- クリーンルーム環境における粒子生成と汚染の減少
- 位置付けの精度を保つために最小限の熱変形
- クォーツ と グラフィット の 代替 材料 と 比べ て 寿命 が 延長 さ れ た
- 保守停止時間を短縮し,生産量を増やす
- プロセスガスや清掃剤による化学腐食に対する優れた耐性
このSiCフォークは 厳密な製造アプリケーションで プロセス信頼性と出力を高めるために 特別に設計されています機械的な安定性も重要な性能要因です.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- メールアドレス: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel: 8616602956098
- ワットスアップ: 8613390790728
-
ウェチャット:
Scarlettseren533
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