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半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa

認証
中国 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd 認証
中国 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd 認証
顧客の検討
NGKは、陝西科谷との長年のパートナーシップを高く評価しています。彼らのSSiCセラミックスは品質と革新性に優れており、私たちの相互の成功を牽引しています。今後も協力関係を継続しましょう!

—— NGKサーマルテクノロジー株式会社

ハイケでは,信頼,革新,共同卓越性に基づいた長年の協力関係,山西ケグ新材料技術株式会社と 誇りを持っています.SSiCセラミクスの専門知識と信頼性の高いソリューションは,一貫して私たちのプロジェクトを支援しています.

—— スズーホイケ・テクノロジー・カンパニー

私たちは,ケダで,山西ケグ新材料技術株式会社との長年のパートナーシップを非常に評価しています.彼らの高品質のSSiCセラミックソリューションは 私たちのプロジェクトに不可欠なものであり, 我々は継続的な協力と共通の成功を期待しています.

—— ケダ・インダストリアル・グループ株式会社

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半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa

High-Temperature Resistant SiC Forks with 1650°C Max Service Temp and 3800MPa Flexural Strength for Semiconductor Manufacturing
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大画像 :  半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa

商品の詳細:
起源の場所: 中国
ブランド名: KeGu
モデル番号: カスタマイズ可能
お支払配送条件:
価格: 200-500 yuan/kg
パッケージの詳細: 強力な木製の箱 グローバル輸送のために
支払条件: 信用状、D/A、D/P、T/T、ウェスタンユニオン、マネーグラム
供給の能力: 2,000 PC/月

半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa

説明
材料: sic 組成:SiC: > 98%
色: 密度: > 3.05g/cm3
最大。サービス温度: 1650°C 曲げ強度: 3800Mpa
ハイライト:

無圧焼結SICフォーク

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軽量焼結SICフォーク

,

高温耐性SICフォーク

高温耐性のSiCフォーク
半導体製造のための精密コアコンポーネント
高温耐性シリコンカービッド (SiC) フォークは,圧力のないシントレ SiC ロボットアームとしても知られており,精密自動化のための材料科学の突破口を表しています.先進的な圧力なしのシンタリング技術を用いて設計されたこのフォークは 最も要求の高い半導体製造環境でも 卓越した性能を 提供しています
主要 な 特性 と 利点
  • 極端な温度への耐性空気で1650°Cまでの作業温度に耐えるため,高温プロセスでも構造の整合性を保ちます.
  • 優れた機械強度:室温から1300°Cまでの高屈曲強度 (320〜400MPa) で,重荷下での信頼性の高い性能を保証する.
  • 特殊な熱管理:20°Cで優れた熱伝導性 (196 W/m*K) を有し,低熱膨張 (4.0 x 10−6/K) と組み合わせて,優れた熱衝撃耐性 (> 350°C) を提供する.
  • 耐久性の最大化:超高硬さ (2350 kg/mm2 Vickers) とほぼゼロの開口孔隙性により,磨き環境では例外的な耐磨性と長期的信頼性が確保されます.
  • 精度に最適化:高い弾性模数 (410 GPa) と頑丈な軽量設計により,シリコンウエファーなどの繊細な基板の最小限の曲線と高精度な処理が可能になります.
テクニカル仕様
物理 的 な 特質 ユニット 値 (SSiC)
構成: SiC 総量 % ≥98
密度 @ 20 °C g/cm3 ≥305
オープンポロ性 総量 % ≈0
ビッカース硬さ HV1 kg/mm2 2350
ロックウェル硬さ 45N R45N 93
折りたたみ強度 20°C MPa 320〜400
折りたたみ強度 @ 1300°C MPa 300〜400
熱伝導性 20°C W*m-1*K-1 196
熱伝導性 @ 1200°C W*m-1*K-1 60
最大使用温度 (空気) °C 1650
熱ショック耐性 °C >350
熱膨張係数 10−6/K 4.0
弾性モジュール @ RT GPa 410
重要な応用分野
  • 半導体製造:CVD,LPCVD,拡散炉,および他の高温機器におけるウェーファー処理,転送,処理に最適
  • 熱処理の高度高温産業炉と熱処理システムの基本部品
  • 航空宇宙と防衛:熱安定性や軽量耐久性を必要とする重要な部品
  • 核エネルギーシステム:放射線と高温環境の要求を伴う部品
  • 精密自動化クリーンルームおよび厳しい環境の用途のためのロボット腕とエンドエフェクター
性能上の利点
  • クリーンルーム環境における粒子生成と汚染の減少
  • 位置付けの精度を保つために最小限の熱変形
  • クォーツ と グラフィット の 代替 材料 と 比べ て 寿命 が 延長 さ れ た
  • 保守停止時間を短縮し,生産量を増やす
  • プロセスガスや清掃剤による化学腐食に対する優れた耐性
このSiCフォークは 厳密な製造アプリケーションで プロセス信頼性と出力を高めるために 特別に設計されています機械的な安定性も重要な性能要因です.

連絡先の詳細
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

コンタクトパーソン: Ms. Yuki

電話番号: 8615517781293

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