Precyzyjne ręce i palce robotyczne z ceramiki o stabilności termicznej i precyzji wymiarowej do obróbki półprzewodnikowych płytek

Naszewysokowydajne ręce, pazury i palce robotyczne z ceramikiTe kluczowe elementy działają jak "ręka" robota - wymagając wyjątkowychstabilność termiczna, precyzja wymiarowa i bezkontaminacjautrzymanie integralności procesu w środowiskach produkcji półprzewodników.

• Bardzo niskie zanieczyszczenie: CertyfikowanyKompatybilny z czystym pomieszczeniemmateriały zapobiegające wytwarzaniu cząstek i zanieczyszczeniu chemicznym
• Wyjątkowa stabilność termiczna: Utrzymanie integralności wymiarowej w ekstremalnych wahaniach temperatury
• Wyższe właściwości mechaniczne: Wysoki stosunek sztywności do masy dla precyzyjnego ustawienia i tłumienia drgań
• Bezczynność chemiczna: odporne na agresywne substancje chemiczne w procesie, w tym kwasy, bazy i środowiska plazmowe

Wykorzystujemy różnorodne zaawansowane procesy formowania, aby dopasować się do specyficznych wymagań aplikacji:

• Prasowanie na gorąco: dla maksymalnej gęstości i lepszych właściwości mechanicznych
• Prasowanie izostatyczne na zimno (CIP): Zapewnienie jednolitej gęstości w złożonych geometriach
• Odlewanie żelowe: Idealne do dużych, złożonych kształtów z doskonałym wykończeniem powierzchni
• Prasowanie na sucho: Kosztowo korzystne dla produkcji dużych ilości prostszych geometrii

• Maksymalne wymiary: Do 650 mm średnicy lub 4 metrów długości
• Poziom porowatości: Zaprojektowane do:bardzo niska do zerowej porowatościw zależności od zastosowania
• Sintering w kształcie sieci: Technologia bezpośredniego spiekania minimalizuje przetwarzanie
• Jakość powierzchni: Wykończenia optyczne dostępne do zastosowań krytycznych

Nasze zdolności produkcyjne wykonane z precyzyjnej ceramiki wykraczają poza robotyczne efekty końcowe, obejmujące:

• Komponenty do przetwarzania płytek: Płyty dystrybucyjne gazu, głowice prysznicowe i płyty pokrywające
• Części komory procesowej: Okna RF, zestawy kopułowe i obudowy komory
• Elementy strukturalne: Podłoże precyzyjne, elementy izolacyjne i pierścienie rozstawieniowe
• Specjalistyczne urządzenia: Dźwiedzi, uchwyty i rozwiązania montażowe na zamówienie

• Wydajność bez cząstek stałychpodczas przedłużonych cykli eksploatacyjnych
• Minimalne wydzielanie gazuw warunkach próżni i wysokiej temperatury
• Nie zanieczyszczająceskład materiału zgodny z procesami wrażliwymi

• Wyjątkowa płaskość i równoległośćdo precyzyjnego ustawiania płytki
• Wyższa odporność na zużyciedo wydłużonego okresu użytkowania w środowiskach ścierających
• Zastosowalna geometriao ściśle ograniczonych tolerancjach dla bezpośredniej integracji z systemem

Nasze elementy ceramiczne spełniają kluczowe funkcje w produkcji półprzewodników:

• Roboty do przenoszenia płyteki zautomatyzowanych systemów obróbki materiałów
• Komory do procesu etsu i osadzenia
• Urządzenia litograficznei systemów metrologicznych
• Wykorzystanie w próżni i ultrawysokiej próżni
• Komponenty systemu CVD i PVD

Dzięki specjalistycznej wiedzy w dziedzinie zaawansowanej ceramiki technicznej dla urządzeń półprzewodnikowych, dostarczamy:

• Wybór materiału specyficznego dla zastosowaniawskazówki
• Wsparcie techniczne na zamówieniedla wyjątkowych wyzwań projektowych
• Szybkie tworzenie prototypówmożliwości cykli rozwoju
• Produkcja masowaz konsekwentnym zapewnieniem jakości
• Dokumentacja technicznai dane dotyczące walidacji wydajności

Skontaktuj się z naszym zespołem inżynierów.aby omówić konkretne wymagania związane z obsługą płytek i odkryć, jak nasze precyzyjne ceramiczne ramiona, pazury i palce mogą zwiększyć niezawodność i wydajność procesu produkcji półprzewodników.