logo
Главная страница Продукциякерамика из карбида кремния

Подставка из карбида кремния и держатель пластин SiC с максимальной рабочей температурой 1650°C, высокой теплопроводностью и устойчивостью к плазме и коррозии для ICP травления

Сертификация
Китай Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Сертификаты
Китай Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Сертификаты
Просмотрения клиента
NGK ценит наше давнее партнерство с Шэньси Кегу. Их керамика SSiC превосходит качество и инновации, что способствует нашему взаимному успеху.

—— NGK Thermal Technology Co., Ltd.

В Huike мы гордимся нашим давним партнерством с Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., сотрудничеством, основанным на доверии, инновациях и совместном совершенстве.Их опыт в области керамики SSiC и надежные решения постоянно поддерживали наши проекты.

—— Suzhou Huike Technology Co., Ltd.

Мы, в Keda, высоко ценим наше долгосрочное партнерство с Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. Их высококачественные керамические решения SSiC были неотъемлемой частью наших проектов, и мы рассчитываем на дальнейшее сотрудничество и общий успех.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

Оставьте нам сообщение

Подставка из карбида кремния и держатель пластин SiC с максимальной рабочей температурой 1650°C, высокой теплопроводностью и устойчивостью к плазме и коррозии для ICP травления

Silicon Carbide Tray & SiC Wafer Holder with 1650°C Max Service Temp, High Thermal Conductivity, and Plasma & Corrosion Resistance for ICP Etching
Silicon Carbide Tray & SiC Wafer Holder with 1650°C Max Service Temp, High Thermal Conductivity, and Plasma & Corrosion Resistance for ICP Etching Silicon Carbide Tray & SiC Wafer Holder with 1650°C Max Service Temp, High Thermal Conductivity, and Plasma & Corrosion Resistance for ICP Etching Silicon Carbide Tray & SiC Wafer Holder with 1650°C Max Service Temp, High Thermal Conductivity, and Plasma & Corrosion Resistance for ICP Etching

Большие изображения :  Подставка из карбида кремния и держатель пластин SiC с максимальной рабочей температурой 1650°C, высокой теплопроводностью и устойчивостью к плазме и коррозии для ICP травления

Подробная информация о продукте:
Место происхождения: Китай
Фирменное наименование: KeGu
Номер модели: Настраиваемый
Оплата и доставка Условия:
Цена: 200-500 yuan/kg
Упаковывая детали: Сильная деревянная коробка для глобальной доставки
Условия оплаты: Аккредитив, Документы против акцепта, Документы против платежа, Банковский перевод, Western Union, M
Поставка способности: 2 000 ПК/месяц

Подставка из карбида кремния и держатель пластин SiC с максимальной рабочей температурой 1650°C, высокой теплопроводностью и устойчивостью к плазме и коррозии для ICP травления

описание
Материал: Sic Состав: карбид кремния: > 98%
цвет: Черный Плотность: > 3,05 г/см3
Макс. Температура обслуживания: 1650 ° C. изгибная прочность: 380 МПа
Выделить:

ICP резьба вафли держатель Sic пластина

,

Кремниевая карбидная пластина для держателя пластин

,

Промышленная пластина с светодиодом

Трейсы и пластины из карбида кремния (SiC): держатели пластинок высокой производительности для выемки ICP в производстве светодиодов
Подносы и пластины из карбида кремния (SiC) представляют собой прецизионно разработанные носители пластинок, предназначенные специально для процессов гравирования с индуктивно-связанной плазмой (ICP) в индустрии светодиодов.SiC выделяется как превосходный материал из-за его исключительного теплового управления, отличная коррозионная стойкость и замечательная механическая стабильность при экстремальных температурах.
Основные материальные преимущества
  • Высокая теплопроводность:Для эффективного рассеяния тепла и равномерного распределения температуры по вафеле
  • Исключительная устойчивость к плазме и коррозии:Выдерживает суровые химические среды и плазменный шок для продления срока службы
  • Высокая механическая прочность при высоких температурах:Сохраняет структурную целостность и размерную стабильность при высоких тепловых нагрузках
  • Низкая тепловая экспансия:Минимизирует риск деформации или напряжения на пластины во время теплового цикла
Свойства материала карбида кремния (SiC)
Недвижимость Стоимость
Составная формула SiC
Молекулярная масса 40.1
Внешний вид Черный
Точка плавления 2,730 °C (разлагается)
Плотность 30,0 - 3,2 г/см3
Электрическое сопротивление 1 - 4 x 101 Ω*м
Соотношение Пуасона 0.15 - 0.21
Специфическая температура 670 - 1180 J/kg*K
Сравнительные спецификации: Типы SiC-пакетов
Тип Перекристаллизированный Сик Синированный СиК Сикроксид, связанный реакцией
Чистота > 99,5% > 98% > 88%
Макс, временный работник. 1650 °C 1550 °C 1300 °C
Плотность грунта (г/см3) 2.7 3.1 > 3.0
Очевидная пористость < 15% < 2,5% < 0,1%
Прочность на изгиб (MPa) 110 400 380
Прочность на сжатие (MPa) > 300 2200 2100
Тепловое расширение (10−6/°C) 4.6 (при 1200°C) 4.0 (при < 500°C) 4.4 (при < 500°C)
Теплопроводность (W/m*K) 35 - 36 110 65
Основные характеристики Устойчивость к высоким температурам, высокая чистота Высокая прочность на перелом Отличная устойчивость к химическим веществам
Критические особенности для вырезки ICP
  • Отличная теплопроводность:Обеспечивает быструю передачу тепла и минимизирует тепловые градиенты
  • Высокая устойчивость к плазменному шоку:Гарантирует долгосрочную долговечность и последовательность процессов
  • Отличная однородность температуры:Критически важно для достижения единообразных скоростей нанесения нарезки и высокой производительности устройства на всей пластине
Основные применения
  • Обработка полупроводников:Идеально подходит в качестве носителей пластин, восприимчивых и процессуальных приспособлений в КВД, MOCVD и эпитаксии.
  • Производство светодиодов:Широко используется в качестве прочных и надежных держателей пластинок для процессов офорта ICP в производстве светоизлучающих диодов
  • Продвинутые покрытия и компоненты:Подходит для различных промышленных применений, требующих высокой тепловой и химической стабильности
Мы поставляем широкий спектр стандартных и индивидуальных по размеру пластинок, пластинок и других специализированных компонентов SiC для удовлетворения конкретных потребностей полупроводниковой и светодиодной промышленности.

Контактная информация
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Контактное лицо: Ms. Yuki

Телефон: 8615517781293

Оставьте вашу заявку (0 / 3000)

Другие продукты