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सिलिकॉन कार्बाइड ट्रे और 1650°C मैक्स सर्विस टेम्प, उच्च थर्मल कंडक्टिविटी और आईसीपी एटिंग के लिए प्लाज्मा और संक्षारण प्रतिरोध के साथ सीआईसी वेफर धारक

मूलभूत गुण
उत्पत्ति का स्थान: चीन
ब्रांड नाम: KEGU
मॉडल नंबर: अनुकूलन
व्यापारिक संपत्तियाँ
न्यूनतम आदेश मात्रा: बातचीत योग्य
कीमत: विनिमय योग्य
भुगतान की शर्तें: एल/सी, डी/ए, डी/पी, टी/टी, वेस्टर्न यूनियन, मनीग्राम
उत्पाद सारांश
सिलिकॉन कार्बाइड (सीआईसी) ट्रे और प्लेट्सः एलईडी विनिर्माण में आईसीपी ईटिंग के लिए उच्च प्रदर्शन वाले वेफर धारक सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) ट्रे और प्लेट्स विशेष रूप से एलईडी उद्योग के भीतर इंडक्टिवली कपल्ड प्लाज्मा (ICP) उत्कीर्णन प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किए गए सटीक-इंजीनियरिंग वेफर वाहक हैं।सीआईसी अ...

उत्पाद का विवरण

प्रमुखता देना:

आईसीपी ईटिंग वेफर होल्डर सीसी प्लेट

,

वेफर धारक सिलिकॉन कार्बाइड प्लेट

,

एलईडी इंडस्ट्री सीआईसी प्लेट

Material: सिक
Composition:SiC: > 98%
Color: काला
Density: > 3.05g/cm3
Max. Service Temp: 1650 ° C
Flexural Strength: 380MPA
Usage: उद्योग उपयोग
Chemical Composition: Al2O3, SiO2
Sic Content: 85%
Maximum Temperature: 1600 ℃
Characteristics: उच्च पहनने का प्रतिरोध
Thermal Expansion Coefficient: 4.0-4.5 × 10^-6 /के
Material Composition: 4%Si>96%Sic
Working Temperature: 1650
Advantage: घिसाव और घर्षण प्रतिरोध
Purity: 98%
Material: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक
Acid Alkaline Proof: उत्कृष्ट
Solubility: अघुलनशील
Open Porosity: <0.1%
Flexural Strength: 350-550 एमपीए
उत्पाद का वर्णन
सिलिकॉन कार्बाइड (सीआईसी) ट्रे और प्लेट्सः एलईडी विनिर्माण में आईसीपी ईटिंग के लिए उच्च प्रदर्शन वाले वेफर धारक
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) ट्रे और प्लेट्स विशेष रूप से एलईडी उद्योग के भीतर इंडक्टिवली कपल्ड प्लाज्मा (ICP) उत्कीर्णन प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किए गए सटीक-इंजीनियरिंग वेफर वाहक हैं।सीआईसी अपनी असाधारण थर्मल प्रबंधन के कारण एक बेहतर सामग्री के रूप में खड़ा है, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, और चरम तापमान पर उल्लेखनीय यांत्रिक स्थिरता।
मुख्य सामग्री लाभ
  • उच्च ताप चालकता:दक्ष गर्मी अपव्यय और वेफर भर में समान तापमान वितरण के लिए
  • असाधारण प्लाज्मा और संक्षारण प्रतिरोधःलंबे समय तक सेवा जीवन के लिए कठोर रासायनिक वातावरण और प्लाज्मा सदमे का सामना करता है
  • उच्च तापमान पर उच्च यांत्रिक शक्ति:उच्च थर्मल भार के तहत संरचनात्मक अखंडता और आयामी स्थिरता बनाए रखता है
  • कम थर्मल विस्तारःथर्मल साइकिल के दौरान वेफर्स पर विकृति या तनाव के जोखिम को कम करता है
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सामग्री गुण
संपत्ति मूल्य
यौगिक सूत्र SiC
आणविक भार 40.1
उपस्थिति काला
पिघलने का बिंदु 2,730 °C (विघटित)
घनत्व 3.0 - 3.2 g/cm3
विद्युत प्रतिरोध 1 - 4 x 101 Ω*m
पोयसन का अनुपात 0.15-0.21
विशिष्ट ताप 670 - 1180 J/kg*K
तुलनात्मक विनिर्देशः SiC ट्रे के प्रकार
प्रकार पुनः क्रिस्टलीकृत SiC सिंटरित सीआईसी प्रतिक्रिया से बंधा हुआ SiC
शुद्धता > 99.5% > 98% > 88%
मैक्स. कार्य अस्थायी. 1650 °C 1550 °C 1300 °C
थोक घनत्व (g/cm3) 2.7 3.1 > 3.0
स्पष्ट छिद्र < 15% < 2.5% < 0.1%
झुकने का बल (एमपीए) 110 400 380
संपीड़न शक्ति (एमपीए) > 300 2200 2100
थर्मल विस्तार (10−6/°C) 4.6 (1200°C पर) 4.0 (<500°C पर) 4.4 (<500°C पर)
थर्मल कंडक्टिविटी (W/m*K) 35 - 36 110 65
मुख्य विशेषताएं उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च शुद्धता उच्च फ्रैक्चर कठोरता उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
आईसीपी उत्कीर्णन के लिए महत्वपूर्ण विशेषताएं
  • उत्कृष्ट ताप चालकता:तेजी से गर्मी हस्तांतरण सुनिश्चित करता है और थर्मल ग्रेडिएंट को कम करता है
  • प्लाज्मा सदमे का बेहतर प्रतिरोध:दीर्घकालिक स्थायित्व और प्रक्रिया स्थिरता की गारंटी देता है
  • उत्कृष्ट तापमान एकरूपता:एक समान उत्कीर्णन दर और पूरे वेफर में उच्च उपकरण प्रदर्शन प्राप्त करने के लिए महत्वपूर्ण
मुख्य अनुप्रयोग
  • अर्धचालक प्रसंस्करण:सीवीडी, एमओसीवीडी और एपिटेक्सी में वेफर वाहक, संवेदनशील और प्रक्रिया फिक्स्चर के रूप में आदर्श
  • एलईडी विनिर्माण:प्रकाश उत्सर्जक डायोड के उत्पादन में आईसीपी उत्कीर्णन प्रक्रियाओं के लिए मजबूत और विश्वसनीय वेफर धारकों के रूप में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है
  • उन्नत कोटिंग्स और घटक:उच्च थर्मल और रासायनिक स्थिरता की आवश्यकता वाले विभिन्न औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त
हम अर्धचालक और एलईडी उद्योगों की सटीक जरूरतों को पूरा करने के लिए मानक और कस्टम आकार की सिलिकॉन कार्बाइड ट्रे, प्लेट और अन्य विशेष सीआईसी घटकों की एक व्यापक श्रृंखला की आपूर्ति करते हैं।
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