Подставка из карбида кремния и держатель пластин SiC с максимальной рабочей температурой 1650°C, высокой теплопроводностью и устойчивостью к плазме и коррозии для ICP травления
Основные свойства
Место происхождения:
Китай
Название бренда:
KEGU
Номер модели:
Настраиваемый
Торговая недвижимость
Минимальное количество заказа:
Возможен торг
Цена:
Подлежит обсуждению
Условия оплаты:
LC,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
Резюме продукта
Трейсы и пластины из карбида кремния (SiC): держатели пластинок высокой производительности для выемки ICP в производстве светодиодов Подносы и пластины из карбида кремния (SiC) представляют собой прецизионно разработанные носители пластинок, предназначенные специально для процессов гравирования с ин...
Детали продукта
Выделить:
ICP резьба вафли держатель Sic пластина
,Кремниевая карбидная пластина для держателя пластин
,Промышленная пластина с светодиодом
Material:
Sic
Composition:SiC:
> 98%
Color:
Черный
Density:
> 3,05 г/см3
Max. Service Temp:
1650 ° C.
Flexural Strength:
380 МПа
Usage:
Использование отрасли
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
Высокая износостойкость
Thermal Expansion Coefficient:
4,0-4,5 × 10^-6 /К
Material Composition:
4%Si >96%Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
Устойчивость к износу и истиранию
Purity:
98%
Material:
керамика из карбида кремния
Acid Alkaline Proof:
Отличный
Solubility:
Нерастворимый
Open Porosity:
<0,1%
Flexural Strength:
350-550 МПа
Характер продукции
Трейсы и пластины из карбида кремния (SiC): держатели пластинок высокой производительности для выемки ICP в производстве светодиодов
Подносы и пластины из карбида кремния (SiC) представляют собой прецизионно разработанные носители пластинок, предназначенные специально для процессов гравирования с индуктивно-связанной плазмой (ICP) в индустрии светодиодов.SiC выделяется как превосходный материал из-за его исключительного теплового управления, отличная коррозионная стойкость и замечательная механическая стабильность при экстремальных температурах.
Основные материальные преимущества
- Высокая теплопроводность:Для эффективного рассеяния тепла и равномерного распределения температуры по вафеле
- Исключительная устойчивость к плазме и коррозии:Выдерживает суровые химические среды и плазменный шок для продления срока службы
- Высокая механическая прочность при высоких температурах:Сохраняет структурную целостность и размерную стабильность при высоких тепловых нагрузках
- Низкая тепловая экспансия:Минимизирует риск деформации или напряжения на пластины во время теплового цикла
Свойства материала карбида кремния (SiC)
| Недвижимость | Стоимость |
|---|---|
| Составная формула | SiC |
| Молекулярная масса | 40.1 |
| Внешний вид | Черный |
| Точка плавления | 2,730 °C (разлагается) |
| Плотность | 30,0 - 3,2 г/см3 |
| Электрическое сопротивление | 1 - 4 x 101 Ω*м |
| Соотношение Пуасона | 0.15 - 0.21 |
| Специфическая температура | 670 - 1180 J/kg*K |
Сравнительные спецификации: Типы SiC-пакетов
| Тип | Перекристаллизированный Сик | Синированный СиК | Сикроксид, связанный реакцией |
|---|---|---|---|
| Чистота | > 99,5% | > 98% | > 88% |
| Макс, временный работник. | 1650 °C | 1550 °C | 1300 °C |
| Плотность грунта (г/см3) | 2.7 | 3.1 | > 3.0 |
| Очевидная пористость | < 15% | < 2,5% | < 0,1% |
| Прочность на изгиб (MPa) | 110 | 400 | 380 |
| Прочность на сжатие (MPa) | > 300 | 2200 | 2100 |
| Тепловое расширение (10−6/°C) | 4.6 (при 1200°C) | 4.0 (при < 500°C) | 4.4 (при < 500°C) |
| Теплопроводность (W/m*K) | 35 - 36 | 110 | 65 |
| Основные характеристики | Устойчивость к высоким температурам, высокая чистота | Высокая прочность на перелом | Отличная устойчивость к химическим веществам |
Критические особенности для вырезки ICP
- Отличная теплопроводность:Обеспечивает быструю передачу тепла и минимизирует тепловые градиенты
- Высокая устойчивость к плазменному шоку:Гарантирует долгосрочную долговечность и последовательность процессов
- Отличная однородность температуры:Критически важно для достижения единообразных скоростей нанесения нарезки и высокой производительности устройства на всей пластине
Основные применения
- Обработка полупроводников:Идеально подходит в качестве носителей пластин, восприимчивых и процессуальных приспособлений в КВД, MOCVD и эпитаксии.
- Производство светодиодов:Широко используется в качестве прочных и надежных держателей пластинок для процессов офорта ICP в производстве светоизлучающих диодов
- Продвинутые покрытия и компоненты:Подходит для различных промышленных применений, требующих высокой тепловой и химической стабильности
Мы поставляем широкий спектр стандартных и индивидуальных по размеру пластинок, пластинок и других специализированных компонентов SiC для удовлетворения конкретных потребностей полупроводниковой и светодиодной промышленности.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- Электронная почта: scarlett.s@kegugroup.com
- Телефон: 8616602956098
- Ватсап: 8613390790728
-
WeChat:
Scarlettseren533
Сопутствующие товары
-
Кремниевые карбидные уплотнительные кольца с максимальной температурой службы 1650 °C, изгибной прочностью 380 МПа и коррозионной стойкостью
Печатные кольца из карбида кремния (SiC) Усовершенствованная производительность для требовательных приложений Обзор продукции Наши герметические кольца из карбида кремния без давления представляют собой вершину технологии герметизации, разработанные для обеспечения непревзойденной производительности ... -
Специализированные керамические трубные горелки из карбида кремния с максимальной температурой эксплуатации 1650 °C, снижением расхода топлива на 20% и устойчивостью к тепловым ударам
Индивидуальные керамические трубчатые горелки из карбида кремния и оребренные излучающие трубки ZG Industrial поставляет высокопроизводительные индивидуальные керамические трубчатые горелки из карбида кремния и оребренные излучающие трубки. Разработанные для экстремальных условий, наши композитные т... -
Кремниевой карбидный пескоструйный сосуд с превосходной износостойкостью, продленным сроком службы и точной инженерией для промышленных применений
Кремниево-карбидные (SiC) сопла для пескоструйной обработки Превосходная износостойкость для промышленных применений поверхностной обработки Наши кремниево-карбидные сопла для пескоструйной обработки разработаны для обеспечения исключительной долговечности и точности в сложных условиях обработки пов... -
NIJ сертифицированная силиконовая карбидная броня с возможностью многократного удара и легкой защитой от баллистической защиты
Керамическая броня из карбида кремния: превосходная баллистическая защита Наша передовая керамическая броня из карбида кремния (SiC) представляет собой вершину технологии баллистических материалов, объединяющая исключительную твердость (9.5 Мох) с значительно сниженным весом, обеспечивающим непревзо...
