logo
ยินดีต้อนรับ Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

ถาดซิลิคอนคาร์ไบด์ & ที่วางเวเฟอร์ SiC พร้อมอุณหภูมิใช้งานสูงสุด 1650°C, การนำความร้อนสูง, และทนต่อพลาสมาและการกัดกร่อนสำหรับการแกะสลัก ICP

คุณสมบัติพื้นฐาน
สถานที่กำเนิด: จีน
ชื่อแบรนด์: KEGU
หมายเลขรุ่น: ปรับแต่งได้
การซื้อขายอสังหาริมทรัพย์
ปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำ: ต่อรองได้
ราคา: โปร่ง
เงื่อนไขการชำระเงิน: L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
สรุปผลิตภัณฑ์
ถาดและเพลตซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC): ตัวจับยึดเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงสำหรับการแกะสลัก ICP ในการผลิต LED ถาดและเพลตซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นพาหะเวเฟอร์ที่ออกแบบอย่างแม่นยำ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการกัดด้วยพลาสมาแบบเหนี่ยวนำคู่ (ICP) ภายในอุตสาหกรรม LED SiC โดดเด่นในฐานะวัสดุที่เหนือกว่าเนื่องจากม...

รายละเอียดสินค้า

เน้น:

ตัวยึดเวเฟอร์ Sic Plate สำหรับการกัดกรด Icp

,

แผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับยึดเวเฟอร์

,

แผ่น Sic สำหรับอุตสาหกรรม LED

Material: sic
Composition:SiC: > 98%
Color: สีดำ
Density: > 3.05g/cm3
Max. Service Temp: 1650 ° C
Flexural Strength: 380MPA
Usage: การใช้อุตสาหกรรม
Chemical Composition: Al2O3, SiO2
Sic Content: 85%
Maximum Temperature: 1600 ℃
Characteristics: ทนต่อการสึกหรอสูง
Thermal Expansion Coefficient: 4.0-4.5 × 10^-6 /เค
Material Composition: 4%ศรี >96%ซิก
Working Temperature: 1650
Advantage: ทนต่อการสึกหรอและการเสียดสี
Purity: 98%
Material: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
Acid Alkaline Proof: ยอดเยี่ยม
Solubility: ไม่ละลายน้ำ
Open Porosity: <0.1%
Flexural Strength: 350-550 MPa
คําอธิบายสินค้า
ถาดและเพลตซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC): ตัวจับยึดเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงสำหรับการแกะสลัก ICP ในการผลิต LED
ถาดและเพลตซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นพาหะเวเฟอร์ที่ออกแบบอย่างแม่นยำ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการกัดด้วยพลาสมาแบบเหนี่ยวนำคู่ (ICP) ภายในอุตสาหกรรม LED SiC โดดเด่นในฐานะวัสดุที่เหนือกว่าเนื่องจากมีการจัดการระบายความร้อนที่ยอดเยี่ยม ความต้านทานการกัดกร่อนที่โดดเด่น และความเสถียรทางกลที่โดดเด่นที่อุณหภูมิสูงมาก
ข้อดีของวัสดุที่สำคัญ
  • การนำความร้อนที่เหนือกว่า:เพื่อการกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพและการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอทั่วแผ่นเวเฟอร์
  • ความต้านทานพลาสม่าและการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม:ทนทานต่อสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรงและการช็อกของพลาสมาเพื่อยืดอายุการใช้งาน
  • ความแข็งแรงทางกลสูงที่อุณหภูมิสูง:รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความเสถียรของขนาดภายใต้ภาระความร้อนสูง
  • การขยายตัวทางความร้อนต่ำ:ลดความเสี่ยงของการบิดเบี้ยวหรือความเครียดบนเวเฟอร์ระหว่างการหมุนเวียนความร้อน
คุณสมบัติของวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
คุณสมบัติ ค่า
สูตรผสม ซิซี
น้ำหนักโมเลกุล 40.1
รูปร่าง สีดำ
จุดหลอมเหลว 2,730 °C (สลายตัว)
ความหนาแน่น 3.0 - 3.2 ก./ซม.3
ความต้านทานไฟฟ้า 1 - 4 x 10¹ Ω*ม
อัตราส่วนปัวซอง 0.15 - 0.21
ความร้อนจำเพาะ 670 - 1180 จูล/กก*เค
ข้อมูลจำเพาะเปรียบเทียบ: ประเภทถาด SiC
พิมพ์ SiC ที่ตกผลึกใหม่ SiC เผาผนึก SiC ที่ถูกผูกมัดด้วยปฏิกิริยา
ความบริสุทธิ์ > 99.5% > 98% > 88%
สูงสุด อุณหภูมิในการทำงาน 1650 องศาเซลเซียส 1550 องศาเซลเซียส 1300 องศาเซลเซียส
ความหนาแน่นรวม (g/cm³) 2.7 3.1 > 3.0
ปรากฏความพรุน < 15% < 2.5% <0.1%
กำลังรับแรงดัดงอ (MPa) 110 400 380
กำลังอัด (MPa) > 300 2200 2100
การขยายตัวทางความร้อน (10⁻⁶/°C) 4.6 (ที่ 1200°C) 4.0 (ที่ <500°C) 4.4 (ที่ <500°C)
ค่าการนำความร้อน (W/m*K) 35 - 36 110 65
ลักษณะเบื้องต้น ทนต่ออุณหภูมิสูง มีความบริสุทธิ์สูง ความเหนียวแตกหักสูง ทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม
คุณสมบัติที่สำคัญสำหรับการแกะสลัก ICP
  • การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม:รับประกันการถ่ายเทความร้อนอย่างรวดเร็วและลดการไล่ระดับความร้อน
  • ความต้านทานที่เหนือกว่าต่อพลาสม่าช็อก:รับประกันความทนทานในระยะยาวและความสม่ำเสมอของกระบวนการ
  • ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีเยี่ยม:สำคัญอย่างยิ่งในการบรรลุอัตราการกัดที่สม่ำเสมอและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่สูงทั่วทั้งเวเฟอร์
การใช้งานหลัก
  • การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์:เหมาะอย่างยิ่งสำหรับเป็นพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และฟิกซ์เจอร์กระบวนการใน CVD, MOCVD และเอพิแทกซี
  • การผลิต LED:ใช้กันอย่างแพร่หลายในฐานะตัวจับยึดเวเฟอร์ที่แข็งแกร่งและเชื่อถือได้สำหรับกระบวนการแกะสลัก ICP ในการผลิตไดโอดเปล่งแสง
  • การเคลือบและส่วนประกอบขั้นสูง:เหมาะสำหรับงานอุตสาหกรรมต่างๆ ที่ต้องการความเสถียรทางความร้อนและเคมีสูง
เราจัดหาถาด แผ่น และส่วนประกอบ SiC พิเศษอื่นๆ ของซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาดมาตรฐานและแบบกำหนดเองที่ครอบคลุม เพื่อตอบสนองความต้องการที่แม่นยำของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ LED
สินค้าที่เกี่ยวข้อง

ส่งคำถาม