シリコンカービッドトレイ&SiCウェーファーホルダー 1650°C マックスサービステンパール,高熱伝導性,ICPエッチングのためのプラズマ&腐食耐性
基本プロパティ
原産地:
中国
ブランド名:
KEGU
モデル番号:
カスタマイズ可能
取引物件
最低注文数量:
交渉可能
価格:
交渉可能
支払い条件:
L/C、D/A、D/P、T/T、ウェスタンユニオン、マネーグラム
製品概要
シリコンカービッド (SiC) トレイ&プレート:LED製造におけるICPエッチングのための高性能のウェーファーホルダー シリコンカービッド (SiC) のトレイやプレートは,LED産業内のインダクティブ・カップルプラズマ (ICP) 刻印プロセスに特化した精密設計のウェーファーキャリアである.SiC は 優れた 熱処理 能力 の ため に 優良 な 材料 と 挙げ られ て い ます耐腐蝕性があり 極端な温度でも 優れた機械的安定性があります 主要 な 材料 の 利点 優れた熱伝導性効率的な熱消耗とウェッファー全体での均質な温度分布のために 特殊なプラズマと腐食耐性厳しい化学環境とプラズマシ...
製品詳細
ハイライト:
ICPエッチングウェーハホルダー Sicプレート
,ウェーハホルダー 炭化ケイ素プレート
,LED業界 Sicプレート
Material:
sic
Composition:SiC:
> 98％
Color:
黒
Density:
> 3.05g/cm3
Max. Service Temp:
1650°C
Flexural Strength:
380MPA
Usage:
業界の使用
Chemical Composition:
Al2O3,SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600℃
Characteristics:
高い耐摩耗性
Thermal Expansion Coefficient:
4.0～4.5×10^-6/K
Material Composition:
4%Si >96%Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
耐摩耗性と耐摩耗性
Purity:
98%
Material:
炭化ケイ素セラミック
Acid Alkaline Proof:
素晴らしい
Solubility:
不溶性
Open Porosity:
<0.1%
Flexural Strength:
350〜550 MPa
製品の説明
シリコンカービッド (SiC) トレイ&プレート:LED製造におけるICPエッチングのための高性能のウェーファーホルダー
シリコンカービッド (SiC) のトレイやプレートは,LED産業内のインダクティブ・カップルプラズマ (ICP) 刻印プロセスに特化した精密設計のウェーファーキャリアである.SiC は 優れた 熱処理 能力 の ため に 優良 な 材料 と 挙げ られ て い ます耐腐蝕性があり 極端な温度でも 優れた機械的安定性があります
主要 な 材料 の 利点
- 優れた熱伝導性効率的な熱消耗とウェッファー全体での均質な温度分布のために
- 特殊なプラズマと腐食耐性厳しい化学環境とプラズマショックに耐える 寿命が長くなる
- 高温での高機械強度:高熱負荷下で構造的整合性と寸法安定性を維持する
- 低熱膨張:熱循環中にウエファーに歪みやストレスのリスクを最小限に抑える
シリコンカービッド (SiC) 材料の特性
| プロパティ | 価値 |
|---|---|
| 複合式 | SiC |
| 分子重量 | 40.1 |
| 外見 | ブラック |
| 溶融点 | 2,730 °C (分解する) |
| 密度 | 3.0〜3.2g/cm3 |
| 電気抵抗性 | 1 - 4 x 101 Ω*m |
| ポイスン比 | 0.15 - 021 |
| 特定熱量 | 670〜1180 J/kg*K |
比較仕様:SiCトレイの種類
| タイプ | 再結晶化したSiC | シンターされたSiC | 反応結合のSiC |
|---|---|---|---|
| 純度 | > 99.5% | >98% | > 88% |
| マックス ワーキングテンパー | 1650 °C | 1550 °C | 1300 °C |
| 散布密度 (g/cm3) | 2.7 | 3.1 | > 30 |
| 表面的な毛孔性 | <15% | < 2.5% | < 0.1% |
| 折りたたみ強度 (MPa) | 110 | 400 | 380 |
| 圧縮強度 (MPa) | > 300 | 2200 | 2100 |
| 熱膨張 (10−6/°C) | 4.6 (1200°Cで) | 4.0 (<500°Cで) | 4.4 (<500°Cで) |
| 熱伝導性 (W/m*K) | 35 - 36 | 110 | 65 |
| 主要な特徴 | 高温耐性,高純度 | 高い骨折強度 | 優れた 化学 耐性 |
ICP エッチング の 重要な 特徴
- 熱伝導性が優れている迅速な熱伝送を保証し,熱格差を最小限に抑える
- プラズマショックに対する優れた耐性:長期にわたる耐久性とプロセス一貫性を保証する
- 温度均一性:均等なエッチレートと全ウエファーにわたる高いデバイス性能を達成するために重要です.
主要用途
- 半導体加工:CVD,MOCVD,エピタクシーにおけるウェーファーキャリア,受容体,およびプロセスフィクチャーとして理想的です.
- LED製造:光発光二极管の製造におけるICPエッチングプロセスにおいて,堅牢かつ信頼性の高いウェーファーホルダーとして広く使用される
- 先進的なコーティングとコンポーネント高温および化学的安定性を必要とする様々な産業用用途に適しています
私たちは,標準およびカスタムサイズシリコンカービッドトレイ,プレート,および他の専門 SiCコンポーネントの包括的な範囲を供給して,半導体およびLED産業の正確なニーズを満たします.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- メールアドレス: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel: 8616602956098
- ワットスアップ: 8613390790728
-
ウェチャット:
Scarlettseren533
関連製品
-
シリコンカービッド密封リング 1650°C 最大使用温度,380MPa 屈曲強度,耐腐蝕性
シリコンカービッド (SiC) のシールリング 要求の高いアプリケーションのための高度なパフォーマンス 製品概要 圧力をかけないシリコンカービッドシールリングは 密封技術の頂点です 極端な操作条件下で 卓越した性能を 提供するために設計されています小型リングの乾圧,大型部品の同静圧圧を含む先進的な製造プロセスを利用する精密なシールソリューションを 提供します 主要 な 特徴 と 利点 特殊な耐久性高度な硬さと優れた耐磨性を組み合わせて,使用期間を延長し,従来の密封材料を大幅に上回る 全面的な耐腐食性:様々な産業環境で攻撃的な化学物質,酸,腐食媒介にさらされたときに完全性を維持する 優れた熱性能... -
1650℃の最高使用温度、燃料20%削減、耐熱衝撃性を備えたカスタマイズされた炭化ケイ素セラミックパイプバーナー
カスタマイズされたシリコンカービッドセラミックパイプバーナー ZG工業は高性能の シリコンカービッドセラミックパイプバーナーと 極限条件のために設計された 翼付き放射管を 製造しています私たちのSi/SiC複合管は,優れた熱伝達を提供します産業用暖房用には,例外的な耐久性とエネルギー削減が可能です.直径6インチまでのシステムに即座に設置できます. 主要 な 特徴 と 利点 優れた材料特性:2450°F (1343°C) まで高温耐性のある優れた耐磨性,酸化性,腐食性 熱の移転が強化される熱効率と配分を向上させるため,先端な翼管設計により表面面積が増加する 証明されたエネルギー節約:熱性能を維持... -
優れた耐摩耗性、長寿命、精密工学を特徴とする炭化ケイ素サンドブラストノズル。産業用途向け。
シリコンカービッド (SiC) の砂吹きノズル 工業用表面処理用には優れた耐磨性 シリコンカービッド砂吹きノズルは 表面処理の要求の高いアプリケーションで 耐久性と精度を極めるように設計されています先進的なイソスタティックプレスと圧力なしのシンタリング技術で製造精密な掘削,溝付け,複雑な曲線を含むすべての表面の仕上げを,正確な操作要件を満たすために. 主要 な 特徴 と 利点 特殊な耐磨性:超高密度 (>3.15 g/cm3) とビッカース硬度 (≥23 GPa) を備えて,磨き環境における最大使用寿命を保証する 精密エンジニアリング一貫した,信頼性の高いパフォーマンスのために,0.01mmま... -
NIJ認定 シリコンカービッド体甲 複数打撃能力と軽量弾道防御
シリコン カービッド セラミック 装甲: 優れた弾道 防護 私たちの先進的なシリコンカービッド (SiC) セラミック装甲は,特殊な硬さ (9.5 モース) と著しく減重して,高速や装甲穿刺の脅威に対して,人員や車両に比類のない保護を提供. 弾道 技術の 主要 な 利点 複数のヒット能力:連続した影響下で構造的整合性を維持し,ダイナミックな任務における信頼性を確保する 軽量防衛同等の保護レベルで鋼鉄装甲より最大70%軽く,着用者の疲労を軽減し,移動性を高めます NIJ標準の完全遵守:保護レベルIからIVまでの独立認証された性能 カスタマイズできる幾何学:方形,六角形,円筒形,その他の配置で利用...
