Tay và ngón tay robot gốm chính xác với độ ổn định nhiệt và độ chính xác kích thước cho xử lý wafer bán dẫn

của chúng tacánh tay, móng vuốt và ngón tay robot bằng gốm hiệu suất caođược thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng xử lý wafer bán dẫn nhạy cảm.ổn định nhiệt, độ chính xác kích thước và hoạt động không bị ô nhiễmđể duy trì tính toàn vẹn của quy trình trong môi trường sản xuất bán dẫn.

• Ô nhiễm cực thấp: Được chứng nhậntương thích với phòng sạchVật liệu ngăn ngừa sự phát sinh hạt và ô nhiễm hóa học
• Sự ổn định nhiệt đặc biệt: Duy trì tính toàn vẹn kích thước trong biến động nhiệt độ cực đoan
• Tính chất cơ học vượt trội: Tỷ lệ độ cứng / trọng lượng cao cho vị trí chính xác và giảm rung động
• Sự trơ trệ hóa học: Kháng chất hóa học quá trình hung hăng bao gồm axit, cơ sở và môi trường plasma

Chúng tôi sử dụng các quy trình hình thành tiên tiến đa dạng để phù hợp với các yêu cầu ứng dụng cụ thể của bạn:

• Sắt nóng: Đối với mật độ tối đa và tính chất cơ học vượt trội
• Nén bằng cách làm lạnh bằng cách ép bằng cách làm lạnh (CIP): Đảm bảo mật độ đồng nhất trong các hình học phức tạp
• Đóng Gel: Lý tưởng cho các hình dạng lớn, phức tạp với bề mặt hoàn thiện tuyệt vời
• Sắt khô: Hiệu quả về chi phí cho sản xuất khối lượng lớn các hình học đơn giản hơn

• Kích thước tối đa: Tối đa đường kính 650mm hoặc chiều dài 4m
• Mức độ xốp: Được thiết kế choĐộ xốp rất thấp đến khôngtùy thuộc vào ứng dụng
• Chất liệu gia công: Công nghệ ngâm trực tiếp giảm thiểu quá trình sau chế biến
• Chất lượng bề mặt: Xếp hạng quang học có sẵn cho các ứng dụng quan trọng

Khả năng sản xuất gốm chính xác của chúng tôi mở rộng ra ngoài robot kết thúc hiệu ứng bao gồm:

• Các thành phần chế biến wafer: Bàn phân phối khí, đầu vòi sen và tấm nắp
• Các bộ phận phòng xử lý: Cửa sổ RF, bộ hợp nhất mái vòm và lớp lót phòng
• Các yếu tố cấu trúc: Các chất nền chính xác, các thành phần cách nhiệt và vòng cách
• Thiết bị đặc biệt: Các vòi phun, đệm và các giải pháp gắn tùy chỉnh

• Hiệu suất không có hạttrong chu kỳ hoạt động kéo dài
• Khí thải tối thiểutrong chân không và nhiệt độ cao
• Không gây ô nhiễmThành phần vật liệu tương thích với các quy trình nhạy cảm

• Độ phẳng và song song đặc biệtcho vị trí chính xác wafer
• Chống mòn vượt trộicho tuổi thọ kéo dài trong môi trường mài mòn
• Định dạng hình học tùy chỉnhvới độ khoan dung chặt chẽ cho tích hợp hệ thống trực tiếp

Các thành phần gốm của chúng tôi phục vụ các chức năng quan trọng trong sản xuất bán dẫn:

• Robot chuyển wafervà các hệ thống xử lý vật liệu tự động
• Phòng quá trình khắc và lắng đọng
• Thiết bị lithographyvà hệ thống đo lường
• Ứng dụng chân không và chân không cực cao
• Các thành phần hệ thống CVD và PVD

Với chuyên môn chuyên môn về gốm kỹ thuật tiên tiến cho thiết bị bán dẫn, chúng tôi cung cấp:

• Lựa chọn vật liệu cụ thể cho ứng dụnghướng dẫn
• Hỗ trợ kỹ thuật tùy chỉnhcho những thách thức thiết kế độc đáo
• Xây dựng nguyên mẫu nhanhkhả năng cho các chu kỳ phát triển
• Sản xuất số lượng lớnvới đảm bảo chất lượng nhất quán
• Tài liệu kỹ thuậtvà dữ liệu xác nhận hiệu suất

Liên hệ với đội ngũ kỹ sư của chúng tôiđể thảo luận về các yêu cầu xử lý wafer cụ thể của bạn và khám phá ra làm thế nào cánh tay, móng vuốt và ngón tay gốm chính xác của chúng tôi có thể tăng độ tin cậy và năng suất quy trình sản xuất bán dẫn của bạn.