Hochtemperaturbeständige SiC-Gabeln mit maximaler Betriebstemperatur von 1650 °C und biegsamer Festigkeit von 3800 MPa für die Halbleiterherstellung

Siliziumkarbid-Keramik
December 18, 2025
Kategorie Verbindung: Keramik aus Siliziumcarbid
Brief: In diesem Video zeigen wir die hochtemperaturbeständigen SiC-Gabeln in Aktion.die ihre außergewöhnliche Leistung in der Halbleiterherstellung vorstellenSie werden sehen, wie diese drucklos sinterten SiC-Roboterarme extremen Temperaturen bis zu 1650°C standhalten und gleichzeitig den präzisen Umgang mit sensiblen Siliziumwafern beibehalten.Wir führen Sie durch ihre überlegene thermische Steuerung und mechanische Festigkeit., in dem erläutert wird, wie sie die Prozesszuverlässigkeit und den Ausstoß in anspruchsvollen Umgebungen wie CVD und Diffusionsöfen verbessern.
Related Product Features:
  • Es hält Betriebstemperaturen von bis zu 1650 °C in der Luft stand und bewahrt die Strukturintegrität bei hochtemperaturen Halbleiterprozessen.
  • Verfügt über eine hohe Biegefestigkeit von 320–400 MPa von Raumtemperatur bis 1300 °C für zuverlässige Leistung unter schweren Belastungen.
  • Bietet hervorragende Wärmeleitfähigkeit von 196 W/m*K bei 20 °C in Kombination mit geringer Wärmeausdehnung für ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit.
  • Bietet eine ultrahohe Vickers-Härte von 2350 kg/mm2 und eine nahezu Null offene Porosität für außergewöhnliche Verschleißbeständigkeit und Haltbarkeit.
  • Ein hoher Elastizitätsmodul von 410 GPa ermöglicht minimale Durchbiegung und hochpräzises Handling empfindlicher Substrate wie Siliziumwafern.
  • Reduziert Partikelgenerierung und Kontamination in Reinraumumgebungen für eine verbesserte Prozesszuverlässigkeit.
  • Bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen chemische Korrosion durch Prozessgase und Reinigungsmittel.
  • Verlängerte Lebensdauer im Vergleich zu Quarz- und Graphit-Alternativen, Verkürzung der Instandhaltungszeit.
FAQs:
  • Was ist die maximale Betriebstemperatur für diese SiC-Gabeln?
    Diese hochtemperaturbeständigen SiC-Gabeln können Betriebstemperaturen von bis zu 1650°C in der Luft aushalten und gleichzeitig die Strukturintegrität beibehalten.die sie für die Herstellung von Halbleitern mit hoher Temperatur ideal machen.
  • Wie schlagen sich diese SiC-Gabeln im Hinblick auf die mechanische Festigkeit?
    Die Gabeln zeichnen sich durch eine hohe Biegefestigkeit von 320–400 MPa bei Raumtemperatur bis 1300 °C aus und gewährleisten so eine zuverlässige Leistung unter hohen Belastungen und die Aufrechterhaltung der Präzision in anspruchsvollen Automatisierungsanwendungen.
  • Welche Vorteile bieten diese SiC-Gabeln gegenüber herkömmlichen Materialien wie Quarz oder Graphit?
    Im Vergleich zu Quarz- und Graphitalternativen bieten diese SiC-Gabeln eine längere Lebensdauer, eine geringere Instandhaltungszeit, eine überlegene Wärmeschlagfestigkeit (> 350°C),mit einer Höchsthärte (2350 kg/mm2 Vickers), und minimale Partikelproduktion in Reinraumumgebungen.
  • In welchen Anwendungen der Halbleiterherstellung werden diese SiC-Gabeln typischerweise verwendet?
    Diese Gabeln sind ideal für die Handhabung, den Transfer und die Verarbeitung von Wafern in CVD-, LPCVD-, Diffusionsöfen und anderen Hochtemperaturgeräten, bei denen extreme Temperaturen, Chemikalienbeständigkeit und mechanische Stabilität entscheidend sind.
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