Brief: ابقوا معنا ونحن نسلط الضوء على أهم الميزات ونتائج الاستخدام الحقيقي في هذا الفيديوعرض أدائهم الاستثنائي في تصنيع أشباه الموصلاتسترى كيف تتحمل هذه الذراعين الروبوتية بدون ضغط الـ SiC المتجمدة درجات حرارة شديدة تصل إلى 1650 درجة مئوية مع الحفاظ على دقة التعامل مع رقائق السيليكون الحساسة.سنقوم بتوجيهك عبر إدارة الحرارة المتفوقة والقوة الميكانيكية، وتوضيح كيف أنها تعزز موثوقية العملية والإنتاج في البيئات المطالبة مثل CVD وأفران الانتشار.
Related Product Features:
يتحمل درجات حرارة تشغيل تصل إلى 1650 درجة مئوية في الهواء، مع الحفاظ على السلامة الهيكلية في عمليات أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية.
يتميز بقوة انثناء عالية تبلغ 320-400 ميجا باسكال من درجة حرارة الغرفة حتى 1300 درجة مئوية للحصول على أداء موثوق به تحت الأحمال الثقيلة.
يقدم توصيل حراري متميز يبلغ 196 واط/م*ك عند درجة حرارة 20 درجة مئوية جنبا إلى جنب مع التوسع الحراري المنخفض لمقاومة الصدمات الحرارية الممتازة.
يوفر صلابة فيكرز فائقة الارتفاع من 2350 كجم / ملم مربع وسهولة مفتوحة قريبة من الصفر لمقاومة ارتداء استثنائية ومتانة.
يسمح نموذج المرونة العالي الذي يبلغ 410 GPa بأقل الانحناء والتعامل بدقة عالية مع الأساسات الحساسة مثل رقائق السيليكون.
يقلل من توليد الجسيمات والتلوث في بيئات الغرف النظيفة لتحسين موثوقية العملية.
يوفر مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي الناتج عن الغازات المعالجة وعوامل التنظيف.
عمر خدمة أطول مقارنة ببدائل الكوارتز والجرافيت، مما يقلل من وقت تعطل الصيانة.
الأسئلة:
ما هي درجة حرارة التشغيل القصوى لشوك SiC هذه؟
هذه الشوكات المقاومة لدرجات الحرارة العالية يمكنها تحمل درجات حرارة تشغيل تصل إلى 1650 درجة مئوية في الهواء مع الحفاظ على سلامة الهيكلمما يجعلها مثالية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات عالية الحرارة.
كيف تعمل شوكات SiC من حيث القوة الميكانيكية؟
تتميز الشوكات بقوة انثناء عالية تتراوح بين 320-400 ميجا باسكال من درجة حرارة الغرفة حتى 1300 درجة مئوية، مما يضمن أداءً موثوقًا به تحت الأحمال الثقيلة والحفاظ على الدقة في تطبيقات الأتمتة الصعبة.
ما هي المزايا التي توفرها شوكات SiC هذه على المواد التقليدية مثل الكوارتز أو الجرافيت؟
بالمقارنة مع البدائل الكوارتز والجرافيت، هذه الشوكات سي سي توفر حياة خدمة مطولة، وقت إيقاف صيانة أقل، مقاومة عالية للصدمات الحرارية (> 350 درجة مئوية) ،صلابة عالية للغاية (2350 كجم/ملم2 فيكرز)، والحد الأدنى من إنتاج الجسيمات في بيئات الغرف النظيفة.
في أي تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات تُستخدم شوكات SiC هذه عادةً؟
هذه الشوكات مثالية للتعامل مع الرقائق ونقلها ومعالجتها في أجهزة CVD و LPCVD وأفران الانتشار وغيرها من المعدات ذات درجة الحرارة العالية حيث تكون درجات الحرارة القصوى والمقاومة الكيميائية والاستقرار الميكانيكي أمرًا بالغ الأهمية.