Brief: In deze video laten we de hoogtemperatuurbestendige SiC-vorken in actie zien.het tonen van hun uitzonderlijke prestaties op het gebied van de vervaardiging van halfgeleidersJe ziet hoe deze drukloze gesinterde SiC-robotarmen bestand zijn tegen extreme temperaturen tot 1650°C, terwijl ze de precisie behouden van de manipulatie van gevoelige silicium wafers.We zullen u door hun superieure thermische beheer en mechanische sterkte, waarin wordt uitgelegd hoe zij de procesbetrouwbaarheid en de opbrengst in veeleisende omgevingen zoals CVD- en diffusiekookwerken verbeteren.
Related Product Features:
Bestaat bestand tegen werktemperaturen tot 1650 °C in de lucht, waardoor de structurele integriteit in hoogtemperatuur halfgeleiderprocessen behouden blijft.
Beschikt over een hoge buigsterkte van 320-400 MPa bij kamertemperatuur tot 1300 °C voor betrouwbare prestaties onder zware belasting.
Biedt een uitstekende thermische geleidbaarheid van 196 W/m*K bij 20°C, gecombineerd met een lage thermische expansie voor uitstekende thermische schokbestendigheid.
Biedt een zeer hoge Vickers hardheid van 2350 kg/mm2 en bijna nul open porositeit voor uitzonderlijke slijtvastheid en duurzaamheid.
Een hoge elasticiteitsmodule van 410 GPa maakt minimale afbuiging en hoge precisie van gevoelige substraten zoals siliciumwafers mogelijk.
Vermindert de opwekking van deeltjes en verontreiniging in cleanroomomgevingen voor een betere betrouwbaarheid van het proces.
Biedt uitstekende weerstand tegen chemische corrosie door procesgassen en reinigingsmiddelen.
Verlengde levensduur in vergelijking met kwarts- en grafietalternatieven, waardoor onderhouds- en stilstandtijd worden verminderd.
FAQ's:
Wat is de maximale bedrijfstemperatuur voor deze SiC-vorken?
Deze hittebestendige SiC-vorken zijn bestand tegen bedrijfstemperaturen tot 1650°C in lucht, terwijl ze hun structurele integriteit behouden, waardoor ze ideaal zijn voor hoogtemperatuur-halfgeleiderproductieprocessen.
Hoe presteren deze SiC-vorken op het gebied van mechanische sterkte?
De vorken hebben een hoge buigsterkte, variërend van 320-400 MPa bij kamertemperatuur tot 1300 °C, waardoor betrouwbare prestaties onder zware belasting worden gegarandeerd en de precisie behouden blijft in veeleisende automatiseringstoepassingen.
Welke voordelen bieden deze SiC-vorken ten opzichte van traditionele materialen zoals kwarts of grafiet?
In vergelijking met alternatieven zoals kwarts en grafiet, bieden deze SiC-vorken een langere levensduur, minder onderhoudstijd, superieure thermische schokbestendigheid (>350°C), ultrahoge hardheid (2350 kg/mm² Vickers) en minimale deeltjesgeneratie in cleanroom-omgevingen.
In welke toepassingen voor de productie van halfgeleiders worden deze SiC-vorken meestal gebruikt?
Deze vorken zijn ideaal voor het hanteren, overbrengen en verwerken van wafers in CVD, LPCVD, diffusieovens en andere apparatuur voor hoge temperaturen, waar extreme temperaturen, chemische bestendigheid en mechanische stabiliteit cruciaal zijn.