Brief: Tetaplah bersama kami saat kami menyoroti fitur-fitur terpenting dan hasil penggunaan nyata. Dalam video ini, kami mendemonstrasikan Garpu SiC Tahan Suhu Tinggi yang sedang beraksi, menampilkan kinerja luar biasa mereka dalam manufaktur semikonduktor. Anda akan melihat bagaimana lengan robot SiC yang disinter tanpa tekanan ini tahan terhadap suhu ekstrem hingga 1650°C sambil mempertahankan penanganan presisi wafer silikon yang sensitif. Kami akan memandu Anda melalui manajemen termal dan kekuatan mekanik superior mereka, menjelaskan bagaimana mereka meningkatkan keandalan proses dan hasil dalam lingkungan yang menantang seperti CVD dan tungku difusi.
Related Product Features:
Tahan suhu operasi hingga 1650°C di udara, menjaga integritas struktural dalam proses semikonduktor suhu tinggi.
Memiliki kekuatan lentur tinggi 320-400 MPa dari suhu ruangan hingga 1300°C untuk kinerja andal di bawah beban berat.
Menawarkan konduktivitas termal yang luar biasa 196 W / m * K pada 20 ° C dikombinasikan dengan ekspansi termal yang rendah untuk ketahanan kejut termal yang sangat baik.
Menyediakan kekerasan Vickers ultra-tinggi sebesar 2350 kg/mm² dan porositas terbuka mendekati nol untuk ketahanan aus dan daya tahan yang luar biasa.
Modul elastisitas tinggi 410 GPa memungkinkan defleksi minimal dan penanganan presisi tinggi substrat sensitif seperti wafer silikon.
Mengurangi generasi partikel dan kontaminasi di lingkungan kamar bersih untuk meningkatkan keandalan proses.
Menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap korosi kimia dari gas proses dan bahan pembersih.
Kehidupan layanan yang diperpanjang dibandingkan dengan alternatif kuarsa dan grafit, mengurangi waktu henti perawatan.
Pertanyaan:
Berapakah suhu operasi maksimum untuk garpu SiC ini?
Forks SiC tahan suhu tinggi ini dapat menahan suhu operasi hingga 1650 ° C di udara sambil menjaga integritas struktural,membuat mereka ideal untuk proses manufaktur semikonduktor suhu tinggi.
Bagaimana kinerja garpu SiC ini dalam hal kekuatan mekanik?
Garpu ini memiliki kekuatan lentur tinggi yang berkisar antara 320-400 MPa dari suhu ruangan hingga 1300°C, memastikan kinerja yang andal di bawah beban berat dan menjaga presisi dalam aplikasi otomatisasi yang menuntut.
Keuntungan apa yang ditawarkan garpu SiC ini dibandingkan bahan tradisional seperti kuarsa atau grafit?
Dibandingkan dengan alternatif kuarsa dan grafit, garpu SiC ini memberikan umur layanan yang lebih lama, waktu istirahat pemeliharaan yang lebih singkat, ketahanan kelelahan termal yang superior (> 350 °C),Kekerasan yang sangat tinggi (2350 kg/mm2 Vickers), dan produksi partikel minimal di lingkungan kamar bersih.
Dalam aplikasi pembuatan semikonduktor mana garpu SiC ini biasanya digunakan?
Garpu ini sangat ideal untuk penanganan wafer, transfer, dan pengolahan di CVD, LPCVD, tungku difusi, dan peralatan suhu tinggi lainnya di mana suhu ekstrem, ketahanan kimia,dan stabilitas mekanik sangat penting.