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반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

실리콘카바이드 세라믹
December 18, 2025
카테고리 연결: 실리콘카바이드 세라믹
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태그:
#탄화규소계 세라믹스 #압력 없는 합금 SIC #원문대로 도자기류
Brief: 가장 중요한 기능과 실제 사용 결과를 강조하는 동안 계속 지켜보세요.반도체 제조업에서 그들의 뛰어난 성능을 보여주기 위해이 압력 없는 Sintered SiC 로봇 팔은 1650°C까지의 극한 온도까지 견딜 수 있고 민감한 실리콘 웨이퍼를 정밀하게 처리할 수 있습니다.우리는 당신이 그들의 뛰어난 열 관리와 기계적 강도를 통해 안내합니다, CVD 및 확산 오븐과 같은 까다로운 환경에서 프로세스 신뢰성과 생산량을 향상시키는 방법을 설명합니다.
Related Product Features:
  • 공기 상에서 1650°C까지의 작동 온도에 견딜 수 있으며, 고온 반도체 공정에서 구조적 무결성을 유지합니다.
  • 무거운 하중에서도 안정적인 성능을 위해 실온에서 최대 1300°C까지 320-400MPa의 높은 굴곡 강도를 제공합니다.
  • 20°C에서 196 W/m*K의 뛰어난 열전도성을 제공하며, 열충격 저항을 위해 낮은 열 확장과 결합되어 있습니다.
  • 2350 kg/mm²의 초고 비커스 경도와 거의 0에 가까운 개방 기공률을 제공하여 뛰어난 내마모성과 내구성을 보장합니다.
  • 410 GPa의 높은 탄성 계수는 최소한의 처짐과 실리콘 웨이퍼와 같은 민감한 기판의 고정밀 처리를 가능하게 합니다.
  • 클린룸 환경에서 입자 발생 및 오염을 줄여 공정 신뢰성을 향상시킵니다.
  • 공정 가스 및 세척제로 인한 화학적 부식에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다.
  • 쿼츠 및 그래피트 대안에 비해 서비스 수명이 길어지고 유지보수 중단 시간을 줄입니다.
자주 묻는 질문:
  • 이 SiC 포크의 최대 작동 온도는 얼마입니까?
    이 고온 내성 SiC 포크는 구조적 무결성을 유지하면서 최대 1650°C의 공기 중 작동 온도를 견딜 수 있어 고온 반도체 제조 공정에 이상적입니다.
  • 이러한 SiC 포크는 기계적 강도 측면에서 어떤 성능을 발휘합니까?
    포크는 실온에서 최대 1300°C까지 320-400 MPa 범위의 높은 굴곡 강도를 갖추고 있어 무거운 하중에서도 안정적인 성능을 보장하고 까다로운 자동화 응용 분야에서 정밀도를 유지합니다.
  • 이 SiC 포크가 석영이나 흑연과 같은 기존 재료에 비해 어떤 장점을 제공합니까?
    쿼츠 및 그래피트 대안과 비교하면 이러한 SiC 포크는 연장 된 서비스 수명, 단축 유지 보수 정지 시간, 우수한 열 충격 저항 (> 350 ° C),초고 강도 (2350 kg/mm2 Vickers), 그리고 청정실 환경에서는 최소의 입자 생성.
  • 이 SiC 포크는 일반적으로 어떤 반도체 제조 응용 분야에 사용됩니까?
    이 포크는 CVD, LPCVD, 확산 오븐 및 다른 고온 장비에서 웨이퍼 취급, 전송 및 처리에 이상적입니다.그리고 기계적 안정성은 매우 중요합니다..
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