Высокотемпературные устойчивые к СиС вилки с максимальной температурой службы 1650°C и изгибной прочностью 3800MPa для производства полупроводников

керамика из карбида кремния
December 18, 2025
Brief: В этом видео мы демонстрируем высокотемпературные силиковые вилки в действии.демонстрируют свои исключительные результаты в производстве полупроводниковВы увидите, как эти бездавёвые синтерные робот-руки из SiC выдерживают экстремальные температуры до 1650°C при сохранении точности обработки чувствительных кремниевых пластин.Мы проведем вас через их превосходное тепловое управление и механическую прочность, объясняя, как они повышают надежность процесса и производительность в сложных условиях, таких как СВД и диффузионные печи.
Related Product Features:
  • Выдерживает рабочие температуры до 1650°C на воздухе, сохраняя структурную целостность в высокотемпературных полупроводниковых процессах.
  • Обладает высокой прочностью на изгиб 320-400 МПа при температуре от комнатной до 1300°C, что обеспечивает надежную работу при тяжелых нагрузках.
  • Обладает выдающейся теплопроводностью 196 Вт/м*К при 20°C в сочетании с низким тепловым расширением для превосходной устойчивости к тепловому удару.
  • Обеспечивает сверхвысокую твердость по Виккерсу 2350 кг/мм² и почти нулевую открытую пористость для исключительной износостойкости и долговечности.
  • Высокий модуль упругости в 410 ГПа обеспечивает минимальный прогиб и высокоточное обращение с чувствительными подложками, такими как кремниевые пластины.
  • Снижает образование частиц и загрязнение в чистых помещениях для повышения надежности процесса.
  • Обеспечивает превосходную стойкость к химической коррозии, вызываемой технологическими газами и чистящими средствами.
  • Увеличенный срок службы по сравнению с кварцевыми и графитовыми аналогами, что сокращает время простоя на техническое обслуживание.
Вопросы:
  • Какова максимальная рабочая температура для этих вилок SiC?
    Эти термостойкие вилки из карбида кремния (SiC) выдерживают рабочие температуры до 1650°C на воздухе, сохраняя структурную целостность, что делает их идеальными для высокотемпературных процессов производства полупроводников.
  • Как эти вилки SiC работают с точки зрения механической прочности?
    Вилы обладают высокой прочностью на изгиб в диапазоне от 320–400 МПа в диапазоне температур от комнатной до 1300°C, обеспечивая надежную работу при больших нагрузках и сохраняя точность в требовательных приложениях автоматизации.
  • Какие преимущества предлагают эти вилки SiC по сравнению с традиционными материалами, такими как кварц или графит?
    По сравнению с альтернативами кварцу и графита, эти вилки SiC обеспечивают более длительный срок службы, сокращение времени простоя при обслуживании, превосходную термоупорную стойкость (> 350 °C),сверхвысокая твердость (2350 кг/мм2 Vickers), и минимальное образование частиц в чистой комнате.
  • В каких приложениях производства полупроводников обычно используются эти вилки из SiC?
    Эти вилки идеально подходят для работы с пластинами, их перемещения и обработки в CVD, LPCVD, диффузионных печах и другом высокотемпературном оборудовании, где критичны экстремальные температуры, химическая стойкость и механическая стабильность.
Связанные видео