Brief: В этом видео мы демонстрируем высокотемпературные силиковые вилки в действии.демонстрируют свои исключительные результаты в производстве полупроводниковВы увидите, как эти бездавёвые синтерные робот-руки из SiC выдерживают экстремальные температуры до 1650°C при сохранении точности обработки чувствительных кремниевых пластин.Мы проведем вас через их превосходное тепловое управление и механическую прочность, объясняя, как они повышают надежность процесса и производительность в сложных условиях, таких как СВД и диффузионные печи.
Related Product Features:
Выдерживает рабочие температуры до 1650°C на воздухе, сохраняя структурную целостность в высокотемпературных полупроводниковых процессах.
Обладает высокой прочностью на изгиб 320-400 МПа при температуре от комнатной до 1300°C, что обеспечивает надежную работу при тяжелых нагрузках.
Обладает выдающейся теплопроводностью 196 Вт/м*К при 20°C в сочетании с низким тепловым расширением для превосходной устойчивости к тепловому удару.
Обеспечивает сверхвысокую твердость по Виккерсу 2350 кг/мм² и почти нулевую открытую пористость для исключительной износостойкости и долговечности.
Высокий модуль упругости в 410 ГПа обеспечивает минимальный прогиб и высокоточное обращение с чувствительными подложками, такими как кремниевые пластины.
Снижает образование частиц и загрязнение в чистых помещениях для повышения надежности процесса.
Обеспечивает превосходную стойкость к химической коррозии, вызываемой технологическими газами и чистящими средствами.
Увеличенный срок службы по сравнению с кварцевыми и графитовыми аналогами, что сокращает время простоя на техническое обслуживание.
Вопросы:
Какова максимальная рабочая температура для этих вилок SiC?
Эти термостойкие вилки из карбида кремния (SiC) выдерживают рабочие температуры до 1650°C на воздухе, сохраняя структурную целостность, что делает их идеальными для высокотемпературных процессов производства полупроводников.
Как эти вилки SiC работают с точки зрения механической прочности?
Вилы обладают высокой прочностью на изгиб в диапазоне от 320–400 МПа в диапазоне температур от комнатной до 1300°C, обеспечивая надежную работу при больших нагрузках и сохраняя точность в требовательных приложениях автоматизации.
Какие преимущества предлагают эти вилки SiC по сравнению с традиционными материалами, такими как кварц или графит?
По сравнению с альтернативами кварцу и графита, эти вилки SiC обеспечивают более длительный срок службы, сокращение времени простоя при обслуживании, превосходную термоупорную стойкость (> 350 °C),сверхвысокая твердость (2350 кг/мм2 Vickers), и минимальное образование частиц в чистой комнате.
В каких приложениях производства полупроводников обычно используются эти вилки из SiC?
Эти вилки идеально подходят для работы с пластинами, их перемещения и обработки в CVD, LPCVD, диффузионных печах и другом высокотемпературном оборудовании, где критичны экстремальные температуры, химическая стойкость и механическая стабильность.