Forcos de SiC resistentes a altas temperaturas com temperatura de serviço máxima de 1650°C e resistência flexural de 3800MPa para fabrico de semicondutores
Brief: Neste vídeo, mostramos os Forks de SiC Resistentes a Alta Temperatura em ação.que demonstram o seu desempenho excepcional na fabricação de semicondutoresVão ver como estes braços robóticos sinterizados de SiC sem pressão resistem a temperaturas extremas de até 1650°C, mantendo a precisão de manuseio de wafers de silício sensíveis.Vamos guiá-lo através de sua gestão térmica superior e resistência mecânica, explicando como eles melhoram a confiabilidade do processo e o rendimento em ambientes exigentes como fornos de difusão e CVD.
Related Product Features:
Resiste a temperaturas de funcionamento de até 1650 °C no ar, mantendo a integridade estrutural em processos de semicondutores de alta temperatura.
Apresenta alta resistência à flexão de 320-400 MPa desde temperatura ambiente até 1300°C para desempenho confiável sob cargas pesadas.
Oferece uma excelente condutividade térmica de 196 W/m*K a 20°C, combinada com uma baixa expansão térmica para uma excelente resistência ao choque térmico.
Fornece uma dureza Vickers ultra-alta de 2350 kg/mm2 e porosidade aberta quase zero para resistência e durabilidade excepcionais ao desgaste.
O alto módulo de elasticidade de 410 GPa permite deflexão mínima e manuseio de alta precisão de substratos sensíveis como wafers de silício.
Reduz a geração de partículas e a contaminação em ambientes de sala limpa para maior confiabilidade do processo.
Oferece excelente resistência à corrosão química proveniente de gases de processo e agentes de limpeza.
Vida útil prolongada em comparação com as alternativas de quartzo e grafite, reduzindo o tempo de inatividade de manutenção.
Perguntas Frequentes:
Qual é a temperatura máxima de operação para estes garfos de SiC?
Estes garfos de SiC resistentes a altas temperaturas podem suportar temperaturas de operação de até 1650°C no ar, mantendo a integridade estrutural.que os tornam ideais para processos de fabricação de semicondutores a altas temperaturas.
Qual é o desempenho desses garfos de SiC em termos de resistência mecânica?
Os garfos apresentam alta resistência à flexão variando de 320-400 MPa desde temperatura ambiente até 1300°C, garantindo desempenho confiável sob cargas pesadas e mantendo a precisão em aplicações de automação exigentes.
Que vantagens oferecem estes garfos de SiC em relação a materiais tradicionais como quartzo ou grafite?
Comparadas com as alternativas de quartzo e grafite, estas forquilhas de SiC oferecem vida útil prolongada, tempo de inatividade de manutenção reduzido, resistência superior ao choque térmico (>350°C), dureza ultra-alta (2350 kg/mm² Vickers) e geração mínima de partículas em ambientes de sala limpa.
Em quais aplicações de fabricação de semicondutores esses garfos de SiC são tipicamente usados?
Esses garfos são ideais para manuseio, transferência e processamento de wafer em fornos de difusão CVD, LPCVD e outros equipamentos de alta temperatura onde os extremos de temperatura, resistência química,e estabilidade mecânica são críticos.