Brief: در این ویدیو، ما چنگال های مقاوم به دمای بالا را در عمل نشان می دهیم.که عملکرد استثنایی خود را در تولید نیمه هادی نشان می دهندشما می بینید که چگونه این بازوهای روباتیک سی سی بدون فشار مقاومت می کنند در برابر دمای شدید تا 1650 درجه سانتیگراد در حالی که کنترل دقیق و حساس وافرهای سیلیکونی را حفظ می کنند.ما شما را از طریق مدیریت حرارتی برتر و قدرت مکانیکی آنها راهنمایی می کنیم، توضیح می دهد که چگونه آنها قابلیت اطمینان و بهره وری فرآیند را در محیط های سخت مانند کوره های CVD و پخش افزایش می دهند.
Related Product Features:
مقاومت در برابر دمای کار تا 1650 °C در هوا، حفظ یکپارچگی ساختاری در فرایندهای نیمه هادی با دمای بالا.
دارای مقاومت خمشی بالا 320-400 مگاپاسکال از دمای اتاق تا 1300 درجه سانتیگراد برای عملکرد قابل اعتماد در زیر بارهای سنگین.
ارائه می دهد رسانایی حرارتی برجسته از 196 W / m * K در 20 ° C در ترکیب با گسترش حرارتی کم برای مقاومت در برابر شوک حرارتی عالی.
سختی ویکرز بسیار بالا 2350 کیلوگرم بر میلیمتر مربع و تخلخل باز نزدیک به صفر را برای مقاومت در برابر سایش و دوام استثنایی فراهم میکند.
مدول الاستحکام بالای 410 گیگاپاسکال، انحراف حداقلی و جابجایی با دقت بالا از زیرلایههای حساس مانند ویفرهای سیلیکونی را ممکن میسازد.
کاهش تولید ذرات و آلودگی در محیطهای اتاق تمیز برای افزایش قابلیت اطمینان فرآیند.
مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی شیمیایی ناشی از گازهای فرآیند و مواد پاک کننده دارد.
طول عمر خدمات در مقایسه با جایگزین های کوارتز و گرافیت، کاهش زمان خرابی نگهداری.
متداول:
حداکثر دمای عملیاتی برای این چنگالهای SiC چقدر است؟
اين فورک هاي سي سي مقاوم به دماي بالا ميتونن در حال حفظ تماميت ساختاري در هوا با دماي کارايي تا 1650 درجه سانتيگراد مقاومت کننکه آنها را برای فرآیندهای تولید نیمه هادی با دمای بالا ایده آل می کند.
اين چنگال هاي سي سي از نظر قدرت ميكانيكي چجوري عمل ميكنن؟
چنگالها دارای استحکام خمشی بالایی هستند که از دمای اتاق تا 1300 درجه سانتیگراد بین 320 تا 400 مگاپاسکال متغیر است و عملکرد قابل اطمینان را تحت بارهای سنگین تضمین میکند و دقت را در کاربردهای اتوماسیون پر تقاضا حفظ میکند.
این چنگالهای SiC چه مزایایی نسبت به مواد سنتی مانند کوارتز یا گرافیت ارائه میدهند؟
در مقایسه با جایگزین های کوارتز و گرافیت، این چنگال های SiC عمر طولانی تری، زمان توقف نگهداری کمتر، مقاومت بالا در برابر شوک حرارتی (> 350 °C) ،سختی فوق العاده بالا (2350 kg/mm2 ویکرز)، و تولید ذرات حداقل در محیط های اتاق تمیز.
در کدام کاربردهای ساخت نیمهرسانا، این چنگالهای SiC معمولاً استفاده میشوند؟
این چنگال ها برای جابجایی ویفر، انتقال و پردازش در CVD، LPCVD، کوره های انتشار و سایر تجهیزات با دمای بالا که در آن دماهای شدید، مقاومت شیمیایی و پایداری مکانیکی حیاتی هستند، ایده آل هستند.