Horquillas de SiC resistentes a altas temperaturas con temperatura de servicio máxima de 1650 °C y resistencia a la flexión de 3800 MPa para la fabricación de semiconductores
Brief: En este video, demostramos las horquillas de SiC resistentes a altas temperaturas en acción.mostrando su rendimiento excepcional en la fabricación de semiconductoresVerá cómo estos brazos robóticos sinterizados sin presión soportan temperaturas extremas de hasta 1650°C manteniendo el manejo preciso de obleas de silicio sensibles.Te guiaremos a través de su superior gestión térmica y resistencia mecánica, explicando cómo mejoran la fiabilidad del proceso y el rendimiento en entornos exigentes como los hornos de difusión y los hornos de CVD.
Related Product Features:
Soporta temperaturas de funcionamiento de hasta 1650°C en aire, manteniendo la integridad estructural en procesos de semiconductores a alta temperatura.
Presenta una alta resistencia a la flexión de 320-400 MPa desde temperatura ambiente hasta 1300 °C para un rendimiento confiable bajo cargas pesadas.
Ofrece una conductividad térmica excepcional de 196 W/m*K a 20°C combinada con una baja expansión térmica para una excelente resistencia al choque térmico.
Proporciona una dureza Vickers ultra alta de 2350 kg/mm² y una porosidad abierta casi nula para una resistencia excepcional al desgaste y durabilidad.
El módulo de elasticidad elevado de 410 GPa permite una deflexión mínima y una manipulación de alta precisión de sustratos sensibles como las obleas de silicio.
Reduce la generación de partículas y la contaminación en ambientes de salas limpias para mejorar la confiabilidad del proceso.
Ofrece una excelente resistencia a la corrosión química de los gases de proceso y agentes de limpieza.
Vida útil prolongada en comparación con las alternativas de cuarzo y grafito, lo que reduce el tiempo de inactividad por mantenimiento.
Las preguntas:
¿Cuál es la temperatura máxima de funcionamiento para estas horquillas de SiC?
Estos tenedores de SiC resistentes a altas temperaturas pueden soportar temperaturas de funcionamiento de hasta 1650°C en aire, manteniendo su integridad estructural, lo que los hace ideales para procesos de fabricación de semiconductores a alta temperatura.
¿Cómo se comportan estas horquillas de SiC en términos de resistencia mecánica?
Las horquillas presentan una alta resistencia a la flexión que oscila entre 320 y 400 MPa desde temperatura ambiente hasta 1300 °C, lo que garantiza un rendimiento confiable bajo cargas pesadas y mantiene la precisión en aplicaciones de automatización exigentes.
¿Qué ventajas ofrecen estas horquillas de SiC sobre materiales tradicionales como el cuarzo o el grafito?
En comparación con las alternativas de cuarzo y grafito, estas horquillas de SiC ofrecen una vida útil prolongada, menor tiempo de inactividad por mantenimiento, resistencia superior al choque térmico (>350°C), dureza ultra alta (2350 kg/mm² Vickers) y una generación mínima de partículas en entornos de sala limpia.
¿En qué aplicaciones de fabricación de semiconductores se utilizan típicamente estos tenedores de SiC?
Estas horquillas son ideales para el manejo, transferencia y procesamiento de obleas en hornos de difusión CVD, LPCVD y otros equipos de alta temperatura donde las temperaturas extremas, la resistencia química,y la estabilidad mecánica son críticas.