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fourches SiC résistantes aux températures élevées avec température maximale de service de 1650 °C et résistance à la flexion de 3800 MPa pour la fabrication de semi-conducteurs

céramique au carbure de silicium
December 18, 2025
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#Céramique au carbure de silicium #SIC fritté sans pression #Sic céramique
Brief: Restez à l'écoute pour découvrir les caractéristiques les plus importantes et les résultats concrets. Dans cette vidéo, nous démontrons les fourches en SiC résistantes aux hautes températures en action, mettant en évidence leurs performances exceptionnelles dans la fabrication de semi-conducteurs. Vous verrez comment ces bras robotisés en SiC fritté sans pression résistent à des températures extrêmes allant jusqu'à 1650°C tout en maintenant une manipulation précise des plaquettes de silicium sensibles. Nous vous présenterons leur gestion thermique et leur résistance mécanique supérieures, en expliquant comment elles améliorent la fiabilité et le rendement des processus dans des environnements exigeants comme les fours CVD et de diffusion.
Related Product Features:
  • Résiste à des températures de fonctionnement allant jusqu'à 1650 °C dans l'air, conservant l'intégrité structurelle dans les procédés de semi-conducteurs à haute température.
  • Présente une résistance élevée à la flexion de 320 à 400 MPa à température ambiante jusqu'à 1 300 °C pour des performances fiables sous de lourdes charges.
  • Offre une conductivité thermique exceptionnelle de 196 W/m*K à 20°C, combinée à une faible dilatation thermique pour une excellente résistance aux chocs thermiques.
  • Offre une dureté Vickers ultra-élevée de 2350 kg/mm² et une porosité ouverte quasi nulle pour une résistance à l'usure et une durabilité exceptionnelles.
  • Un module d'élasticité élevé de 410 GPa permet une déformation minimale et une manipulation de haute précision de substrats sensibles tels que les plaquettes de silicium.
  • Réduit la production de particules et la contamination dans les environnements de salle blanche pour une fiabilité accrue du processus.
  • Offre une excellente résistance à la corrosion chimique causée par les gaz de procédé et les agents de nettoyage.
  • Durée de vie prolongée par rapport aux alternatives en quartz et en graphite, réduisant les temps d'arrêt pour maintenance.
FAQ:
  • Quelle est la température maximale de fonctionnement de ces fourches SiC?
    Ces fourches en SiC résistantes aux hautes températures peuvent supporter des températures de fonctionnement allant jusqu'à 1650°C dans l'air tout en conservant leur intégrité structurelle, ce qui les rend idéales pour les processus de fabrication de semi-conducteurs à haute température.
  • Quelles sont les performances de ces fourches SiC en termes de résistance mécanique ?
    Les fourches présentent une résistance élevée à la flexion allant de 320 à 400 MPa à température ambiante jusqu'à 1 300 °C, garantissant des performances fiables sous de lourdes charges et maintenant la précision dans les applications d'automatisation exigeantes.
  • Quels avantages ces fourches SiC offrent-elles par rapport aux matériaux traditionnels comme le quartz ou le graphite?
    Comparativement aux alternatives en quartz et en graphite, ces fourches en SiC offrent une durée de vie prolongée, une réduction des temps d'arrêt pour maintenance, une résistance supérieure aux chocs thermiques (>350°C), une dureté ultra-élevée (2350 kg/mm² Vickers) et une génération de particules minimale dans les environnements de salles blanches.
  • Dans quelles applications de fabrication de semi-conducteurs ces fourches SiC sont-elles généralement utilisées?
    Ces fourches sont idéales pour la manipulation, le transfert et le traitement des plaquettes dans les CVD, LPCVD, les fours de diffusion et autres équipements à haute température où les températures extrêmes, la résistance chimique et la stabilité mécanique sont critiques.
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