Brief: Bądź na bieżąco, ponieważ przedstawimy najważniejsze cechy i wyniki w rzeczywistych zastosowaniach. W tym filmie demonstrujemy działanie wideł SiC odpornych na wysokie temperatury, prezentując ich wyjątkową wydajność w produkcji półprzewodników. Zobaczysz, jak te bezciśnieniowo spiekane ramiona robota SiC wytrzymują ekstremalne temperatury do 1650°C, zachowując precyzyjne przenoszenie wrażliwych płytek krzemowych. Przeprowadzimy Cię przez ich doskonałe zarządzanie termiczne i wytrzymałość mechaniczną, wyjaśniając, jak zwiększają niezawodność procesu i wydajność w wymagających środowiskach, takich jak piece CVD i dyfuzyjne.
Related Product Features:
Wytrzymuje temperatury robocze do 1650°C w powietrzu, zachowując integralność strukturalną w procesach produkcji półprzewodników w wysokich temperaturach.
Charakteryzuje się wysoką wytrzymałością na zginanie 320-400 MPa w temperaturze pokojowej do 1300°C, co zapewnia niezawodne działanie pod dużymi obciążeniami.
Oferuje wyjątkową przewodność cieplną 196 W/m*K w temperaturze 20°C w połączeniu z niską ekspansją cieplną dla doskonałej odporności na wstrząsy cieplne.
Zapewnia bardzo wysoką twardość Vickera 2350 kg/mm2 i prawie zerową otwartą porowatość dla wyjątkowej odporności na zużycie i trwałości.
Wysoki moduł sprężystości wynoszący 410 GPa umożliwia minimalne ugięcie i precyzyjne obchodzenie się z wrażliwymi podłożami, takimi jak wafle krzemowe.
Zmniejsza generowanie cząstek i zanieczyszczeń w środowiskach czystych pomieszczeń, co zwiększa niezawodność procesów.
Zapewnia doskonałą odporność na korozję chemiczną powodowaną przez gazy procesowe i środki czyszczące.
Wydłużona żywotność w porównaniu z alternatywami kwarcowymi i grafitowymi, co zmniejsza przestoje konserwacyjne.
Pytania:
Jaka jest maksymalna temperatura pracy dla tych widelców SiC?
Te wysokotemperaturowe wideleczki SiC mogą wytrzymać temperatury pracy do 1650°C w powietrzu, zachowując jednocześnie integralność strukturalną.co sprawia, że są one idealne do procesów produkcji półprzewodników o wysokiej temperaturze.
Jak wypadają te widelce SiC pod względem wytrzymałości mechanicznej?
wideleczki charakteryzują się wysoką wytrzymałością gięciową w zakresie od 320 do 400 MPa w temperaturze pokojowej do 1300 °C,zapewnienie niezawodnej wydajności przy dużych obciążeniach i utrzymanie precyzji w wymagających aplikacjach automatyzacyjnych.
Jakie zalety oferują te widelce SiC w porównaniu z tradycyjnymi materiałami, takimi jak kwarc lub grafit?
W porównaniu z alternatywami dla kwarcu i grafitu, te wideleczki SiC zapewniają dłuższy okres użytkowania, krótszy czas przerwy w obsłudze, lepszą odporność na wstrząsy termiczne (> 350 °C),o bardzo wysokiej twardości (2350 kg/mm2 Vickers), oraz minimalne wytwarzanie cząstek w środowiskach czystych.
W jakich zastosowaniach w produkcji półprzewodników te widelce SiC są typowo używane?
Te wideleczki są idealne do obsługi, przenoszenia i przetwarzania płytek w CVD, LPCVD, piecach dyfuzyjnych i innych urządzeniach o wysokiej temperaturze, w których ekstremalne temperatury, odporność chemiczna,i stabilność mechaniczna są kluczowe.