Premium SiC Roller Rods voor Semiconductor Fabricage | KEGU
Een Koreaanse marktleider in halfgeleidermaterialen had kritieke problemen met hun hoogtemperatuurovens (1600°C+):
- Dimensionale instabiliteit: Traditionele aluminorolstaven vervormen zich bij hoge temperaturen, waardoor het substraat verkeerd uitlijnt en de opbrengst afneemt.
- Corrosiefouten: Agressieve bijproducten (bv. HCl, Cl2) bij de vervaardiging van halfgeleiders hebben geërodeerde aluminiumstaven, die om de 3 maanden moeten worden vervangen.
- Kosten voor stilstand: Vaak onderhoud heeft de productie gestopt, wat totVerliezen van USD 120.000 per maand.
- Onvermogen om te voldoen aan de strenge eisen inzake thermische stabiliteit van precisie-halfgeleidersubstraten.
- Korte levensduur van onderdelen in corrosieve atmosfeer.
- Hoge operationele kosten van ongeplande stilstand.
Kegu geleverdGepersonaliseerde drukloze gesinterde SiC-rol 1650°C hittebestendig voor rollenhaardovensop de technische en logistieke behoeften van de opdrachtgever afgestemd:
-
Custom Engineering
- Afmetingen: 50 mm diameter * 1200 mm lengte, geoptimaliseerd voor de geometrie van de oven van de opdrachtgever.
- Oppervlakte afwerking: Gepolijst tot Ra ≤ 0,8 μm om te voorkomen dat de spuit zich tijdens de substraatcoating hecht.
-
Verbetering van de prestaties
DeSSiC-rolcomponentenis aangetoond:
- een stabiliteit van ten hoogste 1650°C,
- hoge laadcapaciteit,
- en een aanzienlijk verbeterde corrosiebestendigheid in HCl-bevattende omgevingen.
-
Volledige traceerbaarheid
- Grondstoffen: 99,5% zuiver SiC-poeder afkomstig uit Shaanxi's hoogwaardige kwartsmijnen (gecertificeerd door SGS).
- Productiegegevens: Realtime-registratie van 2100°C vacuümsintering (12-uurscyclus) en ovenparameters.
- Kwaliteitsborging:
- Intern: driepuntsbuigproef (sterkte ≥ 600 MPa), XRD-faseanalyse.
- Externe: gecertificeerd door Korea Testing Laboratory (KTL) voor chemische weerstand.
- Koreaanstalig team: Technische adviseurs voor naadloze communicatie.
- Rapid prototyping: Gratis monsteronderzoek binnen 7 dagen om de verenigbaarheid te valideren.
- Korte doorlooptijd: 3 weken levering vanaf de orderbevestiging.
Gebruik vanmet een vermogen van niet meer dan 10 W, werd de stilstandtijd met 80% verminderd, terwijl de levensduur van 3 maanden werd verlengd tot meer dan 24 maanden onder hoogtemperatuur semiconductorverwerkingsomstandigheden.
-
Verbetering van kwaliteit en opbrengst
- Het aantal substraatdefecten daalt met 65%: Consistente rolstaafprestaties elimineerden problemen met thermische vervorming.
- Naleving van SEMI-normen: De opdrachtgever werd in staat gesteld belangrijke Koreaanse chipfabrikanten (bijv. Samsung Electronics) te leveren.
-
Strategisch partnerschap
- Bestelvolume toegenomen met 300%: Binnen 12 maanden, gebaseerd op betrouwbaarheid en gegevenstransparantie.
- Gemeenschappelijke O&O-projecten: Samenwerken aan de volgende generatie SiC-componenten voor 5G-halfgeleiderfabricage.
| Parameter | Kegu SiC rolstaven | Traditionele aluminiumstaven |
|---|---|---|
| Maximale bedieningstemperatuur | 1650°C | 1400°C |
| Corrosiepercentage (HCl) | < 0,01 mm/jaar | 0.5 mm/jaar |
| Leven in dienst | 24+ maanden | 3 maanden |
| Kosten per eenheid (USD) | $1.800 | $600 (met frequente vervangingen) |
Spanningsvrije gesinterde siliciumcarbide (SSiC) rollen worden veel gebruikt in:
- met een vermogen van niet meer dan 50 W
- met een vermogen van niet meer dan 10 W
- met een vermogen van niet meer dan 50 W
- en hoge temperatuur corrosieve omgevingen.
De belangrijkste voordelen zijn:
- hoge thermische stabiliteit,
- uitstekende corrosiebestendigheid,
- een laag vermogen tot vervorming bij verhoogde temperatuur,
- en een lange levensduur.
Verken: