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케이스

반도체 제조용 프리미엄 SiC 롤러 스틱 KEGU

인증
중국 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd 인증
중국 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd 인증
고객 검토
NGK는 산시 케구와의 오랜 파트너십을 소중히 여기고 있습니다. 그들의 SSiC 세라믹은 품질과 혁신에 탁월하며, 우리의 상호 성공을 이끌고 있습니다.

—— NGK 열 기술 회사

후이커는 신뢰, 혁신, 그리고 공동의 우수성을 바탕으로 하는 산시 커구 신소재 기술 유한 회사와의 오랜 파트너십에 자부심을 느낍니다. SSiC 세라믹에 대한 그들의 전문 지식과 안정적인 솔루션은 지속적으로 저희 프로젝트를 지원해 왔습니다.

—— 쑤저우 후이커 기술 유한 회사

케다에서 우리는 산시 케구 신소재 기술 회사와 오랜 파트너십을 매우 높이 평가합니다.그들의 고품질의 SSiC 세라믹 솔루션은 우리의 프로젝트에 필수 요소였습니다. 우리는 지속적인 협업과 공동의 성공을 기대합니다..

—— 케다 산업 그룹 (Keda Industrial Group Co.,Ltd)

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반도체 제조용 프리미엄 SiC 롤러 스틱 KEGU

June 6, 2025
최신 회사 사례 반도체 제조용 프리미엄 SiC 롤러 스틱 KEGU

고객 과제

한국의 반도체 소재 선두 기업은 고온 가마(1600°C 이상)와 관련하여 다음과 같은 심각한 문제에 직면했습니다.

 

  • 치수 불안정성: 기존 알루미나 롤러 로드는 고온에서 변형되어 기판 정렬 불량 및 수율 손실을 유발했습니다.
  • 부식 고장: 반도체 제조 과정에서 발생하는 공격적인 부산물(예: HCl, Cl₂)이 알루미나 로드를 부식시켜 3개월마다 교체가 필요했습니다.
  • 다운타임 비용: 잦은 유지 보수로 인해 생산이 중단되어 월 12만 달러 손실품질 및 수율 개선

 

핵심 문제점내부: 3점 굽힘 테스트(강도 ≥600 MPa), XRD 상 분석.

 

  • 정밀 반도체 기판에 대한 엄격한 열적 안정성 요구 사항을 충족하지 못함.
  • 부식성 환경에서 부품의 짧은 수명.
  • 예상치 못한 다운타임으로 인한 높은 운영 비용.

Kegu 솔루션

Kegu는 고객의 기술 및 물류 요구 사항에 맞춰 롤러 하스 가마용 맞춤형 무가압 소결 SiC 롤러 1650°C 내열 제품을 제공했습니다.기술 혁신

맞춤형 엔지니어링

  1. 치수
    • : 고객의 가마 형상에 최적화된 직경 50mm × 길이 1200mm.표면 마감
    • : 기판 코팅 시 슬러리 부착을 방지하기 위해 Ra ≤ 0.8μm으로 연마.성능 향상
  2. 내열성
    • : 최대 1650°C1400°C하중 용량
    • : 2500N(이론 사양보다 15% 높음), 이중 하중 테스트를 통해 검증.내식성
    • : HCl 환경에서 0.01 mm/년 미만의 부식을 보였습니다(알루미나의 경우 0.5 mm/년).전체 추적 시스템
  3. 원자재
    • : Shaanxi의 프리미엄 석영 광산에서 공급된 99.5% 순수 SiC 분말(SGS 인증).생산 데이터
    • : 2100°C 진공 소결(12시간 주기) 및 가마 매개변수의 실시간 기록.품질 보증
    • :내부: 3점 굽힘 테스트(강도 ≥600 MPa), XRD 상 분석.
      • 외부: 화학적 저항성에 대한 한국건설생활환경시험연구원(KTL)의 인증 테스트.
      • 현지 지원

한국어 지원팀

  • : 원활한 의사 소통을 위한 전담 기술 컨설턴트.신속한 프로토타입 제작
  • : 호환성을 검증하기 위한 7일 이내의 무료 샘플 테스트.짧은 리드 타임
  • : 주문 확인 후 3주 이내 배송.결과

운영 효율성 향상

  1. 다운타임 80% 감소
    • : 월 16시간에서 월 3시간으로 감소하여 월 9만 6천 달러 절감효과를 보았습니다.품질 및 수율 개선
    • : 3개월에서 24개월 이상으로 연장되어 교체 비용 75%절감.품질 및 수율 개선
  2. 기판 불량률 65% 감소
    • : 일관된 롤러 로드 성능으로 열 변형 문제 제거.SEMI 표준 준수
    • : 고객이 주요 한국 칩 제조업체(예: 삼성전자)에 공급할 수 있도록 지원.전략적 파트너십
  3. 주문량 300% 증가
    • : 신뢰성과 데이터 투명성을 바탕으로 12개월 이내에 달성.공동 R&D 프로젝트
    • : 5G 반도체 제조용 차세대 SiC 부품 개발 협력.주요 데이터 비교
 

매개변수

Kegu SiC 롤러 로드 기존 알루미나 로드 최대 사용 온도
1650°C 1400°C 부식률(HCl)
0.01 mm/년 미만 0.5 mm/년 수명
24개월 이상 3개월 단위당 비용(USD)
$1,800 $600 (잦은 교체 포함)

 

연락처 세부 사항
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

담당자: Ms. Yuki

전화 번호: 8615517781293

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