Các thanh cuộn SiC cao cấp cho sản xuất bán dẫn KEGU
Một nhà lãnh đạo vật liệu bán dẫn của Hàn Quốc phải đối mặt với các vấn đề quan trọng với lò nhiệt độ cao của họ (1600 ° C +):
- Không ổn định kích thước: Các thanh cuộn nhôm truyền thống bị biến dạng ở nhiệt độ cao, gây ra sự không phù hợp của nền và mất năng suất.
- Sự cố ăn mòn: Các sản phẩm phụ hung hăng (ví dụ: HCl, Cl2) trong sản xuất bán dẫn, các thanh nhôm bị xói mòn, cần thay thế mỗi 3 tháng.
- Chi phí thời gian nghỉ: Việc bảo trì thường xuyên làm ngừng sản xuất, dẫn đến$120,000 USD/tháng trong lỗ.
- Không thể đáp ứng các yêu cầu ổn định nhiệt nghiêm ngặt cho các chất nền bán dẫn chính xác.
- Thời gian sử dụng ngắn của các thành phần trong khí quyển ăn mòn.
- Chi phí hoạt động cao do thời gian không dự định.
Kegu được giaoMáy cuộn SiC không áp suất 1650 ° C chống nhiệt cho lò sưởi cuộnphù hợp với nhu cầu kỹ thuật và hậu cần của khách hàng:
-
Kỹ thuật tùy chỉnh
- Kích thước: đường kính 50mm * chiều dài 1200mm, tối ưu hóa cho hình học lò của khách hàng.
- Xét bề mặt: Được đánh bóng đến Ra ≤ 0,8μm để ngăn ngừa dính chất bùn trong quá trình sơn nền.
-
Cải thiện hiệu suất
CácCác thành phần cuộn SSiCchứng minh:
- hoạt động ổn định đến 1650°C,
- Khả năng tải trọng cao,
- và cải thiện đáng kể khả năng chống ăn mòn trong môi trường chứa HCl.
-
Hệ thống truy xuất hoàn toàn
- Vật liệu thô: 99,5% bột SiC tinh khiết có nguồn gốc từ các mỏ thạch anh cao cấp của Shaanxi (được chứng nhận bởi SGS).
- Dữ liệu sản xuất: Ghi chép thời gian thực của sintering chân không 2100 °C (chu kỳ 12 giờ) và các thông số lò.
- Đảm bảo chất lượng:
- Nội bộ: Kiểm tra uốn cong 3 điểm (sức mạnh ≥ 600 MPa), phân tích pha XRD.
- Bên ngoài: Kiểm tra được chứng nhận bởi Phòng thí nghiệm thử nghiệm Hàn Quốc (KTL) về khả năng kháng hóa chất.
- Nhóm nói tiếng Hàn: Tư vấn kỹ thuật chuyên dụng cho giao tiếp liền mạch.
- Sản xuất nguyên mẫu nhanh: Kiểm tra mẫu miễn phí trong vòng 7 ngày để xác nhận tính tương thích.
- Thời gian dẫn đầu ngắn: 3 tuần giao hàng từ xác nhận đặt hàng.
Sử dụngVòng cuộn silicon carbide sintered không áp lực, thời gian ngừng hoạt động đã được giảm 80%, trong khi tuổi thọ dịch vụ tăng từ 3 tháng lên hơn 24 tháng trong điều kiện chế biến bán dẫn nhiệt độ cao.
-
Cải thiện chất lượng và năng suất
- Tỷ lệ khiếm khuyết chất nền giảm 65%: Hiệu suất thanh cuộn liên tục loại bỏ các vấn đề biến dạng nhiệt.
- Tuân thủ các tiêu chuẩn SEMI: Cho phép khách hàng cung cấp cho các nhà sản xuất chip lớn của Hàn Quốc (ví dụ: Samsung Electronics).
-
Quan hệ đối tác chiến lược
- Số lượng đơn đặt hàng tăng 300%: Trong vòng 12 tháng, được thúc đẩy bởi độ tin cậy và tính minh bạch dữ liệu.
- Các dự án R & D chung: Hợp tác trên các thành phần SiC thế hệ tiếp theo cho sản xuất bán dẫn 5G.
| Parameter | Các thanh cuộn Kegu SiC | Các thanh nhôm truyền thống |
|---|---|---|
| Nhiệt độ dịch vụ tối đa | 1650°C | 1400°C |
| Tỷ lệ ăn mòn (HCl) | < 0,01 mm/năm | 0.5 mm/năm |
| Tuổi thọ | 24 tháng trở lên | 3 tháng |
| Chi phí mỗi đơn vị (USD) | $1,800 | 600 đô la (với việc thay thế thường xuyên) |
Các cuộn silicon carbide sintered không áp suất (SSiC) được sử dụng rộng rãi trong:
- xử lý nhiệt bán dẫn,
- lò pin lithium,
- lò sưởi cuộn,
- và môi trường ăn mòn ở nhiệt độ cao.
Những lợi thế chính bao gồm:
- ổn định nhiệt cao,
- chống ăn mòn tuyệt vời,
- biến dạng thấp ở nhiệt độ cao,
- và tuổi thọ dài.
Khám phá: