Корейский лидер в производстве полупроводниковых материалов столкнулся с критическими проблемами в своих высокотемпературных печах (1600°C+):
- Размерная нестабильность: Традиционные роликовые стержни из оксида алюминия деформировались при повышенных температурах, вызывая смещение подложек и потерю выхода годной продукции.
- Коррозионные разрушения: Агрессивные побочные продукты (например, HCl, Cl₂) в производстве полупроводников разрушали стержни из оксида алюминия, требуя их замены каждые 3 месяца.
- Затраты на простой: Частые технические обслуживания останавливали производство, что приводило к убыткам в размере 120 000 долларов США в месяц.
- Неспособность соответствовать строгим требованиям к термической стабильности для прецизионных полупроводниковых подложек.
- Короткий срок службы компонентов в агрессивных средах.
- Высокие эксплуатационные расходы из-за незапланированных простоев.
Kegu поставила Индивидуальные ролики из карбида кремния, спеченные без давления, термостойкие до 1650°C для роликовых печей с учетом технических и логистических потребностей клиента:
-
Индивидуальное проектирование
- Размеры: Диаметр 50 мм * длина 1200 мм, оптимизированные для геометрии печи клиента.
- Обработка поверхности: Полировка до Ra ≤ 0,8 мкм для предотвращения прилипания суспензии во время нанесения покрытия на подложку.
-
Улучшение характеристик
- Термостойкость: Стабильность до 1650°C (на 250°C выше, чем у оксида алюминия).
- Несущая способность: 2500 Н (на 15% выше теоретических спецификаций), подтверждено испытаниями при двойной нагрузке.
- Коррозионная стойкость: Показала <0,01 мм/год эрозии в средах HCl (по сравнению с 0,5 мм/год для оксида алюминия).
-
Система полной прослеживаемости
- Сырье: Порошок карбида кремния чистотой 99,5% из премиальных кварцевых месторождений Шэньси (сертифицирован SGS).
- Данные производства: Записи в реальном времени о вакуумном спекании при 2100°C (12-часовой цикл) и параметрах печи.
- Контроль качества:
- Внутренний: испытания на изгиб в трех точках (прочность ≥600 МПа), фазовый анализ методом РФА.
- Внешний: сертифицированные испытания Корейской испытательной лабораторией (KTL) на химическую стойкость.
- Команда, говорящая по-корейски: Выделенные технические консультанты для беспрепятственного общения.
- Быстрое прототипирование: Бесплатное тестирование образцов в течение 7 дней для проверки совместимости.
- Короткие сроки поставки: Доставка в течение 3 недель с момента подтверждения заказа.
-
Повышение операционной эффективности
- Сокращение простоев на 80%: С 16 часов в месяц до 3 часов в месяц, что сэкономило 96 000 долларов США в месяц.
- Увеличение срока службы в 8 раз: С 3 месяцев до 24+ месяцев, сократив затраты на замену на 75%.
-
Улучшение качества и выхода годной продукции
- Снижение уровня дефектов подложек на 65%: Стабильная работа роликовых стержней устранила проблемы термической деформации.
- Соответствие стандартам SEMI: Позволило клиенту поставлять продукцию крупным корейским производителям чипов (например, Samsung Electronics).
-
Стратегическое партнерство
- Увеличение объема заказов на 300%: В течение 12 месяцев, благодаря надежности и прозрачности данных.
- Совместные научно-исследовательские проекты: Сотрудничество в разработке компонентов из карбида кремния нового поколения для производства полупроводников 5G.
| Параметр | Роликовые стержни Kegu из SiC | Традиционные стержни из оксида алюминия |
|---|---|---|
| Максимальная рабочая температура | 1650°C | 1400°C |
| Скорость коррозии (HCl) | <0,01 мм/год | 0,5 мм/год |
| Срок службы | 24+ месяца | 3 месяца |
| Стоимость за единицу (USD) | 1800 долларов США | 600 долларов США (с частыми заменами) |



