Премиальные роликовые стержни из карбида кремния для производства полупроводников | KEGU

Корейский лидер в производстве полупроводниковых материалов столкнулся с критическими проблемами при работе с высокотемпературными печами (1600°C+):

• Размерная нестабильность: Традиционные стержни из оксида алюминия деформируются при повышенных температурах, вызывая перекос подложки и потерю производительности.
• Коррозионные разрушения: Агрессивные побочные продукты (например, HCl, Cl₂) при производстве полупроводников разрушают стержни из оксида алюминия, требующие замены каждые 3 месяца.
• Затраты на простой: Частое техническое обслуживание останавливало производство, что приводило кУбытки в размере 120 000 долларов США в месяц.

• Неспособность удовлетворить строгие требования к термической стабильности для прецизионных полупроводниковых подложек.
• Небольшой срок службы компонентов в агрессивных средах.
• Высокие эксплуатационные расходы из-за незапланированных простоев.

Кегу доставленПодгонянный безнапорный спеченный ролик 1650℃ СиК теплостойкий для печей пода роликас учетом технических и логистических потребностей клиента:

1. Индивидуальное проектирование

   • Размеры: диаметр 50 мм * длина 1200 мм, оптимизированная для геометрии печи клиента.
   • Поверхностная обработка: Отполировано до Ra ≤ 0,8 мкм для предотвращения прилипания суспензии во время нанесения покрытия на подложку.
2. Улучшения производительности

   Компоненты роликов SSiCпродемонстрировал:

   • стабильная работа до 1650°С,
   • высокая грузоподъемность,
   • и значительно улучшенная коррозионная стойкость в средах, содержащих HCl.

3. Полная система отслеживания

   • Сырье: порошок SiC чистотой 99,5%, полученный из кварцевых рудников премиум-класса в Шэньси (сертифицирован SGS).
   • Производственные данные: Запись в реальном времени вакуумного спекания при 2100°C (12-часовой цикл) и параметров печи.
   • Гарантия качества:
     • Внутренние: испытание на трехточечный изгиб (прочность ≥600 МПа), фазовый рентгеноструктурный анализ.
     • Внешние: Сертифицированные испытания Корейской испытательной лаборатории (KTL) на химическую стойкость.

• Корейскоязычная команда: Выделенные технические консультанты для бесперебойной связи.
• Быстрое прототипирование: Бесплатное тестирование образцов в течение 7 дней для проверки совместимости.
• Короткое время выполнения: Доставка в течение 3 недель с момента подтверждения заказа.

С использованиемролики из спеченного карбида кремния без давления, время простоя сократилось на 80%, а срок службы увеличился с 3 месяцев до более 24 месяцев в условиях высокотемпературной обработки полупроводников.

1. Улучшение качества и урожайности

   • Уровень дефектов подложки снизился на 65 %: Стабильные характеристики роликового стержня устраняют проблемы с термической деформацией.
   • Соответствие стандартам SEMI: позволил клиенту осуществлять поставки крупным корейским производителям микросхем (например, Samsung Electronics).

2. Стратегическое партнерство

   • Объем заказов увеличился на 300 %: В течение 12 месяцев благодаря надежности и прозрачности данных.
   • Совместные научно-исследовательские проекты: Сотрудничество над SiC-компонентами следующего поколения для производства полупроводников 5G.