半導体製造のための高品質の SiCローラー棒 KEGU
2025-06-06
事件の詳細
クライアントの課題
韓国の半導体材料リーダーは、高温窯 (1600°C+) に関する重大な問題に直面しました。
- 寸法の不安定性: 従来のアルミナ ローラー ロッドは高温で変形し、基板の位置ずれや歩留まりの低下を引き起こしました。
- 腐食故障: 半導体製造における強力な副生成物 (HCl、Cl₂ など) によりアルミナロッドが侵食され、3 か月ごとに交換が必要になりました。
- ダウンタイムコスト:頻繁なメンテナンスにより生産が停止し、月あたり 120,000 米ドルの損失。
中核的な問題点:
- 精密半導体基板の厳しい熱安定性要件を満たすことができない。
- 腐食性雰囲気ではコンポーネントの耐用年数が短くなります。
- 計画外のダウンタイムによる高い運用コスト。
ケグーソリューション
ケグーが納品されましたローラー ハースキルン用のカスタマイズされた無圧焼結 SiC ローラー 1650℃ 耐熱性クライアントの技術的および物流上のニーズに合わせてカスタマイズします。
技術革新
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カスタムエンジニアリング
- 寸法: 直径 50mm * 長さ 1200mm、クライアントの窯形状に最適化されています。
- 表面仕上げ: 下地塗装時のスラリー付着を防止するため、Ra≦0.8μmまで研磨されています。
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パフォーマンスの強化
のSSiCローラー部品実証しました:
- 1650℃まで安定動作、
- 高い耐荷重、
- HCl を含む環境での耐食性が大幅に向上しました。
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完全なトレーサビリティシステム
- 原材料: 陝西省の高級石英鉱山から調達された純度99.5%のSiCパウダー(SGS認定)。
- 生産データ:2100℃真空焼結(12時間サイクル)と炉パラメータのリアルタイム記録。
- 品質保証:
- 内部: 3 点曲げ試験 (強度 ≥600 MPa)、XRD 相分析。
- 外部: 耐薬品性に関して韓国試験研究所 (KTL) による認定テスト。
ローカライズされたサポート
- 韓国語を話すチーム: シームレスなコミュニケーションを実現する専任の技術コンサルタント。
- ラピッドプロトタイピング: 互換性を検証するために 7 日以内の無料サンプルテスト。
- 短いリードタイム:ご注文確認後3週間程度でのお届けとなります。
結果
運用効率の向上
使用する無加圧焼結炭化ケイ素ローラー、高温の半導体処理条件下でのダウンタイムは 80% 削減され、耐用年数は 3 か月から 24 か月以上に延長されました。
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品質と収量の向上
- 基板欠陥率が65%低下: 一貫したローラーロッドのパフォーマンスにより、熱変形の問題が解消されました。
- SEMI規格への準拠: クライアントが韓国の大手チップメーカー (Samsung Electronics など) に供給できるようになりました。
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戦略的パートナーシップ
- 注文量が 300% 増加: 信頼性とデータの透明性を重視して 12 か月以内。
- 共同研究開発プロジェクト:5G半導体製造用の次世代SiCコンポーネントで協力しています。
主要なデータの比較
| パラメータ | Kegu SiC ローラーロッド | 従来のアルミナロッド |
|---|---|---|
| 最高使用温度 | 1650℃ | 1400℃ |
| 腐食速度 (HCl) | <0.01 mm/年 | 0.5mm/年 |
| 耐用年数 | 24か月以上 | 3ヶ月 |
| ユニットあたりのコスト (USD) | 1,800ドル | $600 (頻繁な交換あり) |
関連する高温 SiC ローラー ソリューション
無加圧焼結炭化ケイ素 (SSiC) ローラーは、以下の分野で広く使用されています。
- 半導体熱処理、
- リチウム電池炉,
- ローラー炉床炉,
- 高温腐食環境。
主な利点は次のとおりです。
- 高い熱安定性、
- 優れた耐食性、
- 高温での変形が少ない、
- そして長寿命。
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