Premium SiC-Rollenstäbe für die Halbleiterfertigung | KEGU

Ein koreanischer Marktführer für Halbleitermaterialien stand vor kritischen Problemen mit seinen Hochtemperaturöfen (1600 °C+):

• Dimensionsinstabilität: Herkömmliche Walzenstäbe aus Aluminiumoxid verformen sich bei erhöhten Temperaturen, was zu einer Fehlausrichtung des Substrats und Ertragsverlusten führt.
• Korrosionsfehler: Aggressive Nebenprodukte (z. B. HCl, Cl₂) bei der Halbleiterherstellung erodieren Aluminiumoxidstäbe, die alle drei Monate ausgetauscht werden müssen.
• Ausfallkosten: Häufige Wartungsarbeiten führten zu ProduktionsausfällenVerluste in Höhe von 120.000 USD/Monat.

• Unfähigkeit, strenge thermische Stabilitätsanforderungen für Präzisionshalbleitersubstrate zu erfüllen.
• Kurze Lebensdauer der Komponenten in korrosiver Atmosphäre.
• Hohe Betriebskosten durch ungeplante Ausfallzeiten.

Kegu geliefertKundenspezifische drucklos gesinterte SiC-Walze 1650℃ hitzebeständig für Rollenherdöfenzugeschnitten auf die technischen und logistischen Bedürfnisse des Kunden:

1. Kundenspezifisches Engineering

   • Abmessungen: 50 mm Durchmesser * 1200 mm Länge, optimiert für die Ofengeometrie des Kunden.
   • Oberflächenbeschaffenheit: Auf Ra ≤ 0,8 μm poliert, um Schlammanhaftung während der Substratbeschichtung zu verhindern.
2. Leistungsverbesserungen

   DerSSiC-Rollenkomponentendemonstriert:

   • stabiler Betrieb bis 1650°C,
   • hohe Belastbarkeit,
   • und deutlich verbesserte Korrosionsbeständigkeit in HCl-haltigen Umgebungen.

3. Vollständiges Rückverfolgbarkeitssystem

   • Rohstoffe: 99,5 % reines SiC-Pulver aus Shaanxis erstklassigen Quarzminen (zertifiziert durch SGS).
   • Produktionsdaten: Echtzeitaufzeichnungen des Vakuumsinterns bei 2100 °C (12-Stunden-Zyklus) und der Ofenparameter.
   • Qualitätssicherung:
     • Intern: 3-Punkt-Biegetest (Festigkeit ≥600 MPa), XRD-Phasenanalyse.
     • Extern: Zertifizierte Tests des Korea Testing Laboratory (KTL) auf chemische Beständigkeit.

• Koreanischsprachiges Team: Engagierte technische Berater für nahtlose Kommunikation.
• Schnelles Prototyping: Kostenloser Mustertest innerhalb von 7 Tagen zur Validierung der Kompatibilität.
• Kurze Vorlaufzeit: 3 Wochen Lieferzeit ab Auftragsbestätigung.

BenutzenDrucklos gesinterte SiliziumkarbidwalzenDie Ausfallzeit wurde um 80 % reduziert und die Lebensdauer unter Hochtemperatur-Halbleiterverarbeitungsbedingungen von 3 Monaten auf über 24 Monate erhöht.

1. Qualitäts- und Ertragsverbesserungen

   • Substratfehlerrate um 65 % gesunken: Durch die konstante Leistung der Rollenstange wurden Probleme mit thermischer Verformung beseitigt.
   • Einhaltung der SEMI-Standards: Ermöglichte dem Kunden die Belieferung großer koreanischer Chiphersteller (z. B. Samsung Electronics).

2. Strategische Partnerschaft

   • Auftragsvolumen um 300 % gestiegen: Innerhalb von 12 Monaten, angetrieben durch Zuverlässigkeit und Datentransparenz.
   • Gemeinsame F&E-Projekte: Zusammenarbeit an SiC-Komponenten der nächsten Generation für die 5G-Halbleiterfertigung.